ICS31260

CCSL.97

中華人民共和國國家標準

GB/T44631—2024

晶片承載器傳輸并行接口要求

RequirementsforwafercarrierhandoffparallelI/Ointerface

2024-09-29發布2025-04-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T44631—2024

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

縮略語

4……………………2

并行接口信號

5……………3

傳送并行接口信號定義

5.1……………3

裝載端口信號配置

5.2…………………7

信號傳送要求

6……………9

傳送時序

6.1……………9

單一傳送順序裝載卸載

6.2(/)………………………14

同步傳送順序裝載

6.3()………………19

連續傳送順序

6.4………………………21

異常處理

7…………………23

異常類型

7.1……………23

異常檢測

7.2……………23

異常恢復

7.3……………24

連接器類型信號管腳要求

8、、……………25

連接器類型

8.1…………………………25

信號電參數

8.2…………………………26

狀態位分配

8.3…………………………26

引腳分配

8.4……………27

信號隔離

8.5……………30

傳感器要求

9………………32

Ⅰ

GB/T44631—2024

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位北京北方華創微電子裝備有限公司中國電子技術標準化研究院漳州市太龍照

:、、

明工程有限公司浙江中聚材料有限公司

、。

本文件主要起草人程朝陽田濤趙俊莎孫巖曹可慰吳怡然李英鐘結實張寶帥李殿浦

:、、、、、、、、、、

蔡書義王凱郭訓容劉學慶武小娟

、、、、。

Ⅲ

GB/T44631—2024

晶片承載器傳輸并行接口要求

1范圍

本文件規定了晶片承載器自動傳送并行輸入輸出接口的信號定義信號傳送要求異常處理以及

/、、,

連接器和傳感器的要求

。

本文件適用于半導體制造領域用于晶片承載器往返于主動型設備和被動型設備之間的自動傳送

、

操作

。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

信息技術數據通信插針接口連接器及接觸件號分配

GB/T15125—199425DTE/DCE

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

晶片承載器wafercarrier

存放晶片的片架片盒晶舟等承載器

、、。

32

.

存儲棧stocker

半導體生產線中用于暫時存放晶片承載器或晶片的倉儲裝置

。

33

.

高架提升搬運車overheadhoisttransport

半導體生產線中一種懸掛安裝在空中傳輸軌道下可移動的帶有垂直升降移載裝置的自動搬運

,

小車

。

34

.

高架往返搬運車ov