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文檔簡介
傳感器應用技術
電容式傳感器電容式傳感器電容式傳感器應用
41.差動式電容差壓傳感器2.電容式加速度傳感器3.電容式液位傳感器差動式電容差壓傳感器電容差壓傳感器廣泛應用于液體、氣體的壓力、液體位置及密度等的檢測,通常采用差動式結構1一彈性平膜片(動極);2一凹玻璃圓片;3一金屬鍍層(定極);4一低壓側進氣孔;5一輸出端子;6一空腔;7—過濾器;8—殼體;9一高壓側進氣孔工作原理:當被測壓力p1及p2通過過濾器進入空腔時,由于彈性膜片兩側壓力差,使膜片凸向壓力小的一側,這一位移改變了兩個鍍金玻璃圓片與彈性膜片之間的電容量特點:1、差動式電容差壓傳感器分辨力高,適合測量較小的壓力差;2、測量響應速度快,可達數十毫秒注意事項:若測量含有雜質的液體,須在兩個進氣孔前設置波紋隔離膜片,并在兩側空腔中充滿導壓硅油,使得彈性平膜片感受到的壓力之差仍等于p1—p2電容式加速度傳感器電容式加速度傳感器采用差動式結構,有兩個固定電極,兩極板之間有一個用彈簧片支撐的質量塊,此質量塊的兩個端面經過磨平拋光后作為可動極板1一絕緣體;2—固定電極;3一質量塊;4一彈簧片工作原理:傳感器測量垂直方向的微小振動時,由于質量塊的慣性作用,使兩固定極板相對質量塊產生位移,此時,上下兩個固定電極與質量塊端面之間的電容量產生變化而使傳感器有一個差動的電容變化量輸出,其值與被測加速度的大小成正比特點:1、頻率響應快,量程范圍大2、傳感器還可做得很小,與測量電路一起封裝在一個厚膜集成電路的殼體中注意事項:在結構上大多以空氣或其他氣體作阻尼物質電容式液位傳感器電容式液位傳感器主要利用被測介質液面變化轉換為電容變化的工作原理工作原理:在忽略邊緣效應情況下傳感器電容量C與被測液位高
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