通過樣品臺的移動，實現白光干涉中的機械相移原理在白光干涉測量技術中，通過樣品臺的移動來實現機械相移原理是一種常用的且高精度的方法。這種方法基于光的波動性和相干性，通過改變樣品臺的位置，即改變待測光線與參考光線之間的光程差，來實現相位調制，從而獲取待測物體的精確信息。一、基本原理在白光干涉儀中，光源發出的光經過擴束準直后，通過分光棱鏡被分成兩束相干光：一束作為參考光，經過固定的光路到達干涉儀的接收屏；另一束作為待測光，經過樣品臺后被反射或透射，再與參考光相遇產生干涉現象。干涉條紋的形成取決于兩束光的相位差，而相位差則與它們經過的光程差有關。當樣品臺移動時，待測光線經過的路徑長度會發生變化，導致光程差和相位差也隨之變化。這種相位調制會導致干涉條紋的移動或變化，通過測量干涉條紋的變化量，可以計算出相位差，進而得到待測物體的相關信息。二、實現方式樣品臺設計：樣品臺通常具有高精度的平移功能，以確保能夠精確地改變待測光線的路徑長度。樣品臺的材料和制造工藝需要考慮到熱膨脹、機械變形等因素對測量精度的影響。移動控制：樣品臺的移動通常通過步進電機、壓電陶瓷等高精度驅動裝置實現。驅動裝置需要具有低噪音、快速響應和高精度的特點，以確保能夠準確地控制樣品臺的移動。干涉條紋監測：在移動樣品臺的過程中，需要實時監測干涉條紋的變化。這通常通過高分辨率的相機或光電探測器實現，它們能夠捕捉到干涉條紋的微小移動或變化。三、技術特點與優勢高精度：通過高精度的樣品臺移動和驅動裝置，可以實現納米級別的測量精度。非接觸式測量：白光干涉測量是一種非接觸式的測量方法，不會對被測物體造成損傷。廣泛應用：這種方法可用于測量物體的表面形貌、厚度、折射率等參數，具有廣泛的應用前景。四、應用實例表面形貌測量：通過移動樣品臺，可以測量物體表面的微小起伏和缺陷，為材料科學研究提供重要信息。薄膜厚度測量：在薄膜材料的研究中，通過白光干涉測量可以精確測量薄膜的厚度和均勻性。光學元件檢測：白光干涉測量技術還可用于檢測光學元件的缺陷、應力分布等，為光學元件的制造和質量控制提供重要支持。綜上所述，通過樣品臺的移動實現白光干涉中的機械相移原理是一種高精度、非接觸式的測量方法，具有廣泛的應用前景和重要的研究價值。隨著技術的不斷發展，這種方法將在更多領域得到應用和推廣。TopMapMicroView白光干涉3D輪廓儀一款可以“實時”動態/靜態微納級3D輪廓測量的白光干涉儀1)一改傳統白光干涉操作復雜的問題，實現一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現卓越的重復性表現。2)系統集成CST連續掃描技術，Z向測量范圍高達100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復雜形貌測量提供全面解決方案。3）可搭載多普勒激光測振系統，實現實現“動態”3D輪廓測量。實際案例1，優于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra