12一、規格：抑制時間6μsupto3ms（自動）延遲時間6μsupto10ms（自動）AC輸入線4x1.5mm24x2.5mm24x2.5mm24x4mm23x1.0mm23x1.5mm23x2.5mm23x4mm23x6mm2補充說明:細規格，請參考上表)或是快速反應的無熔絲開關，以達到保護功用。*操作GX電源時，需確認冷卻水流量每分鐘1.5公升以上，水溫不得低於20°C，且現場環境的相對濕度接近50%；電源供應器無輸出時，需停止供水，以降低冷凝發生的可能性，建議加入電磁閥開關並與電源供應器的輸出聯結，在電源供應器啓動輸出時，電磁閥開關才供水，電源供應器停止輸出時，電磁閥開關關閉，停止供水。*GX電源如操作於非無塵室的環境時，應設法避免工作環境中的粉塵或是金屬粉塵被吸入機臺內部，導致內部電路板短路故障；建議在機臺進風口加裝濾網以降低金屬粉塵污染的可能性。*送修時，凡是因凝結水或是金屬粉塵導致機臺故障，裕乘公司將不予保固。34抑制時間6μsupto3ms（自動）延遲時間6μsupto10ms（自動）(建議20-30°C，不得低於20°C，以免造成機臺內部冷凝，導致內部元件受AC輸入4x2.5mm24x6mm24x10mm24x10mm24x6mm23x2.5mm23x10mm23x10mm23x16mm23x16mm2補充說明:*GSW系列電源供應器本身已配置電源開關，但在安裝配電時，仍建議在電源供應器前級加裝保險絲(詳細規格，請參考上表)，以達到保護功用。境的相對濕度接近50%；電源供應器無輸出時，需停止供水，以降低冷凝發生的可能性，建議加入電磁閥開關並與電源供應器的輸出聯結，在電源供應器啓動輸出時，電磁閥開關才供水，電源供應器停止輸出時，電磁閥開關關閉，停止供水。*GSW電源如操作於非無塵室的環境時，應設法避免工作環境中的粉塵或是金屬粉塵被吸入機臺內部，導致內部電路板短路故障；建議在機臺進風口加裝濾網以降低金屬粉塵污染的可能性。*送修時，凡是因凝結水或是金屬粉塵導致機臺故障，銪昇公司將不予保固。5OperatingRangesGSW1OperatingRangesGSW678水接頭型式為SwagelokSS-OC6。DC電源內部有兩個獨立的溫度感測器，分別監控冷卻板表面及DC電源內部溫度。當水流量過低或風扇損壞導致DC電源內部溫度上升到60°C時，DC電源會自動關閉並輸出Overload錯誤訊息，並不會對DC電源造成任何損壞。附註：請確保冷卻水溫度與環境溫度的差距不要太l風扇（Fan）DC電源背面是一抽氣風扇，主要是將內部水氣抽出，另外DC電源內部還有一組循環風扇，用於冷卻部份需氣冷零件，並作內部對流之用。9DC輸出接法為浮接Floating，其中Pin1（正）接往真空腔體，Pin2（負）接往濺鍍鎗，使用同軸電纜或兩芯絞線皆可，但必須考慮其最大耐電流量。此外DC電源外殼接地點也請與真空腔體接上，詳細接法如圖所示。AC輸入電源為三相四線（R-S-T-GND），400V+/-10%Interlock：燈亮時，表示控制介面的Interlock迴路未解除，機臺將無法輸出。Interlock：燈亮時，表示控制介面的IArc：燈亮時表示輸出短路(5區)選配功能）U2：Pin21(數位輸入參考點）與Pin25（接地點）短路,其它接腳定義如下：12數位輸出參考點(第7,8,9,19,20腳的參考點,當對應的功能發生時,第2腳會與Pin7,8,9,19,20短路)例如:定電流輸出模式(操作方式說明如下)l實際輸出無法達到設定點或輸出電壓/電流/功率其中之一已達到極限值8一個被連結的脈衝產生器被開啟並運作正常。設備已開啟並準備運作。此訊號輸出是獨立的，可以透過輸入訊號來起啟動或關閉。9內部控制鎖定(當輸出異常時，內部保護迴路會自動切斷輸出並於第9腳輸出一個高電位ActualI內部參考點(機臺內部已與第25腳短路)Interlock定電壓輸出模式(操作方式說明如下)附註：基本控制接線依下圖接妥後，即可進行簡單控實際操作時，由第22腳送入0-10V的設定值後，在11/12/24腳會分別輸出0-10V的功率/電流/電壓的回授值。率。如有發生異常(過溫/短路等)，第7/9/19腳會輸出高電位，代表輸出異常。l當DC電源無法正常輸出或濺鍍鎗無法正常放電時，身。最直接的方法是作交叉比對，譬如是將可能有問題的DC電源連接到另一組濺鍍f腔，並觀察問題是否仍然存在，假使問題是跟著濺鍍腔，請先確認真空系統各部是否正常，包括濺鍍腔內部是否有短路、輸出線是否有接好、氣體是否有正常通入等等問題。假使問題是跟著DC電源，請依照下列觀察及建議來確認DC電源是否已經損壞，並提供相關訊息與原廠維修人員，l請記錄問題發生時，DC電源的輸出電壓、電流及功率,並確認面板或PLC上是否有錯誤訊息輸出：Arc訊息代表DC電源內部短路或負載電弧HardArc發生，若是濺鍍腔正常放電則表示DC電源可能已經損壞，請即刻送修。實際輸出無法達到設定點：請確認負載是否有電弧HardArc發生，確認DC電源的Output輸出端為空接(不接負載）。設定DC電源為固定電壓輸出模式。啟動DC電源輸出,慢慢增加Setpoint至確認實際輸出電壓與設定輸出電壓是否相同。確認DC電源輸出過程中Arc燈是否有亮？若是有亮可能代表DC電源內部短路,請立即送修。l使用前請先確認面板上Switch的(下)，SP-Extern(下)，ModeU(下)，ModeI(下)，Ramp(下),U1/U2(下)DC電源，可見到R-Lock，Ready燈亮及DISl切換ModeU(下)，ModeI(下)，DC電源為固定功率輸出模式切換ModeU(上)，ModeI(下)，DC電源為固定電壓輸出模式以GX100,10kW為例,設定5Volt代表輸出功率為5kW(0-10