1GB/TXXXXX—202X平板顯示器基板玻璃測試方法第2部分：表面性能本文件規(guī)定了以觸針式表面粗糙度測量儀測試平板顯示器基板玻璃表面粗糙度和波紋度的方法。本文件適用于平板顯示器用基板玻璃。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T32639平板顯示器基板玻璃術語3術語和定義GB/T32639界定的以及下列術語和定義適用于本文件。觸針式表面粗糙度測量儀stylussurfaceroughnessmeasuringinstrument探針在被測面的一部分上沿輪廓滑行，放大地記錄下表面的不平整性并指明放大曲線的振幅是表面粗糙度數(shù)值范圍的儀器。3.2截止長波長longwavelengthcut-offλC排除自然因素，當示蹤輪廓曲線通過消除波紋因素影響的高通波長濾波器后，振幅衰減率成為75%時的波長。3.3截止短波長shortwavelengthcut-offλS示蹤剖面曲線通過濾除粗糙度因素影響的低通波長濾波器后,波幅衰減率成為標準值75%時的波長。3.4截止比phasecorrectfilter2GB/TXXXXX—202X截止長波長λC與給予的傳輸區(qū)域的截止短波長λS的比率(λC/λS）,并且將30、100、300這3類作為標準值。3.5λS濾波器low-passfilter即截止短波長濾波器，為消除因觸針的頂端半徑而產生的細微波長區(qū)域的誤差影響。3.62RC濾波器2RCfilter時間常數(shù)相等的2組R-C回路串聯(lián)連接的濾波器。在截止波長下的標準傳輸率是75%。3.7高斯分布特性相位補償濾波器Gaussianphasecorrectfilter即高斯濾波器，將高斯分布作為權函數(shù)，將截面曲線中演算卷積積分后的曲線規(guī)定為相位補償濾波紋度曲線，在截止波長下的傳輸率是50%。3.8高斯濾波Gaussianfilter一種線性平滑濾波，適用于消除高斯噪聲，廣泛應用于圖像處理的減噪過程。4試驗環(huán)境除特殊規(guī)定外，試驗均應在下述環(huán)境條件下進行：a)溫度：25℃±5℃;b)相對濕度：40%～80%。5試驗方法5.1表面粗糙度使用觸針式表面粗糙度測量儀測量平板顯示器基板玻璃表面粗糙度，觸針式表面粗糙度測量儀應滿足以下要求：a)尖部半徑：2μm~5μm；b)尖部材質：金剛石材質。5.1.2試樣要求GB/TXXXXX—202X試樣為潔凈的平板顯示器基板玻璃，在熒光燈或白熾燈照射下用肉眼觀察，不變形無污物。長寬尺寸不小于100mm×100mm。試樣數(shù)量為3個。5.1.3測試條件測試條件應滿足以下要求：a)計算規(guī)格：ISO-'97規(guī)格；b)測量類型：粗糙度測量；c)濾波類型：高斯濾波；d)傾斜修正：最小二乘直線修正；e)測量長度：50mm~100mm；f)截止波長：0.08mm；g)測量范圍：±128.0μm或±64.0μm；h)測量速度：0.30mm/s或0.60mm/s；i)λS濾波器；j)截止比：300；k)移動·返回速度：3.00mm/s；l)返回設定：通常測量；m)預留驅動長度：濾波波長／3×2。5.1.4試驗步驟試驗按以下步驟進行操作：a)取一片待測樣品放到觸針式表面粗糙度測量儀儀器載物平臺上，樣品不能彎曲，放置5min或者更長時間以保證樣品與檢測間溫度一致；b)將探針放置于樣品上，放置時要求測試探針運動方向與產品流向方向一致或垂直。確定測量位置，并標識出起始測量位置；c)依次打開控制箱電源、電腦主機電源及測試軟件；d)進行測試條件的各項參數(shù)設定并確認；e)按下坐標調節(jié)桿調節(jié)測量探針與樣品表面的起始點完全接觸后，進行測量，測試探針沿著樣品表面運動測量實際輪廓平行面，得到真實的輪廓外形和相應的濾波曲線；4GB/TXXXXX—202Xf)測量結束后，顯示測量結果；g)選擇需要輸出的參數(shù)：算術平均粗糙度Ra或最大高度粗糙度Rz或最大峰谷粗糙度Rmax后，使設定生效；h)記錄結果；i)操作坐標調節(jié)桿，使測量探針離開樣品表面2cm以上。5.1.5數(shù)據(jù)處理取3個試樣測量數(shù)據(jù)的平均值作為結果，數(shù)值保留三位小數(shù)。5.2波紋度5.2.1試驗裝置使用觸針式表面粗糙度測量儀測量平板顯示器基板玻璃波紋度，觸針式表面粗糙度測量儀應滿足以下要求：a)觸針式表面粗糙度測量儀：尖部半徑為2μm~20μm，尖部材質為金剛石材質；b)剖面濾波器：2RC濾波器或高斯分布特性相位補償濾波器。5.2.2試樣要求試樣為潔凈的平板顯示器基板玻璃，在熒光燈或白熾燈照射下用肉眼觀察，不變形無污物。長寬尺寸不小于100mm×100mm。試樣數(shù)量為3個。5.2.3測試條件測試條件應按照下列步驟進行：a)計算規(guī)格：ISO-'97規(guī)格；b)測量類型：濾波中心線膨脹測量；c)濾波類型：高斯濾波；d)傾斜修正：最小二乘直線修正或最小二乘曲線修正；e)測量長度：30mm~100mm(30mm用于條紋觀測切塊測試。整幅測試可設定為100mm)；f)截止波長：0.8mm~8mm；g)測量范圍：±128.0μm或±64.0μm；h)測量速度：0.30mm/s或0.60mm/s；i)λS濾波器：有；GB/TXXXXX—202Xj)截止比：300；k)移動.返回速度：3.00mm/s；l)返回設定：通常測量；m)預留驅動長度：濾波波長／3×2。5.2.4試驗步驟試驗應按照下列步驟進行：a)按照5.1.4試驗步驟a)~d)規(guī)定的進行；b)按下坐標調節(jié)桿調節(jié)測量探針與樣品表面的起始點完全接觸后，進行測量。測試探頭沿著樣品表面運動，測量實際輪廓平行面；c)測量結束后，顯示測量結果；d)選擇輸出參數(shù)Wfpd；e)記錄結果；f)操作坐標調節(jié)桿，使測量探針離開樣品表面2cm以上；5.2.5數(shù)據(jù)處理取3