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文檔簡介

實用文檔半導體功率器件與智能功率IC實驗學生姓名：田瑞學號：201422030143指導教師：喬明一、實驗室名稱：211樓803工作站二、實驗項目名稱：半導體功率器件與智能功率IC實驗——LDMOS器件版圖設計實驗三、實驗原理：首先，設計版圖的基礎便是電路的基本原理，以及電路的工作特性，硅加工工藝的基礎、以及通用版圖的設計流程，之后要根據不同的工藝對應不同的設計規則，一般來說通用的版圖設計流程為：制定版圖規劃記住要制定可能會被遺忘的特殊要求清單設計實現考慮特殊要求及如何布線創建組元并對其進行布版圖驗證執行基于計算機的檢查和目視檢查，進行校正工作最終步驟工程核查以及版圖核查版圖參數提取與后仿真完成這些之后需要特別注意的是寄生參數噪聲以及布局等的影響，具體是電路而定，在下面的實驗步驟中會體現到這一點。IC設計與制造的主要流程根據用途要求，確定系統總體方案電路設計與仿真根據用途要求，確定系統總體方案電路設計與仿真根據電路的指標和工作條件，確定電路結構與類型，然后通過模擬計算，決定電路中各器件的參數（包括電參數、幾何參數等），EDA軟件進行模擬仿真。工藝設計根據電路特點選擇適當的工藝，再按電路中各器件的參數要求，確定滿足這些參數的工藝參數、工藝流程和工藝條件。版圖設計按電路設計和確定的工藝流程，把電路中有源器件、阻容元件及互連以一定的規則布置在硅片上，繪制出相互套合的版圖，以供制作各次光刻掩模版用。版圖設計按電路設計和確定的工藝流程，把電路中有源器件、阻容元件及互連以一定的規則布置在硅片上，繪制出相互套合的版圖，以供制作各次光刻掩模版用。生成PG帶制作掩模版工藝流片測試，劃片封裝四、實驗目的：掌握版圖設計的基本理論。掌握版圖設計的常用技巧。掌握定制集成電路的設計方法和流程。熟悉CadenceVirtuosoLayoutEdit軟件的應用學會用Cadence軟件設計版圖、版圖的驗證以及后仿真熟悉Cadence軟件和版圖設計流程，減少版圖設計過程中出現的錯誤。五、實驗內容：結合LDMOS的版圖文件，完成LDMOS器件的版圖繪制。六、實驗器材（設備、元器件）：CADENCE軟件七、實驗步驟：LDMOS的版圖文件nwell164008000pwell1107000pwell2703400355040504220452047404990525054705770592063508000poly20400180050007400nimplant20400740077008000pimplant107700omicont20300070009007600metal20200048008000nitride20060063008000八、實驗數據及結果分析：整體版圖版圖下部分別為：源端pad，漏端pad以及柵極pad九、實驗結論：通過實驗，了解LDMOS器件的版圖設計，熟悉CADENCE軟件的使用。畫版圖時要注意嚴格按照要求的尺寸進行設計，并在LSW窗口里選用正確的圖形。可以使用軟件中的尺子來測量尺寸。

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