青海中利光纖技術有限公司管理體系文件文件名稱： 大宗氣體管理程序文件編號：07版本號：A.0頁數：10生效日期：2014.8.1編制部門：工程部文件需發放部門營銷部光棒生產部工程部營銷部光棒生產部工程部質保部光纖技術部設備部物控部人力資源行政部光纖生產部財務部IT部文件管理修改履歷表

版本號修改條款及內容摘要修改人/日期批準人/日期A.0按照《技術文件編號規則》和《設計開發控制程序》進行初次編制2014年8月1日xxxx年x月x記錄編號：xx-xx.目的為保證東南區大宗氣體系統的持續有效運行，避免故障，以及安全正確的進行槽車充裝，保證產線穩定運行，特制定本作業指導書，便于員工操作和維護。.適用范圍本程序(文件)適用于公司液氬LAr、液氧LOX、液氮LIN和管道氮N2三種大宗氣體系統的使用、泄壓、槽車充裝和維護保養。.定義無.職責操作者必須持證上崗，操作者必須嚴格按照本操作指導書進行操作和維護。.主要內容安全事項氣體理化性質簡述(具體參見對應MSDS)液氬LAr：①極冷的液體和帶壓氣體；②直接與液體或過冷氣體接觸能引起凍傷；③能引起快速窒息。液氧LOX：①極冷的液體和高壓、氧化氣體；沸點：-297T(-183℃)②劇烈加速燃燒；③遠離油、油脂和易燃物；④可能與易燃材料劇烈反應；⑤呼吸75%或更多的常壓氧可能引起鼻不通氣、咳嗽、喉嚨痛、胸痛和呼吸困難；⑥呼吸帶壓純氧可能引起肺損害，也影響中樞神經系統。液氮LIN和管道氮N2：①極冷的液體和帶壓氣體；沸點：-321°F(-196℃)②直接與液體接觸能引起凍傷；③能引起快速窒息。以上氣體萬一發生凍傷，立即就醫。用大量水沖洗受凍傷的部位。不要脫掉衣服。避免擦拭受凍傷的部位，因為可能導致組織損傷。用消過毒的包扎用品包扎傷口。只要是可行的，將受影響部位置于溫水浴中，水溫不超過40℃(105°F)5.2氬氣、氧氣、氮氣系統均配備安全閥，詳見下表:LArLOXLIN(50m3)LIN(30m3)PipingN2整定值MPa數量pcs整定值MPa數量pcs整定值MPa數量pcs整定值MPa數量pcs整定值MPa數量pcsTank1.6821.8421.6821.62NANA調壓閥前1.761211.7611.761NANA調壓閥后11.210.88MPaX2儲罐泄壓閥：每個Tank均設有手動泄壓閥，當罐體壓力達到警界值時(LAr：>1.2MPa；LOX:>1.4MPa；LIN50:>1.3MPa;LIN30:>1.2MPa),值班人員需手動泄壓，泄壓操作如下:記錄泄壓前罐體壓力；按泄壓操作要求穿戴PPE(安全帽、安全鞋、耳塞、隔熱手套、護目鏡)；緩慢打開泄壓閥A-15,最終閥門開度達1/2即可，不可快速開啟，以防深冷液體過快噴出；當壓力達到安全范圍時(LAr：0.7-1.2MPa；LOX:0.9-1.4MPa；LIN50:0.8-1.3MPa;LIN30:0.7-1.2MPa),關閉泄壓閥A-15；記錄最終罐體壓力。PPE(安全帽、安全鞋、耳塞、隔熱手套、護目鏡)需全程佩戴。儲罐泄壓時值班人員應在現場，嚴禁無人留守泄壓。環境氧偵測器：氣站本身為空曠場所，不需要安裝環境氧偵測器。但在整個供氣、輸送、使用過程中，有大宗氣體使用點的房間都配備有相應比例的環境氧偵測器(包括特氣房、酸房、堿房、一期&二期空壓機房、cell3&4前后清洗區域、PECVD區域、擴散區域、絲網印刷區域)，其一級報警設定在氧氣含量超過23.5%,二級報警是氧氣含量低于19%；偵測器必須每年校驗一次，若有故障（校準過期、傳感器過期、存在干擾、流量故障、熱解器故障、電池故障等），必須立即檢修或更換；兩年內必須更換。防護用具：由于大宗氣體全部為極冷的液體和帶壓氣體，泄壓是有強烈噪聲，所以在對大宗氣體進行日常巡檢、泄壓操作和lorry充裝時，操作員必須配備合理的防護用具，以保證操作者的安全。具體為：進入大宗氣體站全程需佩戴安全帽、安全鞋；泄壓操作時需另外佩戴耳塞、隔熱手套、護目鏡；lorry充裝需另外佩戴隔熱手套、護目鏡，穿工作服；緊急狀況（如泄漏）處理需佩戴SCBA。.槽車充裝程序到貨確認。確認充裝介質為橡膠軟管，純度大于99.999%。需送貨商提供送貨單和COA（品質分析報告），并確認已經到倉庫滿車過磅。記錄充裝前的液位（壓力）。穿戴防護用品：安全帽、安全鞋、隔熱手套、護目鏡，穿工作服。冷泵，吹掃充裝管線。連接好軟管后打開槽車出口閥，打開充裝管排放閥A7）,進行冷泵，吹掃充裝管線（充裝軟管表面要結霜）。吹掃結束后，關閉充裝管排放閥（A7）。打開儲罐底部充裝閥（A1）,頂部充裝閥（A2）和溢流閥（A4）。關閉槽車出液閥門，打開循環閥。再打開啟動開關，緩慢關循環閥門，等壓力升到15bar以上再打開出液閥門，起泵完成后，打開車上蒸發器開關。當溢滿閥有液溢流或者槽車液氧卸完時，停充裝泵，關閉出口閥門，打開循環閥門，關閉泵入口閥門。關閉儲罐底部充裝閥（A1）,頂部充裝閥（A2）和溢流閥（A4）。打開充裝管排放閥（A7）排除充裝軟管內的殘液。卸下槽車充裝軟管，充裝結束。至此步驟方可脫下隔熱手套、護目鏡和工作服；安全帽、安全鞋需全程佩戴記錄充裝后的液位(壓力)。陪同送貨商到倉庫進行空車過磅，磅單與送貨單一同入庫，COA存檔。收拾現場，通知相關人員lorry充裝完成；數據更新，文件存檔。注：氧氣、氬氣和氮氣管路稍有不同(詳見6.2,6.3與6.4)，充裝步驟相同，所開關閥件代號和名稱都相同。.主要規格說明7.1主要設備規格氣體ArO2N250m?N230m3Pipingq送氣壓力75psi0.7MPa0.75MPa0.75MPa0.75MPa^位/流量>2000mmHO>2000mmHO>2000mmHo>2000mmHO14500sm/hr蒸濯器最大處理量23000Nm3/h2、250Nm/h2、2000Nm/h2、1000NHUNATANK設計容量隊)50205030NA壓力表警示范圍(MPa)0.7-1.20.9-1.40.8-1.30.8-1.2^計壓力MPa)1.681.841.681.7最高工^壓力MPa)1.61.751.61.6耐國MPa)1.942.911.942.13安全閥(MPa)TANK整定值1.681.841.681.6NA數量2222蒸發器后整定值1.7621.761.76NA數量1111送氣主管整定值0.881.20.88數量2127.2儲罐部件代號與名稱對應表

部件代號名稱（氬氣&氧氣儲罐）名稱（氮氣儲罐）部件代號名稱（氬氣&氧氣儲罐）名稱（氮氣儲罐）A-1底部進液閥底部進液閥B-1增壓器增壓器A-2頂部進液閥頂部進液閥C-1升壓調壓閥整體式調節器A-3增壓器輸入閥增壓器輸入閥C-2降壓調壓閥無A-4溢流閥溢流閥CV-1無止回閥A-5真空規管閥真空規管閥CZ-1充裝接頭充裝接頭A-7充裝管排放閥充裝管排放閥FB-1A內筒防爆裝置內筒防爆裝置A-8液位顯示氣相閥液位顯示氣相閥FB-1B內筒防爆裝置內筒防爆裝置A-8'壓力交送器儀表閥沅格接口FB-2外筒防爆裝置外筒防爆裝置A-8''壓差變送器氣相儀表閥無L1-1液位顯示器液位顯示器A-9液位顯示均衡閥液位顯示均衡閥PI-1壓力表無A-10液位顯示液相閥液位顯示液相閥RK-1管道安全閥管道安全閥A-10'壓差變送罌液相儀表閥沅傳接口RK-2管道安全閥管道安全閥A-11增壓器輸出閥增壓器輸出閥RK-3管道安全閥管道安全閥A-12氣體排放閥氣體排放閥RK-4無管道安全閥A-13液體輸出閥液體輸出閥RK-5無管道安全閥A-13'無液體輸出閥VP-1抽空閥抽空閥A-14增壓開啟閥無VR-1真空規管真空規管A-15安全泄放選擇閥安全泄放選擇閥YA-1A內筒安全閥內筒安全閥A-17節約閥節約閥YA-1B內筒安全閥內筒安全閥A-18輔助排放閥輔助排放閥注：Ar、02儲罐完全一致，Ar、02儲罐與N2儲罐不同處已用黑體字標示Ar、02儲罐管線圖N2儲罐管線圖

8.常見氣體換算表8.1ConversionDatakgLNm3O210.8760.6991.14110.7991.4281.2511Ar10.7180.561.39410.7811.7841.281N211.2340.7990.80810.6461.51.5441Nm3(normalcubicmeter):gasmeasuredat1atmosphereand0℃8.2CalculationTankVolume液位差(mm)LArLOxLINV(L)m(kg)V(L)m(kg)V(L)m(kg)50m330010561472.0612941476.5183214801035.249.06943.1349.21561.0749.320m3150369514.39456520.36415181024.634,29230.43468642.7334.530m3250620864.28760867.1610808731024.834.57130.434.68643.234.9備注：.不同的介質、不同的Tank容積，同樣的液位差對應的介質量并不相等。讀數、計算時要注意對應正確。.無論何種介質以及Tank容積，在讀數有效范圍——即除去滿/空兩側外的大部分中間量程——內，液位與體積（質量）可看成是線性關系。.上表中，密度按LAr=1394kg/m3,LOx=1141kg/m3,LIN=808kg/m3計算。.注意事項運營值班作業按區域要求佩戴PPE：進入大宗氣體站全程需佩戴安全帽、安全鞋；泄壓操作時需另外佩戴耳塞、隔熱手套、護目鏡；lorry充裝需另外佩戴隔熱手套、護目鏡，穿工作服；緊急狀況（如泄漏）處理需佩戴SCBA；完成各設備的日常維護與簡單保養，參考《EI-0048-02東南區大宗氣體系統維護保養表》；運行過程發現任何重要問題（如噪音、震動、漏氣、流量過大、違章接電源線等）都應及時向上級管理人員匯報，重大問題（如漏氣、流量過大、違章接電源線等）應及時向更上級主管或領導匯報；系統調整好的流量、壓力等值勿隨意變動，操作閥門前先向系統負責人確認，操作人員做詳細的運行參數記錄（泄壓時記錄前后壓力變化，槽車充裝時記錄前后液位變化，巡檢記錄罐體壓力和液位，管道氮流量、壓力、累計用量等，詳見《EI-0048-01東南區大宗氣體系統巡檢記錄表》），若發現異常變化，及時匯報；大宗氣體站屬于高危險區域，嚴禁煙火，在正常情況下都處于封閉隔離狀態，任何閑雜人等不得入內；每日保證大宗氣體站內6S（整理（Seiri）、整頓（Seiton）、清掃（Seiso）、清潔（Seiketsu）、素養（Shitsuke）和安全（safe））達標：物品分類放置、明確標識、保持衛生清潔、禁止在圍欄內堆外貨物、垃圾等，電源柜內不得私自接線。抄表巡檢作業按區域要求佩戴PPE：進入大宗氣體站全程需佩戴安全帽、安全鞋；泄壓操作時需另外佩戴耳塞、隔熱手套、護目鏡；lorry充裝需另外佩戴隔熱手套、護目鏡，穿工作服；緊急狀況（如泄漏）處理需佩戴SCBA；落實大宗氣體站的日常值班。每班定期巡查抄表，按照表單規定時間和項目進行（詳見《EI-0048-01大宗氣體系統巡檢記錄表》）；服從值班班長調配，隨時準備支援其他組別或參加演練及搶救等；運行過程發現任何重要問題（如噪音、震動、漏氣、流量過大、違章接電源線等）都應及時向上級管理人員匯報，重大問題（如漏氣、流量過大、違章接電源線等）應及時向更上級主管或領導匯報班組之間的交接班應做好相關交接記錄，確保班組工作職責落實到位，努力使大宗氣體系統安全可靠、整潔節約、持續高效地運行；晚班巡檢時需兩名工作人員同時前往，相互照應；系統調整好的流量、壓力等值勿隨意變動，操作閥門前先向系統負責人確認，操作人員做詳細的運行參數記錄（罐體壓力和液位，管道氮流量、壓力、累計用量，詳見《EI-0048-01東南區大宗氣體系統巡檢記錄表》），若發現異常變化，及時匯報；在抄表巡檢系統時，不但要記錄當時運行狀態，還要觀察它運行是否有異常情況，如：異常噪音、異常震動、漏氣等；大宗氣體站屬于高危險區域，嚴禁煙火，在正常情況下都處于封閉隔離狀態，任何閑雜人等不得入內；每日保證氣體房內6S（整理（Seiri）、整頓（Seiton）、清掃（Seiso）、清潔（Seiketsu）、素養（Shitsuke）和安全（safe））達標：物品分類放置、明確標識、保持衛生清潔、禁止在圍欄內堆外貨物、垃圾等，電源柜內不得私自接線。lorry充裝作業無特殊情況下lorry充裝由氣體供應廠商完成，我公司值班人員需熟悉充裝流程，并全程監護，嚴格填寫《大宗氣體系統槽車充裝checklist》：進入大宗氣體站全程需佩戴安全帽、安全鞋；泄壓操作時需另外佩戴耳塞、隔熱手套、護目鏡；lorry充裝需另外佩戴隔熱手套、護目鏡，穿工作服；緊急狀況（如泄漏）處理需佩戴SCBA；運行過程發現任何重要問題（如噪音、震動、漏氣、流量過大、違章接電源線等）都應及時向上級管理人員匯報，重大問題（如漏氣、流量過大、違章接電源線等）應及時向更上級主管或領導匯報；系統調整好的流量、壓力等值勿隨意變動，操作閥門前doublecheck,操作人員做詳細的運行參數記錄(充裝前后記錄罐體壓力和液位，若發現異常變化，及時匯報；大宗氣體站屬于高危險區域，嚴禁煙火，在非正常情況下都處于封閉隔離狀態，任何閑雜人等不得入內；槽車必須停放在劃定的區域內，嚴禁堵塞路面；每次充裝保證大宗氣體站內6s(整理(Seiri)、整頓(Seiton)、