美新半導體年產6億顆MEMS磁傳感器生產線及加速度傳感器工藝開發實驗線項目 環境影響報告_第1頁
美新半導體年產6億顆MEMS磁傳感器生產線及加速度傳感器工藝開發實驗線項目 環境影響報告_第2頁
美新半導體年產6億顆MEMS磁傳感器生產線及加速度傳感器工藝開發實驗線項目 環境影響報告_第3頁
美新半導體年產6億顆MEMS磁傳感器生產線及加速度傳感器工藝開發實驗線項目 環境影響報告_第4頁
美新半導體年產6億顆MEMS磁傳感器生產線及加速度傳感器工藝開發實驗線項目 環境影響報告_第5頁
已閱讀5頁,還剩479頁未讀 繼續免費閱讀

下載本文檔

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領

文檔簡介

建設項目環境影響報告表(報批稿)項目名稱:美新半導體年產6億顆MEMS磁傳感器生產線及加速度傳感器工藝開發實驗線項目建設單位(蓋章):美新半導體(紹興)有限公司編制日期:2021年4月《建設項目環境影響報告表》編制說明1.項目名稱----指項目立項批復時的名稱,應不超過30個字(兩個英文2.建設地點----指項目所在地詳細地址、公路、鐵路應填寫起止地5.主要環境保護目標----指項目區周圍一定范圍內集中居民住宅、學校、醫院、保護文物、風景名勝區、水源地和生態敏感點等,應盡可能給6.結論與建議----給出本項目清潔生產、達標排放和總量控制的分析結論,確定污染防治措施的有效性,說明本項目對環境造成的影響,給出7.預審意見----由行業主管部門填寫答復意見,無主管部門項目,可 二、建設項目所在地自然環境及社會環境簡況 三、環境質量現狀與評價 六、項目主要污染物產生及預計排放情況 八、建設項目擬采取措施及預期處理效果 1一、建設項目基本情況/碼造/ 美新半導體(紹興)有限公司選址在紹興市越城區香積路和漫池路交界地塊,項目總投資近4億,引進國際先進生產設備,建設MEMS磁傳感器生產線及加速度傳感器工藝開發實驗線。項目達產后,可實現年產MEMS磁傳感器芯片6億顆、年產本項目開發的MMC56xxNJ型MEMS磁傳感器芯片,是一款基于各向異性磁阻效應的消費類三軸磁傳感器,主要用于實現智能手機中的電子羅盤、輔助導航定位功能;加速度計系列產品采用標準CMOS集成電路工藝單芯片集成MEMS和ASIC電路,根據獨特的熱對流技術,利用加熱的氣體分子來檢測加速度,制備出體積小、重量輕、極具成本優勢的熱式加速度傳感器,并通過創新的傳感器設計,用平面工藝制2江省建設項目環境保護管理辦法》的規定,凡從事對環境有影響的建設項目必須進行環境影響評價,使經濟建設與環境保護能夠協調發展。根據《建設項目環境影響評價為此,美新半導體(紹興)有限公司特委托紹興市工業科學設計研究院有限公司為其開展環評工作。我公司在接受建設單位委托后,對項目所在地進行了實地踏勘、資料收集,對建設項目地周圍環境現狀進行調查與監測,對工程污染因子進行分析和類比調查,在向環保主管部門匯報的基礎上編制了MEMS磁傳感器生產線及加速度傳感器工藝開發實驗線項目環境影響報告表》評審會,專家一致認為,本報告表章節齊全,但鑒于敏感點及評價標準存在遺漏,工程源編制單位在收到專家意見后,重新對項目場地進行調查,與企業核實設計方案、工藝細節等問題,在此基礎上,對報告進行了認真修改完善,形成了復核稿(專家評審會議,專家一致認為報告基本按照專家組意見進行了修改完善,內容較全面。報告再做進一步完善后可上報相關主管部門審批。會后編制單位根據專家組修改意見對報告進行了補充、細化、校核及完善,形成了本報告表(報批稿現報請紹興市生態環3革委員會、科學技術部、工業和信息化部、商務部、國家知識產權局,2011年6月234(25)《國務院關于印發節能減排綜合性工作方案的通知》,國發〔2007〕15號科技部、國家環保總局和和國家稅務局六部委,國經貿資源〔2000〕1015號文,2000(27)《國務院關于印發大氣污染防治行動計劃的通知》,國發〔2013〕37號,(29)《國務院關于印發土壤污染防治行動計劃的通知》,國發〔2016〕31號,(30)《關于強化建設項目環境影響評價事中事后監管的實施意見》,環環評(33)《固定污染源排污許可分類管理名錄(2019年版)》,部令第11號,56(2)《浙江省“三線一單”生態環境分區管控方案》,浙江省生態環境廳,浙環發7(4)《浙江省人民政府關于發布浙江省生態保護紅線的通知》(浙政發[2018]303.1建設項目基本情況項目名稱:美新半導體年產6億顆MEMS磁傳感器生產線及加速度傳感器工藝開3.2產品方案及生產規模序號產品名稱產品型號單位數量1MEMS磁傳感器芯片MMC56xxNJ型億顆/年62加速度傳感器MXC4005XC型億顆/年本項目地塊位于紹興市越城區香積路和漫池路交界。本項目用地面積45畝,總占積800m2。項目將建設MEMS廠房、封測廠房、動力中心、化學品庫、硅烷站、大宗氣站及其他環保設施、辦公生活設施等。本項目主要經濟技術指標及建構筑物情況具8編號名稱層數占地面積(m2)地上建筑面地下建筑面積(m2)總建筑面積(m2)備注1MEMS廠房2500010072/10072/2辦公樓57700/7700用于辦公不涉及生產3封測廠房5252012745/127454綜合動力站34557/45575化學品庫17507508007506硅烷站1200200/2008大宗氣站-/區域占地面積:600m2912424/2412424/24合計36237800370374.2項目組成及工程特性序號工程項目建設目標一、主體工程1生產廠房MEMS廠房樓層總高8米,包括上夾層3米,凈化間4米,下夾層1米安裝MEMS傳感器配套生產規模為6億顆/年的生產設備以及加速度傳感器1.2億顆/年的生產設備。核心生產區域主要布置有介質淀積、刻蝕、光刻區等。封測廠房5F,布置芯片檢測設備,對芯片進行測試二、輔助工程2.1綜合動力站純水制備系統:1套,制備能力128m3/d常溫循環冷卻水系統:設置3臺循環冷卻水泵及冷卻塔,單臺冷卻塔規格為500m3/h冷凍水系統:設置2臺低溫(6/12℃)水冷冷凍機組,單臺標準制冷量為350USRT;設置3臺中溫(12/18℃)水冷離心式冷凍機組,單臺標準制冷量為1000USRT;設置3臺帶熱回收的中溫水冷離心式冷凍機組,單臺標準制冷量為1000USRT;配套冷凍水泵和冷卻水泵。空壓站:設置三臺風冷無有螺桿式空壓機,單臺功率為45Kw。2.2大宗氣站由地塊西北部的大宗氣站為本項目提供各類氣體。2.3硅烷站主要負責硅烷的供應。三、貯運工程化學品庫一般化學品庫存放硅片、靶材等原輔料危險化學品庫存放風險較大的毒性氣體、易燃氣體、易燃液體等廢品倉庫一般廢物暫存間存放生產過程中產生的危險廢物危險廢物暫存間存放廢芯片等一般廢物9四、環保工程4.1廢水處理站位于綜合動力站內,處理清洗廢水、噴淋廢水、制純廢水,采用UASB+MBR+RO膜+三效蒸發工藝,設計處理水量為144m3/h,三效蒸發工藝供熱方式為電加熱4.2廢氣處理系統處理酸性廢氣:經堿液噴淋+除濕+活性炭吸附裝置,風量13500m3/h,由25米高排氣筒排放(1#)處理有機廢氣:經熱氧+水洗裝置,風量6500m3/h,由15米高排氣筒排放(2#)4.3固廢貯存危廢暫存間:位于化學品庫內,用于貯存廠內危險廢物。一般廢物暫存間:位于化學品庫內,用于廢芯片等一般廢物堆放污泥暫存區:項目在廢水處理站設置污泥暫存區廢液收集罐:設置于生產廠房一層,包括廢酸、有機溶劑廢液收集罐4.4風險應急設施危險品庫設置1個800m3地下事故應急池。廠區設置雨水截止控制閥門,發生火災時,切斷廠區雨水管網與市政雨水管網的連接,打開雨水溝與事故廢水收集池連接,收集消防廢化學品庫、生產廠房(底層廢液收集罐區)地面全部進行防滲處理設置經過防滲處理的地溝、圍堰。設置人員防護設備,如:自備式呼吸器、面罩、防護服等,并設有安全淋浴和洗眼器危險品庫設置抽風裝置,活性炭吸附裝置,抽風至樓頂排放(15m排有毒有害氣體、易燃氣體泄漏探測裝置、截止閥。易燃易爆化學品防爆措施。設置消防報警系統,包括感煙系統、應急疏散系統、室內外消防裝置系統、排煙系統和應急照明及疏散指示系統。五、公用工程供電2臺2500kVA(20/0.4kV)變壓器和1臺630kVA(0.4/0.21kV)變壓器;發電機房設置1臺常用功率460KW,備用功率520KW;應急3H5.2供水由市政供水管網供給,通常情況下,熱水系統由冷機熱回收水提供5.3供熱由冷機熱回收系統提供六、辦公及生活設施2個,建筑面積分別為24m26.2辦公位于辦公樓6.3餐廳位于廠區南側發電機房與辦公室之間6.4綠化廠區綠地面積10%(1)給水:項目用水由開發區市政給水管網供給,項目自市政管網引入城市自來①給水系統包括:生活給水系統、生產配套給水系統、純②循環冷卻水系統包括:常溫循環冷卻水系統及工藝設備冷卻水系統。生產廠房使用的常溫循環冷卻水系統由綜合動力站內相應的系統供給,工藝設備冷卻水系統由常溫循環冷卻水系統用于冷凍站冷水機組。系統組成:冷卻水循環泵、組合式冷工藝設備循環冷卻水系統。供工藝設備冷卻用水,為閉路循環系統,為保證進水溫度,在循環管路上加設水溫控制裝置。系統組成:工藝設備冷卻水循環泵、板式換本項目采用城市自來水制備芯片生產所需的超純水,該系統包括初純水系統(多介質過濾、活性炭過濾、RO反滲透、紫外線殺菌)、超純水系統(紫外線殺菌裝置、拋光混床塔、膜脫氣裝置、超濾裝置。多介質過濾主要用以除去水中的懸浮物和大顆性炭主要除去水中的余氯外,還可以去除水中的部分有機物、臭味、色度、藻類和以A生活污水系統:生活污水化糞池處理后,經廠區廢水排口,由市政污水管網排B生產廢水系統:項目生產廢水經廢水處理系統處理后循(3)供電:用電量3744.9萬度/年;采用2臺2500kVA(20/0.4kV)變壓器和1臺(4)供熱系統:熱水系統由冷機熱回收系統組成,向暖通空調系統提供本項目潔凈室及二次更衣室的空調系統形式均采用FFU(風機過濾單元)+DCC(干冷卻盤管)+MAU(集中新風)的系統形式。設高架地板的潔凈區氣流組織形式為上送下回,其它房間氣流組織形式為上送下側回。FFU根據潔凈級別的劃分,采用不同的滿布率。百級潔凈區,FFU的覆蓋率約為50%。千級潔凈區FFU覆蓋率約為潔凈區采用集中新風(MAU)系統,通過水洗、冷卻除濕、過濾或加熱后送入潔凈室以補充潔凈室內工藝排風、維持正壓和提供人員所需為目的。新風空調機組由進風段、G4板式初效過濾段、F7袋式中效過濾段(預留)、熱回收熱水預熱盤管段(38/28℃)、中溫冷凍水預表冷段(13/19℃)、RO水噴淋水洗加濕段、低溫冷凍水表冷段(6/12℃)、再加熱段(38/28℃)、風機段、化學過濾器段(預留)、過濾段、H13高效過濾段、出風段以及相關的檢修功能段組成。干盤管采用中溫冷水本項目FAB化學品部分區域(暫定化學品傳輸規劃進入FAB)采用一套全新風直流式空調系統形式,新風經空調機組進行冷卻去濕、加熱、加濕、過濾后,送入各房空調機組由進風段、G4板式初效過濾段、F9袋式中管段(38/28℃)、低溫冷凍水表冷段(6/12℃)、濕膜加濕段、風機段、熱回收熱水再空調機組由G4板式初效過濾段、F8袋式中效過濾段、低溫冷凍水表冷段本項目辦公區、搬運區、動力中心內辦公區風機盤管選用余壓型風機盤管,氣流組織為上送上回,來自PAU的新風直接送入風機盤管設計按其中檔冷量、熱量、風量、水量、水壓降及噪聲選型。風機盤管風機盤管設三速開關和電磁閥,可以根據溫控器的設定值,自動調整房間溫度。序號產品名稱產品類別規格參數年使用量存放位置使用工段/用途1MEMS磁傳感器芯片硅片8英寸,25片/盒20000片/普通倉庫直接材料2H2O2(雙氧水)30%,20L/桶3500升3.96噸危化學品倉庫清洗3IPA(異丙醇)20L/桶18000升危化學品倉庫去膠清洗4N-甲基吡咯烷酮1加侖/瓶5920加侖22.41噸危化學品倉庫去膠清洗5光刻膠2000升2.09噸危化學品倉庫光刻,圖形定義6顯影液1加侖/瓶7400加侖27.25噸危化學品倉庫光刻,圖形定義7靶材塊45塊/普通倉庫直接材料8SiH4(硅烷)47L/瓶452100.03噸硅烷站介質鍍膜9NH3(氨氣)47L/瓶12700升0.01噸危化學品倉庫介質鍍膜N2O(笑氣)47L/瓶469000升0.7噸危化學品倉庫介質鍍膜N2(氮氣)液氮,20噸/儲罐960噸960噸大宗氣站介質鍍膜CF4(四氟化碳)47L/瓶241900升0.95噸危化學品倉庫介質鍍膜/刻蝕CHF3(三氟甲烷)47L/瓶8900升0.027噸危化學品倉庫介質刻蝕Ar(氬氣)47L/瓶1510700升危化學品倉庫金屬濺射He(氦氣)47L/瓶2239124升危化學品倉庫金屬濺射O2(氧氣)47L/瓶226700升0.22噸危化學品倉庫去膠CO2(二氧化碳)47L/瓶100600升0.07噸危化學品倉庫去膠Cl2(氯氣)47L/瓶16500升0.053噸危化學品倉庫金屬刻蝕丙酮20L/桶危化學品倉庫設備清洗20BCl3(氯化硼)47L/瓶11500升0.016噸危化學品倉庫金屬刻蝕1加速度傳感器芯片SF6(六氟化硫)50L/瓶137100升0.83噸危化學品倉庫硅刻蝕2硅片(加速度用)8英寸,25片/盒10000片/普通倉庫直接材料3C4F8(八氟環丁烷)10L/瓶3700升0.006噸危化學品倉庫硅刻蝕4(BOE)緩沖氧化物刻蝕液4L/瓶危化學品倉庫清洗5TMAH(四甲基氫氧化銨液)4L/瓶220升0.22噸危化學品倉庫清洗6O2(氧氣)40L/瓶226700升0.22噸危化學品倉庫去膠7乙二醇4L/瓶危化學品倉庫清洗序號名稱主要成分1顯影液四甲基氫氧化銨液濃度25%2TMAH(四甲基氫氧化銨液)四甲基氫氧化銨液濃度25%3光刻膠乙酸丁酯15%2-羥基丙酸乙酯70%4BOE(緩沖氧化物刻蝕液)49%HF水溶液:40%NH4F水溶液=1:6(體積比)的成分混合而成序號名稱理化性質危險特性毒理指標1雙氧水H2O2(30%)臨界壓力21683.6Pa。與水互溶。溶于醇類、乙二醇、吡啶、醋酸酯、酸類和酮。雙氧水是微酸性液體,具有漂白作用。本身不燃,但分解放出的氧能強烈助燃。遇強氧化劑時也可被還原。對熱、雜質、沖擊、酸度,強解。爆炸性強氧化劑。本身不燃,但能與可燃物反應并產生足夠的熱量引起著火,最終可導致爆炸。爆炸極限26~100%。其爆炸危險主要是因與有機物反應或雜質催化分解而產毒性主要是由過氧化氫的活性氧化作用所引起。可通過呼吸道吸入、皮膚接觸吸收和吞入等途徑引起中毒。由于其蒸氣壓小、揮發性低,且具有強烈燒灼感,蒸汽吸入和吞入中毒的可能性小。LD504060mg/kg(大鼠經皮LC502000mg/m34小時(大鼠吸入)2異丙醇IPA無色具有醇氣味的揮發性液體。相對密度0.7855,5.37x106Pa,蒸氣壓4418Pa(20℃);24kPa(50℃),蒸氣密度2.1。能與水、醇、醚及苯類混合易燃,蒸汽能與空氣形成爆炸性混合物。爆炸極限2.0~12.7%(200℃)。閃與氧化劑接觸發生劇烈反應。在火場中,受熱的容器有爆炸的危險。屬微毒類。生理作用和中毒癥狀與乙醇相似,但毒性較乙醇強。對上呼吸道粘膜具有利激作用,在體內幾乎無蓄積。美國ACGIH生產環境化學物質閡限值(TLV):TWA:400ppm(985mg/m3);STEL:500ppm(1230mg/m3)。大鼠LD50:5840mg/kg3N-甲基吡咯烷酮無色透明液體,沸點水混溶,溶于乙醚,丙酮及各種有機溶劑,稍有氨味,化學性能穩定,對碳鋼、鋁不腐蝕,對銅稍有腐蝕性。具有粘度低,化學穩定性和熱穩定性好,極性高,揮發性低,能與水及許多有機溶劑無限混溶等優點。/LD50:3.8mg/kg大鼠吸入4乙酸丁酯無色有果香氣味的液體。沸點(101.3kPa)相對密度(20℃/4℃)易燃,其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物。遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與氧化劑能發生強烈急性毒性:LD5013100mg/kg(大鼠經口LC509480mg/kg(大鼠經口人吸入0.8807,燃點為421℃。閃點(閉口)27℃;爆炸極限(下限)1.4%(vol(上限)8.0%(vol)。反應。其蒸氣比空氣重,能在較低處擴散到相當遠的地方,遇明火會引著回燃3300ppm×短暫,對眼鼻有明顯刺激;人吸入200~300ppm×短暫,對眼、鼻有輕度刺激52-羥基丙酸乙酯無色液體,略有氣味;與水混溶,可混溶于醇、芳烴、酯烴類、油類等,屬易燃液體。易燃,遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與強氧化劑發生反應,可引起燃燒LD502500mg/kg(小鼠經口)6四甲基氫氧化銨無色結晶(常含三、五等結晶水極易吸潮,有一定的氨氣味,具有強堿性,在空氣中能迅速吸收二氧化碳,形成碳酸鹽為有機強堿,具有較強的腐蝕性。通常制10%、25%的水溶液,含5分子結晶水的四甲基氫氧化銨為無色潮解性針狀結晶,熔點熱到沸點時易分解成三甲胺、二甲醚(90%)和甲醇(5%)易分解放出氨氣,溫度越高分解越快,可形成爆炸性氣氛LD50:449mg/kg(大鼠經皮)7SiH4(硅烷)無色帶有令人討厭的臭味。相對密度0.68(-蒸汽密度1.1。遇水緩慢水解。不溶于乙醇、乙醚和苯。在常溫下穩定,高溫時能自燃。為強還原劑。在400℃左右完全分解成硅和氫,與鹵素和氧化劑接觸劇烈反應。能與空氣形成爆炸性混合物,爆炸極限1~100%。在高溫時自燃,遇熱源和火源有燃燒爆炸的危險,并釋放出劇毒氣體。有毒、能激烈刺激皮膚、眼睛、粘膜和呼吸器LC50:9600ppm/4小時(大鼠吸入)8NH3(氨氣)無色有刺激性惡臭的氣體;相對密度0.82(-易溶于水、乙醇、乙醚;主要用作制冷劑以及制取銨鹽和氮肥。LD50:350mg/kg(大9N2O(笑氣)無色、無臭帶有微甜氣味的非易燃氣體,液化氣也無色。室溫時穩定。相對密度1.98(氣體),1.226(液體)。熔點-90.8℃,沸點-于水、乙醇、乙醚、濃硫酸。與乙醚、乙烯等易燃氣體和有機性氣體能起助燃作用,從而加劇火焰的燃燒,刺激性小于氮氧化物,吸入90%以上的氣體時可引起深度麻醉,長期吸入高濃度時有窒息危險。從麻醉后蘇醒過來后心情愉快,被認為無細胞LC50:1068mg/m3(大鼠吸入)毒性。CF4(四氟化碳)無色非易燃的氣體。相對密度1.96(-184℃),熔點-5.5x105Pa。蒸汽密度3.1。受熱鋼瓶內壓增加有爆炸的危險。低毒。對呼吸道有刺激,高濃度時具有麻醉作用。LCLo:895000ppm(大鼠吸入,CHF3(三氟甲烷)無色非易燃的氣體,相對密度1.52(100℃)。熔點-163℃。沸點-82.2℃。蒸汽密度2.4。不燃,受熱分解釋放出劇毒的煙霧。低毒。高濃度時產生麻醉作用。LD50:695mg/kg(大Cl2(氯氣)黃綠色有刺激性臭味的氣體。在常溫下7.09x105Pa以上壓力時為液體,液態氯呈金黃色。相對密度3.214,熔點-100.9℃,沸點-臨界壓力7.71×105Pa,蒸氣壓6.40×105Pa(20℃),蒸汽密度2.49。氯可從溴或碘的鹽中將它們置換出來。能與有機物和無機物進行取代和加成反應。干的氯稍不活潑,濕氯能直接與大多數元素結合。在空氣中不燃。一般可燃物大都能在氯氣中燃燒。它能與許多化學品猛烈反應發生爆炸或生成爆炸性物質。幾乎能對金屬和非金屬都起腐蝕作用。對眼睛和呼吸系統的粘膜有極強的刺激性。對皮膚也有強刺激性,形成可見刺激癥狀和水瘡。3.5ppm時可感到臭味;15ppm時對眼睛和呼吸道有刺激作用,并感到疼痛、咳嗽、窒息感及胸部緊迫感;50ppm時瞬間可引起嚴重損害,有胸痛、吐粘痰及咯血;100ppm時瞬間可引起呼吸困難,脈搏減少,發紺;1000ppm時立即死美國ACGIH生產環境化學物質閾限值0.5ppm(1.5mg/m3);STEL:1ppm(3.0mg/m3)LC50:293ppm/1小時(大鼠吸入)BCl3(氯化硼)無色帶有強烈窒息性臭味的液體或氣體,在潮濕空氣中可形成白色腐蝕性濃厚煙霧。相對密度1.01x105Pa(12.7℃),蒸氣密度4.03。非易燃氣體。有極強反應性。遇水發生爆炸性分解,散發出有刺激性的和腐蝕性的氯化氫氣體。與金屬、有機物等可發生激烈反應。遇潮氣對大多數金屬有強腐蝕性,也能腐蝕玻璃。有毒。兼有氯化氫和硼兩者的毒性。長期接觸會侵犯胃神經。刺激性極強,接觸氣體能刺激眼睛、皮膚和呼吸系統,液體能灼傷眼睛和皮膚。LC50:12171mg/m3,1小時(大鼠吸入)SF6(六氟化硫)無色、無臭、非易燃液化氣體。特點是相對密度極大,約為空氣的5倍左右。相對密度1.88(-藥理上被認為是惰性氣體。但一氟化硫、四氟化硫和五氟化硫等氣體都是非常毒的刺激性氣體,有類似光氣對呼吸系統的危美國ACGIH生產環境化學質閥限值TWA:1000ppm(5970mg/m3)。LD50:5790mg/kg華,>800℃時分解,臨界3.81x105Pa,蒸汽密度6.6。難溶于水,微溶于醇。對熱及化學品都非常穩定。害作用,如商品中混有上述物質則會引起中毒。(兔靜脈)乙二醇無色、無味、有甜味、粘稠液體;相對密度1.11;蒸氣密度2.14;熔點-混合,可混溶于乙醇、醚可燃LD50:8000~15300mg/kg(小鼠經口5900~13400mg/kg(大鼠經口)丙酮是一種無色透明液體,熔點:-94.6℃、沸點:56.5℃、易溶于水和甲醇、乙醇、乙醚、氯仿、吡啶等有機溶劑。易燃、易揮發,化學性質較活潑。LD50:5800mg/kg(大鼠經口);20000mg/kg(兔經皮)序號設備名稱型號及規格數量(臺/套)設備功率KW用途使用工段1磁控鍍膜機C1190鍍膜金屬12離子刻蝕機IBE350150刻蝕3剝離機M330314步進式光刻機I121755涂布和顯影機MARK816條寬測量儀938017應力測試儀5200148顆粒測量儀SP119套刻測試儀OVL15固膠機Plasma2001化學氣相沉積鍍膜機P5K2金屬刻蝕機9600163介質刻蝕機P5K2矩陣去膠機PLASMA-100325清洗機KS-S200-4E120濕法去膠機TANK3金屬濺射機55001甩干機SRD36磁性測試儀BH13020晶圓打標機JYD121烘箱OVEN25522厚度測試儀OP123擦片機124硅刻蝕機A60156025干法尾氣處理機D-GS12526尾氣處理機PW-GS600227良率測試臺128形貌分析儀SEM120名稱消耗量水(噸/年)22168.8電(萬度/年)3744.9本項目根據用地現狀及規劃、公司自身發展需求,盡量優化總圖布局,使其布局滿足生產工藝、運輸、消防、環保、美觀等要求。詳見附圖3“建設項目廠區平面布置(1)總圖采取分區布置的原則,將廠區分為生產區、生產支持區,各區域功能劃分明確。將生產廠房布置于廠區中部,辦公區位于生產廠房東側,輔助設施動力中心位于生產廠房西側,大宗氣站位于生產廠房西北側,對(2)廠區東側設置主出入口(辦公及訪客出入口與漫池路相連;南側設置物流出入口,與香積路相連。兩個出入口功能劃(3)廠區各建筑物之間的間距根據生產廠房的要求、裝卸運輸、防火間距、管道敷設以及用地經濟等因數綜合確定。廠區道路呈環形布置,并與廠區外道路相連,形成暢通的物流、人流及消防通路,便于原料及產品運輸,有利于消防。同時,廠區內各建筑物與綠化鑲嵌布置,既營造優美的生產環境,又對項目產生的廢氣和噪聲有一綜合上述,本項目總平面布置充分考慮生產流線配合、消防以及污染物治理,分根據《環境影響評價技術導則-大氣環境》(HJ2.2-2018)中5.3節工作等級的確定方法,結合項目工程分析結果,選擇正常排放的主要污染物及排放參數,采用附錄A推薦模型中的AERSCREEN模式計算項目污染源的最大環境影響,然后按評價工作分評價工作等級評價工作分級判據一級Pmax≥10%二級1%≦Pmax<10%三級Pmax<1%同一個項目有多個污染源(兩個及以上)時,則按各污染源分別確定評價等級,經估算模型計算,本項目各主要大氣污染源排放的大氣污染物中,下風向最大質量濃度占標率Pmax=9.0%,1%≦Pmax<10%。根據HJ2.2-2018《環境影響評價技術導根據廠址周圍的地形條件、周邊環境特征及HJ2.2-2018《環境影響評價技術導則空氣環境》要求,確定本項目大氣評價范圍為以項目所在地為中心邊長5km矩形區本項目廢水經廠區處理后進入市政污水處理系統,不直接排入地表水,故本次地表水環境評價工作等級為三級B。重點分析項目廢水處理系統的有效性、可靠性,以對照《環境影響評價技術導則—地下水環境》(HJ610-2016)中“地下水環境影響器件制造、光電子器件及其他電子器件制造”中的“報告表”,為Ⅲ類項目。項目所在地附近無集中式飲用水水源、分散式飲用水水源等敏感區,地下水敏感程度屬于“不敏感”等級,因此確定項目地下水影響評價等級為三級。根據評價等級劃分表,如下表1-項目類別敏感程度Ⅰ類項目Ⅱ類項目Ⅲ類項目敏感一一二較敏感一二三不敏感二三三根據HJ610-2016《環境影響評價技術導則地下水環境》,本項目地下水環境評價本項目位于越城區香積路和漫池路處交界,根據《紹興市聲環境功能區劃》,位于3類聲環境功能區。建設項目建設前后評價范圍內敏感目標噪聲級增高量在3dB(A)以下(不含3dB(A)),受影響人口數量變化不大,根據聲環境影響評價技術原則與方法中工作等級劃分判據及建設項目所在地聲環境功能要求,確定項目環境噪聲影響評價等級為三級。根據HJ2.4-2009《環境影響評價技術導則聲環境》,本項目根據《環境影響評價技術導則·土壤環境(試行)》(HJ964--2018)中“附錄A土壤環境影響評價項目類別”,本項目參照“制造業-設備制造、金屬制品、汽車制造及其本項目屬于污染影響型項目,占地面積45畝(≤5hm2占地規模為小型。企業周邊均為工業企業或規劃工業用地,項目周邊土壤環境敏感程度為不敏感,參照敏感等級分類,綜合判斷本項目土壤影響評價等級為三級。評價等級劃分表,如下表1-11項目類別敏感程度Ⅰ類項目Ⅱ類項目Ⅲ類項目大中小大中小大中小敏感一一一二二二三三三較敏感一一二二二三三三/不敏感一二二二三三三//根據HJ964-2018《環境影響評價技術導則土壤環境(試行)》,本項目土壤影響根據《建設項目環境風險評價技術導則》(HJ169-2018)附錄B,本項目危險物質數量與臨界量比值結果為:Σq/Q=0.836<1,當Q<1時,該項目環境風險潛勢為Ⅰ,本項目位于越城區香積路和漫池路處交界,周邊均為工業企業及規劃工業用地,所在區域生態敏感性一般;用地內無珍稀瀕危野生動物,工程占地范圍小于2km2。項目所在地目前為空地,對生態環境影響較小,不會使生物量、物種多樣性、綠地數量發生銳減,不會使異質性程度降低,不會造成土地理化性質惡化。因此確定本項目生態影響評價等級為三級,對生態環境影響分析只作簡要分析論述。根據HJ19-2011《環境影響評價技術導則生態影響》,本項目生態本項目為新建項目,項目位于規劃工業用地范圍內。根據現場踏勘,項目擬建場地歷史上均為農田,現狀為空地,廠界已用圍墻封閉,二、建設項目所在地自然環境及社會環境簡況2.1自然環境簡況(地形、地貌、地質、氣候、氣象、水文、土壤、植物、動物資源紹興市位于浙江省中北部、杭州灣南岸。東連寧波市,南臨臺州市和金華市,西119°53′03″至121°13′38″之間。全境域東西長1長40千米,陸域總面積為8273.3平方千米,市區面積2942平方千米。全市下轄越城區、柯橋區、諸暨市、上虞區、嵊州市和新昌縣。杭甬鐵路、杭甬高速公路、104國越城區為紹興市下轄區,地處杭州灣南岸,寧紹平原西部,會稽山北麓。越城境內高等級公路平坦空闊,四通八達,連接各地。浙贛、杭甬兩條骨干鐵路和滬杭甬等二條高速公路縱橫貫通。浙東運河穿境而過,東達寧波港,西連大運河,內河航運發達。越城區共轄5個鎮、12個街道,面積498平方公里,為紹興市委、市人民政府所本項目選址位于紹興市越城區香積路和漫池路交界。東面為漫池路,道路以東為翠灣村工業園區、笄山薛家埭生態工貿區;南面為香積路,道路以南為紹興市鐵戈釘業有限公司、紹興市紅光五金有限公司;西面為紹興市五環彩印有限公司;北面為規劃工業用地,目前為空地,空地以北緊臨臨江路,臨江路以北為蕭曹運河支流。項目2.1.2地形、地質、地貌紹興市全境處于浙西山地丘陵、浙東丘陵山地和浙北平原三大地貌單元的交接地帶,地勢南高北低,形成群山環繞、盆地內含、平原集中的地貌特征,地形骨架呈水三分田”,全境地勢由西南向東北傾斜而下,中部多為海拔500米以下的丘陵地和臺地。北部平原地表地貌比較單調,但地下空間比較復雜,發育了分布較復雜的淤泥層、軟土層和硬土層。地質上,境內以縱貫市域的江山—紹興深斷裂(柯橋區平水鎮至諸暨市璜山一線)為界,西北部和東南部分屬揚子準地臺、華南褶皺系這兩個一級構造單元,分屬江南(西北區)和華南(東南區)兩個地層區。由于歷史上經歷了大量的地質活動,留下了豐富而比較齊全的地質結構。境內的西北區自中元古界至新生界第四系地層發育較齊全,有大量沉積層出現;東南區以中生界和新生界地層為主,紹興市地處紹虞平原水網地帶,河網縱橫,河湖相連,水位變化緩慢,測得正常控制水位為3.8m,歷史最高水位5.3m(1962年歷史最低水位1.73m(1967年水源補給主要是地表徑流和降水,其水文特征受天然降水過程影響,又受沿海堰閘調節控制,內河在新三江閘、馬山閘等排海閘的控制下,基本為一封閉水域,水流自西南流向東北,流量甚小。曹娥江是浙江省八大水系之一,發源于天臺山脈,流經新昌、嵊州、上虞,至柯橋區新三江閘后,匯入錢塘江,全長193km,其中流經紹興境項目所在地區域屬于北半球中緯度亞熱帶北緣,是東亞季風盛行的地區,氣候溫和濕潤,四季分明,冬夏長,春秋短,春季溫涼多雨,夏季炎熱濕潤,秋季先溫后干,冬季寒冷干燥。根據紹興市氣象局專業氣象臺近幾年統計的資料,紹興市的主要境內土壤類型多,分布復雜,性態特征各異,土質良好,多宜農業利用。從類型看,除地帶性的紅壤、黃壤土外,還廣布著隱域性的水稻土、潮土、鹽土和紫色土、石灰巖土、中基性火山巖土、粗骨土、石質土、新積土等9個土類。紹興市土壤共劃分為11個土類、21個亞類、65個土屬、101個土種。其中水稻土占4個亞類、29個土屬、50個土種,面積227071.67公頃,占土壤總面積的29.82%;紅壤土占3個亞類、11個土屬、17個土種,面積341100公頃,占土壤總面積的45.60%。豐富的土壤資源,為農、林、牧、漁業的全面發展及各種地方名、優、特產品的生產,提供了有利條件。自然植被和人工植被,按地域差異,可分山丘植被區、水網河谷平原植被區和濱海平原植被區。自然植被種類很多,據調查所得,共有153科、449屬、879種。其中以天然森林植被為主(森林覆蓋率達46.2%),有針葉林、闊葉林、灌木林、混交林、竹林和鹽生等6類。人工植被主要有糧油作物、經濟作物和觀賞植物等3大2.2相關規劃符合性分析2.2.1紹興市“三線一單”生態環境分區管控方案項目選址位于紹興市越城區香積路和漫池路交界地塊,根據《紹興市“三線一單”2、禁止新建三類工業項目,現有三類工業項目擴建、改建不得增加污染物排放3、合理規劃居住區與工業功能區,在居住區和工業區、工業企業之間設置防護綠1、嚴格實施污染物總量控制制度,根據區域環境質量改善目標,削減污染物排放3、加快落實污水處理廠建設及提升改造項目,推進工業園區(工業企業)“污水2、強化工業集聚區企業環境風險防范設施設備建設和正常運行監管,加強重點環境風險管控企業應急預案制定,建立常態化的企業隱患排查整治監管機制;加強風險推進工業集聚區生態化改造,強化企業清潔生產改造,推進節水型企業、節水型六、本項目與紹興市“三線一單”生態環境分區管控方案符合性分析:表2-1紹興市“三線一單”生態環境分區管控方案符合性分析一覽表管控方案內容本項目符合性分析空間布局約束優化產業布局和結構,實施分區差別化的產業準入條件。項目為MEMS傳感器及加速度傳感器生產,屬于二類工業項目,不屬于該管控單元禁止類項目。符合禁止新建三類工業項目,現有三類工業項目擴建、改建不得增加污染物排放總量,鼓勵對現有三類工業項目進行淘汰和提升改造。項目為MEMS傳感器及加速度傳感器生產,屬于二類工業項目。符合合理規劃居住區與工業功能區,在居住區和工業區、工業企業之間設置防護綠地、生態綠地等隔離帶。東面為漫池路,道路以東為翠灣村工業園區、笄山薛家埭生態工貿區;南面為香積路,道路以南為紹興市鐵戈釘業有限公司、紹興市紅光五金有限公司;西面為紹興市五環彩印有限公司;北面為規劃工業用地,目前為空地,空地以北緊臨臨江路;臨江路以北為蕭曹運河支流。項目附符合近居民區較少,企業之間有綠地。嚴格執行畜禽養殖禁養區規定。不涉及。-污染物排放管控嚴格實施污染物總量控制制度,根據區域環境質量改善目標,削減污染物排放總量。項目只排放生活污水,CODcr、NH3-N無需進行消減替代,氮氧化物、VOCs按1:2比例進行區域削減替代,實現區域污染總量削減,能滿足污染物總量控制度。符合新建二類工業項目污染物排放水平要達到同行業國內先進水平項目屬于二類工業項目,酸性廢氣經廢氣處理系統處理后通過25m高排氣筒排放(1#有機廢氣經廢氣處理系統處理后通過15m高排氣筒排放(2#項目清洗廢水、噴淋廢水和制純廢水經污水處理站(UASB+MBR+RO膜+三效蒸發)處理后回用于生產,生活污水接入市政污水管網,最后送紹水處理發展有限公司處理。其處理能達到同行業國內先進水平。符合加快落實污水處理廠建設及提升改造項目,推進工業園區(工業企業)“污水零直排區”建設,所有企業實現雨污分流。項目實施雨污分流,項目生活污水接入市政污水管網,最后送紹水處理發展有限公司處理。符合加強土壤和地下水污染防治與修項目采取源頭控制和分區防控措施,做好土壤和地下水污染防治。符合環境風險定期評估沿江河湖庫工業企業、工業集聚區環境和健康風險。對企業周邊河道、環境和監控風險進行評估,進一步加強風險防控體系建設-強化工業集聚區企業環境風險防范設施設備建設和正常運行監管,加強重點環境風險管控企業應急預案制定,建立常態化的企業隱患排查整治監管機制;加強風險防控體系建設。項目實施后企業應定期開展環境風險管控。符合該區“環境風險防控”要求符合資源開發效率要求推進工業項目實施后企業應定期開展環境風險管控。符合該區“環境風險防控”要求符合資源開發效率要求推進工業集聚區生態化改造,強化企業清潔生產改造,推進節水型企業、節水型工業園區建設,落實煤炭消費減量替代要求,提高資源能源利用效率企業應加強清潔生產改造,提高資源能源利用效率,符合“資源開發效率要求”符合綜上所述,本項目所在地不屬于紹興市越城區生態保護紅線劃定的紅線范圍內,紹興高新區地處杭州灣南岸,寧紹平原西部,會稽山北麓;東鄰上虞區,西接紹從東側開始順時針方向邊界線依次為吼山路、中山路、二環東路、二環南路、會稽路-環城東路、東池路、蕭甬鐵路、迪蕩湖路、二環北路、中興大道、鳳林東路、越東路、二環東路、東湖風景區南麓、人民東路、漫池江、銀興路、銀洲路、鑒湖大貫徹落實“中國制造2025”發展戰略、“互聯網+”行動計劃,突出區域特色產業優勢,重點發展電子信息、健康裝備(醫用新材料)、節能環保、高技術服務業四大產業,推動紡織服裝、機械制造、輕工食品三大傳統產業轉型升級,加快實現高端化轉①電子信息產業。貫徹落實“互聯網+”行動計劃,以兩化融合和產業轉型升級為主線,充分發揮光大芯業、京東方等骨干企業帶頭作用,加大核心技術攻關,提高關鍵環節和重點領域的創新能力,做大做強高性能集成電路、新型顯示,加快發展大數據、物聯網等領域,提升軟件及信息服務業發展水平,著力引入產業鏈上下游企業,深化信息技術與制造業、服務業融合創新,打造全省信②健康裝備(醫用新材料)產業。把握生命健康發展新機遇,以前沿生命科學發展為基礎,以先進生命科學技術為依托,充分挖掘中國科學院大學、同創醫學研究院、銘眾研究院等技術成果轉移中心資源優勢,重點發展生物醫用新材料、醫療器械與健康裝備、腦健康科學等領域,打造一批特色鮮明、優勢突出的生命健康產業集③節能環保產業“綠色、低碳、環保”為目標,聚焦節能環保熱點領域,對接循環經濟和低碳經濟需求,突破一批高效、低成本的高效節能及環保領域關鍵技術,加速引入一批節能環保裝備重點項目,推動節能環保服務產業發展,推動本地紡織印染等④高技術服務業。以“服務產業、繁榮經濟、優化環境”為目標,堅持“與城市化結合、與制造業互動、與市場化同步”原則,鼓勵企業開展基于產業聯動的服務創新,重點發展科技服務業、數字創意、電子商務、現代金融等重點領域,推動構建現代服務業與高新技術制造業跨界融合、均衡發展的產業格局,將高新區打造為引領全市、輻依托高新區主園區,推動各類創新平臺建設,重點發展電子信息、健康裝備(醫用新材料)、節能環保產業和高技術服務業,構建“兩心五區”發展格局,打造集中集①科創慧心。以科創大廈、迪蕩海創園為核心載體,推動各類創新平臺建設,聚集科技中介服務機構,構筑高品質創業孵化服務體系,②商貿核心。以迪蕩新城為依托,建設高端商務辦公樓宇、城市綜合體,完善商——“五區”即研發孵化示范區、新興產業集聚區、高端綜合服務區、都市創客活①研發孵化示范區。位于稽山街道產業發展區塊,為滿足現有傳統產業轉型升級需求,加快科創中心建設,吸引一批科研機構、科技型企業入駐,加快發展信息技術及互聯網和高技術服務業,重點承擔研發創新、技術服務、孵化加速、人才培養等功②新興產業集聚區。位于皋埠鎮產業發展區,重點發展電子信息、生命健康、節能環保等新興產業領域,集聚一批新興產業化項目和高成長型科技企業,推動本地傳統產業轉型升級,促進先進科技成果在本地轉移轉化,打造越城區新興產業發展承載③高端綜合服務區。位于稽山街道、迪蕩街道核心區塊,依托世茂天際中心等高端商務樓宇建設,加快發展現代金融、總部經濟等新興服務業態,同時配套發展居住、教育、醫療等生活性服務業,加快完善高檔住宅、學校、醫院等生活配套設施,④都市創客活力區。位于迪蕩湖周邊區塊,完善迪蕩湖周邊配套設施建設,加快推進迪蕩科創園、迪蕩湖城市休閑公園等項目建設,重點發展新型創客經濟,打造全⑤生態旅游休閑區。位于東湖街道,依托河流、湖泊等良好的生態資源,規劃建設一批主題公園、游樂場等大型娛樂休閑設施,完善道路、住宿、餐飲、娛樂等配套‘、規劃符合性分析:對照《紹興國家高新技術產業開發區空間利用規劃(2016~2025年)》,本項目選址地塊位于紹興市越城區香),節能環保和電子信息產業,本項目屬于集成電路制造項目,符合主導產業發展方向;本項目位置本項目位置2.2.2《紹興國家高新技術產業開發區空間利用規劃環境影響報告書》紹興國家高新技術產業開發區前身是紹興經濟開發區,于199業園區升級為國家高新技術產業開發區,其國家核準開發面積10.44平方公里,包括東、西兩個區塊,其面積分別為2.09、8.35平方公里。近年來,隨著管理范圍的調整,高新區實際建設范圍與核準時相比也有所變化,當前實際管理范圍約30平方公里。2015年,紹興高新技術產業開發區管委會委托紹興市城市規劃設計研究院編制了國家高新技術產業開發區范圍為基礎,向北將東湖街道則水牌區域納入規劃范圍,向東拓展至皋埠鎮西片區,規劃控制面積29.57平方公里。紹興高新區管委會委托紹興國家高新技術產業開發區經過多年發展,已初步形成了健康裝備與生物醫用新材料、節能環保及技術服務、電子信息三大產業。多年來規劃區缺乏一個總領全局業實施提升改造,規劃實施后明確環境準入條件,聚焦發展信息技術及互聯網、生命健康、節能環保、高技術服務業四大領域,進一步優化了園區定位和布局,充分體現規劃產業定位與紹興市城市總體規劃、環境功能區劃等上位規劃一致,規劃目標與當前環保要求相符,發展定位符合大環境背景要求。在規劃層面上土地資源、水資源和能源能夠得到保障,環保基礎設施已配套建設;大氣環境容量存在短板,通過區域削減可以滿足污染物排放要求;規劃實施對重要環境敏感目標的影響總體不大。報告認為,高新區空間利用規劃在規劃目標、發展定位和產業結構等方面較為合理,尚結合規劃環境保護目標與評價指標的可達性分析,本環評認為《空間利用規劃》在進一步優化布局、對已建區塊實施提升改造、加強環境基礎設施整治、嚴格落實資源保護和環境影響減緩對策和措施后,從資源環境保護而言是可行的,也有利于促進表2-2紹興高新區生態空間清單(節類別序號所含空間單元所在環境功能區劃小區面積km2現狀用地類型用地規劃圖四至范圍管控要求限制開發區5皋埠鎮居住區西區越城區皋埠鎮人居環境保障區居住用地、商業用地、物流用地、農林用地、二西至楊紹線,南至中山路,東至獨樹路,北至人民東路、東湖風景名勝1、合理規劃布局區塊內商業、居住、科教等功能區塊,嚴格控制餐飲、汽修等服務設施項2、禁止發展二類、三類工業項目,控制一類工業項目數量和規模,禁塊類工業用地、水域、綠地等區止開展畜禽養殖活動。3、最大限度保留區內原有自然生態系統,保護好河湖濕地生境,禁止未經法定許可占用水域;除防洪、重要航道、城市河道、景區河湖必須的護岸外,禁止非生態型河湖堤岸改造;建設項目不得影響河道自然形態和水生態(環境)功能。4、推進城市綠廊建設,改善居住環境。5、禁止在主要河流岸、干線公路兩側規劃控制范圍內進行采石、取土、采砂等活動。6皋埠鎮居住區東區塊越城區皋埠鎮人居環境保障區、紹興市生態產業園優化準入區2.6居住用地、商業用地、村莊建設用地、二類工業用地西至越興路、漫池路,南至臨江路、銀山路、人民東路,東至樊拈線,北至京福線面積小計21.34km2符合性分析:本項目為二類工業項目,位置不在生態空間清單中劃定的禁止開發表2-3紹興高新區環境質量底線水環境質量低線序號所在流域水體斷面名稱現狀規劃目標1平水江葛山頭Ⅲ類Ⅲ類2渡東橋Ⅲ類Ⅲ類3蕭紹運河水系迪蕩湖Ⅲ類Ⅲ類4人民東路橋Ⅲ類Ⅲ類5沈江大橋Ⅲ類Ⅲ類6東臨橋Ⅲ類Ⅲ類大氣環境質量底線項目現狀規劃目標細顆粒物(PM2.5)年均濃度50μg/m3年均濃度≤40μg/m3(2020年≤42)二氧化硫(SO2)二級二級二氧化氮(NO2)超二級標準二級土壤環境質量底線項目現狀規劃目標銅、鋅、鎳、鉛、鉻、砷、鎘、汞等重金屬指標二級二級①水環境質量底線:根據《紹興市2019年環境狀況公報》以及項目所在地附近平水東江監測斷面地表水質量現狀監測數據,各項監測指標均符合《地表水環境質量標準》(GB3838-2002)中的Ⅲ類水標準,水體質量較好;本項目生產廢水回用生產不外排,生活污水預處理達標后納管進入污水處理廠集中排放,因此不會對水環境質量底環境質量屬于不達標區。經過越城區政府采取區域削減措施后,本項目廢氣經處理后高空排放,且經過區域替代削減,不會對大③土壤環境質量底線:根據項目所在地土壤監測數據,土壤環境滿足《土壤環境質量建設用地土壤污染風險管控標準》(GB36600-2018)表1中第二類用地篩選值要求;項目廢氣、廢水、固廢均能夠得到有效處置,不會對土壤環境質量底線造成沖表2-4紹興高新區資源利用上限項目規劃目標備注水資源利用上限用水總量上限2376.11萬t/a規劃實施后用水總量其中:工業用水量上限規劃實施后工業用水量生活用水量上限規劃區以居住商貿功能為主土地資源利用上限土地資源總量上限2957.05公頃規劃范圍內土地資源總量其中:建設用地總量上限2443.02公頃規劃建設用地規模工業用地總量上限513.02公頃規劃工業用地規模能源利用上限天然氣總量上限4154萬m3規劃天然氣用量①水資源利用上限:本項目用水總量22168.8t/a,其中工業用水20968.8t/a,分別②土地資源利用上限:本項目總用地3公頃,占規劃范圍內土地資源總量的③能源利用上限:本項目不使用天然氣,不會對規劃范圍內能源利用上限造成沖表2-5紹興高新區主導產業環境準入負面清單(節選)分類行業清單工藝清單產品清單制訂依據禁止準入類產業息--電子材料生產項目激光視盤機生產線(VCD系列整機產品模擬CRT黑白及彩色電視機項目。規劃定位準入產業息--1、土地資源產出率(億元產值/km2)<103.1、產值能耗(噸標煤/萬元加值)>0.025、產值水耗(噸/萬元增加值)>0.9的項目2、使用含苯溶劑的項目1、廢水產生量≥0.14m3/m2的印制電路板單面板產品2、廢水產生量≥0.42m3/m2的印制電路板雙面板產品3、廢水產生量≥0.42+0.29nm3/m2的印制電路板多層板產品4、廢水產生量≥0.52+0.49nm3/m2的印制電路板HDI板產品《清潔生產標準印制電路板制造》一級先進水性有機物污染整環境準入指標限值對比負面清單,本項目產品為傳感器,生產工藝為集成電路制造工藝,不涉及電子材料、印制電路板生產,不使用含苯溶劑,因此不在準入負面清單內,符合控制要2.3《浙江省曹娥江流域水環境保護條例》符合性分析表2-6《浙江省曹娥江流域水環境保護條例》主要內容一覽表序號第二條本條例適用于紹興市行政區域內曹娥江流域水環境保護工作。本條例所稱曹娥江流域,是指曹娥江干流和支流匯集、流經的新昌縣、嵊州市、上虞區、柯橋區和越城區范圍內的區域。鏡嶺大橋以下的澄潭江及其堤岸每側一般不少于五十米、嵊州市南津橋到曹娥江大閘的曹娥江干流及其堤岸每側一般不少于一百米的區域,為曹娥江流域水環境重點保護區。具體范圍由紹興市人民政府劃定,并向社會公布。第八條紹興市及流域有關縣級人民政府應當合理規劃產業布局,調整經濟結構,根據曹娥江流域水環境保護規劃和應當達到的水質標準,規定禁止或者限制建設的項目,淘汰落后產能,發展循環經濟;鼓勵企業實施技術改造,開展廢棄物資源化利用。紹興市及流域有關縣級人民政府應當采取有效措施,引導排放生產性污染物的工業企業進入經批準設立的工業園區內進行生產和治污,嚴格控制工業園區外新建工業企業。第九條曹娥江流域按照國家和省的規定實施重點水污染物排放總量控制制度,并根據流域生態保護目標和水環境容量分配重點水污染物排放總量控制指標。對超過重點水污染物排放總量控制指標的地區,有關人民政府應當增加其重點水污染物排放總量的削減指標;生態環境主管部門應當暫停審批該地區新增重點水污染物排放總量的建設項目的環境影響評價文件。對經過清潔生產和污染治理等措施削減依法核定的重點水污染物排放指標的排污單位,紹興市及流域有關縣級人民政府可以給予適當補助。在曹娥江流域依法實行重點水污染物排放總量控制指標有償使用和轉讓制度。具體按照省人民政府有關規定執行第十條曹娥江流域縣(市、區)交接斷面水質應達到《地表水環境質量標準》Ⅲ類水質以上標準,飲用水源一級保護區內達到Ⅱ類水質以上標準。紹興市及流域有關縣級人民政府生態環境、水行政主管部門應當按照各自職責加強對曹娥江流域水質、水量監測,合理設置監測點位,建設水質、水量自動監測系統,建立信息共享機制,將監測結果定期報送紹興市曹娥江保護管理機構。第十一條紹興市人民政府生態環境主管部門應當按照規定定期確定本行政區域內重點排污單位名錄,并向社會公布。各級生態環境主管部門應當加強對重點排污單位的污染排放自動監測設備運行情況的監督,對排污情況實行動態跟蹤分析,建立節能減排預警制度和企業負責人約談制度,對超標排放的單位及時警示并依法作出處理。第十二條流域有關縣級人民政府應當根據本行政區域主體功能區定位和生態環境功能達標要求,建立健全鄉鎮、街道考核評價制度,將水環境保護目標完成情況作為考核評價內容。水環境保護目標考核不合格的,縣級人民政府暫停審批該鄉鎮、街道排放水污染物的工業類建設項目,取消或者減少該鄉鎮、街道的生態補償并限期整治。第十三條曹娥江流域水環境重點保護區內禁止下列行為:(一)向水體或者岸坡傾倒、拋撒、堆放、排放、掩埋工業廢物、建筑垃圾、生活垃圾、動物尸體、泥漿等廢棄物;(二)新建、擴建排放生產性污染物的工業類建設項目;(三)新建、擴建畜禽養殖場、養殖小區;(四)新建、擴建排污口或者私設暗管偷排污染物;(五)在河道內洗砂、種植農作物、進行投餌式水產養殖;(六)法律、法規禁止的其他行為。曹娥江流域水環境重點保護區內已建成的化工、醫藥(原料藥及中間體)、印染、電鍍、造紙等工業類重污染企業,由縣級以上人民政府責令限期轉型改造或者關閉、搬遷;其他排放水污染物的工業企業限期納管。已建的排污口應當限期整治。已建成的畜禽養殖場、養殖小區應當限期搬遷或者關閉。曹娥江流域內其他區域新建、擴建畜禽養殖場、養殖小區的,應當配套建設畜禽排泄物和污水處理設施,依法經過環境影響評價、申領《排污許可證》,并達標排放。流域內其他區域的河道設置、擴大排污口應當嚴格控制。第十四條曹娥江流域內可能對水環境造成重大影響的建設項目,其工程監理應當包含環境監理內容,監理機構應當定期向當地生態環境主管部門報告環境監理情況。第十五條生產經營項目、場所、設施或者設備的發包人、出租人發現承包人、承租人有違法排放污染物行為的,應當及時制止并立即報告生態環境主管部門。禁止任何單位或者個人為可能產生嚴重水污染的生產經營活動提供生產經營項目、場所、設施或者設備。第十六條紹興市及流域有關縣級人民政府應當按照統一規劃、合理布局的原則,嚴格組織實施本行政區域城鎮污水集中處理設施建設規劃,通過財政預算和社會資金投入等渠道籌集資金,統籌建設城鎮污水集中處理設施和污泥無害化處置設施,完善城鎮污水處理配套管網。新建住宅、商業用房等的生活污水管網應當納入城鎮污水集中處理設施;污水管網應當按照雨污分流要求進行規劃建設。未按照規定要求建設的,不得交付使用。已建區域的生活污水處理設施不符合要求的,應按照標準限期改造。第十七條城鎮污水集中處理設施運營單位應當配套建設脫氮除磷設施、污泥處理處置設施,保證尾水達標排放、污泥無害化處置或者綜合利用。排污單位向城鎮污水集中處理設施排放污水應當做到達標排放;城鎮污水管網運營單位或者城鎮污水集中處理設施運營單位發現排污單位超過納管標準排放污染物的,可以關閉其納管設備、閥門;因超標排放造成城鎮污水集中處理設施壞無法運行的,排污單位應當依法承擔賠償責任根據以上條例規定,本項目位于紹興市越城區香積路和漫池路交界地塊,所在地距離北側曹娥江約11km,不在曹娥江流域水環境重點保護區內。項目僅排放生活污水,經化糞池處理后納入市政污水管網,送至紹興水處理發展有限公司深度處理后達2.4紹興水處理發展有限公司工程概況紹興水處理發展有限公司位于紹興市區東北、柯橋濱海工業區內,東臨曹娥江,北靠錢塘江,距紹興市區約20公里,成立于2001年11月,由紹興市水務集團柯橋水務集團共同投資組建,主要承擔越城區、柯橋區(除濱海印染產業集聚區)范圍內生產、生活污水集中治理,及配套工程項目建設的任務。項目占地面積約1800畝,擁有污水處理系統、污泥處理系統和尾水排放系統等“三大系統,最大污水處理能力為90萬t/d,污水保持全流量達標處理、污泥保持全處理全處置。各期工程情況介紹如一期工程投資5.15億元,設計處理能力30萬t/d(環評批復50萬t/d,實建成并投入試運行,2003年6月通過國家環保局組織的環保竣工驗收。采用厭氧好氧混凝沉淀(AO)工藝,建有穩流池、調節池、預處理池、厭氧池、中沉池、曝氣池、二沉二期工程投資6.5億元,設計處理能力30萬t/d(一期剩余20萬t/d+新建10萬t/d),于2003年底投入試運行。采用意大利深水氧化溝全生化延時曝氣工藝,建有穩流池預處理池、中和池、生物氧化池、二沉池等大型池體,總停留時間66小時。2004年3月~2004年12月,對二期工程進行了挖潛改造,不僅實現出水達標排放,也使二期處理水量提升至40萬t/d。二期工程已于2005年、200三期工程投資8.2億元,包括20萬t/d污水處理續建工程和100萬t/d尾水排海系統,于2008年建成投運。采用預處理+水解酸化+好氧工藝,建有預處理沉淀池、水解酸化池、曝氣池、二沉池等大型池體。其中,水解酸化池、曝氣池采用超大容積回轉放性質的尾水排放管(以岸邊排放的方式就近排入曹娥江)統一遷移到口門大閘外的杭州灣海塘外,已建成100萬t/d排海管線及永久性排放口工程,從2009年4月起實現處根據紹興市主城區和柯橋區污水收集服務區域、生活污水和工業污水量比率和印染行業發展規劃,對紹興市主城區、柯橋區的工業污水、生活污水進行分質收集、分質處理,將污水處理廠一期30萬t/d改造為生活污水處理廠;污水處理廠二期40萬t/d、三期20萬t/d改造為工業污水處理廠。污水分質提標工程從2014年10月底開始實施,2016年9月完成污水分質提標工程的建設與調試。一期工程生活污水處理系統為A2O工藝,處理能力為30萬噸/日,各類設施33座,處理效果達到《城鎮污水處理廠污染物排放標準》GB18918一級A標準;二、三期工程工業污水處理系統為前物化+生化+后物化工藝,二期工程處理能力為40萬噸/日,各類設施40座,三期工程處理能力為20萬噸/日,各類設施21座,二、三期工程處理效果達到《紡織染整工業水污染物排放標準》直接排放限值。系統產生的污泥進行合并處理脫水后送至紹興市中環再生能源發展有限公司、浙江環興機械有限公司、紹興泰譜環保科技有限公司,通過根據浙江省重點排污單位自行監測信息公開平臺公布的數據,2021年1月、2月表2-7紹興水處理發展有限公司生活污水出水口水質情況一覽表序號監測時間流量監測項目實測濃度取值單位是否超標12021.1.713.4911(m3/h)總氮(以N計)mg/L否2總鎘<0.0001mg/L0.01否3總鉛<0.001mg/L0.1否4總砷<0.0003mg/L0.1否5色度5倍30否6石油類<0.06mg/L1否7烷基汞<0.00001mg/L0否8五日生化需氧量5.9mg/L否9懸浮物<4mg/L否LAS<0.05mg/L0.5否總鉻<0.03mg/L0.1否總汞<0.00004mg/L0.001否總磷(以P計)0.027mg/L0.5否pH值6.48無量綱6-9否5氨氮0.677mg/L5(8)否動植物油<0.06mg/L1否糞大腸桿菌數40個/L否化學需氧量mg/L50否六價鉻<0.004mg/L0.05否202021.2.24/總氮(以N計)<0.03mg/L否21總鎘<0.0001mg/L0.01否22總鉛<0.001mg/L0.1否23總砷<0.0003mg/L0.1否24色度3倍30否25石油類<0.06mg/L1否26烷基汞<0.00001mg/L0否27五日生化需氧量6.9mg/L否28懸浮物<4mg/L否29LAS<0.05mg/L0.5否30總鉻<0.03mg/L0.1否31總汞<0.00004mg/L0.001否32總磷(以P計)0.046mg/L0.5否33pH值6.80無量綱6-9否34氨氮0.201mg/L5(8)否35動植物油<0.06mg/L1否36糞大腸桿菌數48個/L否37化學需氧量mg/L50否38六價鉻<0.004mg/L0.05否由上表可知,2021年1月、2月紹興水處理發展有限公司生活污水處理單元出水口水質均能達到《城鎮污水處理廠污染物排放標準》(GB18918-2002)中的一級準,可以實現穩定達標排放。目前,項目所在地市政污水管網已敷設到位,項目可實現納管,生活污水經化糞池處理后排入市政污水管網,送至紹興水處理發展有限公司2.4周圍污染源情況調查根據現場踏勘,項目擬建地塊北側為規劃工業用地,目前為空地,空地以北緊臨臨江路,臨江路以北為蕭曹運河支流;地塊東面為漫池路,道路以東為翠灣村工業園區、笄山薛家埭生態工貿區;地塊南面為香積路,道路以南為紹興市鐵戈釘業有限公司、紹興市紅光五金有限公司;地塊西側為紹興市五環彩印有限公司。因此,項目周名稱方位具本項目最近距離(m)主要產品污染物翠灣村工業園東40紡織品等廢氣、廢水、噪聲、固廢笄山薛家埭生態工貿區東40紡織品等廢氣、廢水、噪聲、固廢紹興市鐵戈釘業有限公司南30汽槍釘等廢氣、廢水、噪聲、固廢紹興市紅光五金有限公司南打筒等廢氣、廢水、噪聲、固廢紹興市五環彩印有限公司西紙箱等廢氣、廢水、噪聲、固廢三、環境質量現狀與評價3.1環境空氣質量現狀本項目位于紹興市越城區香積路和漫池路交界,根據《環境空氣質量標準》根據《環境影響評價技術導則大氣環境》(HJ2.2-2018),項目大氣評價范圍內基本污染物環境質量現狀數據優先采用國家或地方環境空氣質量監測網中評價基準年連續1年的監測數據,或采用生態環境主管部門公開發布的數據或結論。本次評價收集了紹興市生態環境局發布的《紹興市2019年環境狀況公報》有關數據和結論。越城表3-1越城區環境空氣質量現狀評價表污染物評價指標現狀濃度(μg/m3)標準值(μg/m3)(%)達標情況SO2年均濃度660達標日均濃度第98百分位數7.3達標NO2年均濃度304075達標日均濃度第98百分位數6176.3達標PM10年均濃度607090達標日均濃度第98百分位數85.7達標PM2.5年均濃度3835不達標日均濃度第98百分位數75不達標CO年均濃度7004000達標日均濃度第98百分位數10000達標O3年均濃度9861.3達標日最大8小時平均值第90百分位數不達標區域削減措施:針對項目地區域空氣環境質量不達標的現狀,紹興市越城區政府已經制定《紹興市越城區大氣環境質量限期達標規劃》,擬通過從優化調整產業結構、深化能源結構調整、推進重點領域綠色發展、深化治理工業廢氣、加快治理車船尾氣、強化治理揚塵污染、長效治理城鄉廢氣、加強大氣污染防治能力建設等幾個方到2022年,大氣環境質量穩步提升,國控點位PM2.5年均濃度控制在35微克/立方米以內,O3污染惡化趨勢得到一定控制,PM10、SO2、NO2、CO穩定達到國家環境到2025年,基本消除重污染天氣,明顯增強人民的藍天幸福感。全市環境空氣質量持續改善,國控點PM2.5平均濃度穩定控制在35微克/立方米以內,全市O3濃度出到2030年,全面消除重污染天氣,包括O3在內的主要大氣污染物濃度穩定達到為了解項目所在區域氯氣、氟化物等因子環境空氣質量現狀,本環評委托浙江中①監測點布設:環境空氣質量現狀監測點位共布設1個,監測當天如無明顯風向,設置在廠址主導風向(北風)的下風向。監測當天有明顯風向,則設置在廠址下表3-2特征污染物補充監測基本信息監測點名稱監測點坐標/m監測因子監測時段相對廠界距離/mxy853273332477氯氣、氟化物2021.2.5-2.143②監測方法:氟化物質量標準按照《環境空氣質量標準》(GB3095-2012)中的規③監測結果統計分析:監測結果見表3-3。表3-3其他污染物氟化物、氯氣環境質量現狀監測結果表監測點位監測點坐標/m污染物平均時間評價標準(μg/m3)監測濃度范圍/(μg/m3)最大濃度占標率/%超標率/%達標情況xy120.85327329.332477氟化物20610達標氯氣0.05-0.120達標由上表結果可知,監測點與項目地的距離滿足大氣評價導則的要求(在項目地下風向5公里范圍內),項目所在區域監測點其他污染物氟化物滿足《大氣污染物綜合排放標準詳解》規定的標準,氯氣滿足《環境影響評價技術導則一大氣環境》(HJ2.2-為了解項目所在區域非甲烷總烴環境空氣質量現材料科技有限公司年產2000噸激光全息防偽膜擴產項目環境),表3-4其他污染物非甲烷總烴環境質量現狀監測結果表監測點位污染物平均時間評價標準(mg/m3)監測濃度范圍/(mg/m3)最大濃度占標率/%超標率/%達標情況非甲烷總烴2.00.73-0.8743.50達標由上表結果可知,項目所在區域監測點其他污染物非甲烷總烴濃度滿足《大氣污3.2地表水環境質量現狀根據《紹興市2019年環境狀況公報》,2019年省對市考核,2019年省對市考核,紹興市為優秀;紹興市對7個區、縣(市)、開發區考核交接斷面水質達標率范圍為50%~100%。其中,濱海新城為達標率為50%,其余各區、縣(市)達標率均為100%。考核結果:越城區(高新區、袍江開發區)、柯橋區、上虞區、新昌縣為優,表3-5地表水環境質量現狀單位:mg/L(除pH值外)水域名稱采樣點采樣日期樣品性狀檢測結果pH溶解氧高錳酸鹽指數氨氮總磷BOD5平水東江元城鞋業2019-11-1無色7.355.134.400.2950.133.6/0.1750.560.730.2950.650.902019-11-2無色7.395.224.380.3183.2/0.1950.570.730.3180.550.802019-11-3無色7.365.214.370.3153.5/0.1800.570.730.3150.700.875Ⅲ類標準/6-9≥5≤6≤1.0≤0.2≤4達標情況/達標達標達標達標達標達標3.3地下水環境質量現狀為了解現企業附近地下水水質狀況,本環評委托浙江中廣衡檢測技術有限公司對(1)監測點位:本項目監測共設3個地下水監測點,布設情況見下表及附圖2。揮發性酚類、氰化物、總硬度、溶解性總固體、CODMn、硝酸鹽氮、亞硝酸鹽氮、氟表3-6地下水環境基本離子監測結果采樣時間項目名稱及單位廠區上游1#廠區內2#廠區下游3#2021.2.11陽離子鉀mmol/L0.150.150.15鈉mmol/L2.302.302.30鈣mmol/L1.461.491.49鎂mmol/L0.230.230.23陽離子合計meq/L5.8395.8815.881陰離子碳酸鹽mmol/LNDNDND重碳酸鹽mmol/L1.481.43氯離子mmol/L2.872.872.90硫酸根離子mmol/L0.520.660.68陰離子合計meq/L5.6855.6855.685E值-1.34%-1.70%-1.70%注:1:ND標示未檢出,括號內數據表示方法檢出限;2:根據碳酸平衡理論,當pH<8.34時,不應檢測到碳酸根,因此在E值計算時碳酸根取值為0表3-7-1廠址上游地下水水質檢測結果一覽表單位:mg/L釆樣點名稱W1W2采樣時間2021.2.112021.2.122021.2.132021.2.112021.2.122021.2.13樣品性狀檢測項目無色略濁無色略濁無色略濁無色略濁無色略濁無色略濁pH值(無量綱)7.276.987.257.547.017.39總硬度68.766.766.765.764.569.7溶解性總固體261258253250255258氨氮0.3360.3400.3120.2980.3100.288硝酸鹽亞硝酸鹽氮0.0420.0360.0440.0400.0390.053揮

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論