潔凈室工程師培訓教材潔凈技術基礎培訓教材張利群目

錄一.空氣調節和空氣凈化的基礎知識（一）空氣調節的基本概念

1.空氣調節及其分類2.濕空氣的焓濕圖及其應用⑴濕空氣的焓濕圖

⑵焓濕圖中的名詞定義⑶焓濕圖的應用⑷焓濕圖應用的舉例3.空調送回風的氣流組織（二）空氣凈化的基礎知識1.潔凈室及其四大要素2.潔凈室的應用及其分類3.潔凈室與一般空調的差別4.工業潔凈室與生物潔凈室的差別5.潔凈室潔凈度的等級標準二．潔凈室的建造特點（一）建造的潔凈室必須保證生產工藝所要求的各項參數（二）建造的潔凈室要具有一定的靈活性（三）建造潔凈室需要較大的投資（四）潔凈室運行耗電量大運行費用高三．潔凈室的竣工驗收調試，性能測試和潔凈室的綜合評價（一）調試前的準備工作（二）單機試車（三）聯動調試（四）潔凈室的性能測試和綜合評價四．潔凈室的性能測試（一）潔凈室性能測試的目的（二）潔凈室性能測試的內容（三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表（四）潔凈室性能測試的方法五．潔凈室維護管理的一問題（一）過濾器的基本知識及其維護管理（二）潔凈室的發塵源和潔凈室的清埽（三）潔凈室的空氣品質（四）潔凈工作服及其清洗（五）潔凈區廁所的設置（六）值班風機的設置（七）吹淋室的設置及吹淋效果（八）潔凈室的正壓維持（九）潔凈室的消毒和滅菌（十）潔凈室的顏色處理（十一）潔凈室的靜電和靜電的消除（十二）潔凈室的防火和防爆（十三）潔凈室的能耗和節能（十四）潔凈室的竣工驗收調試和在線測試（十五）凈化空調系統的家濕問題（十六）凈化空調系統的管道保溫和防結露問題（十七）凈化空調系統的加熱問題潔凈室工程師培訓教材一.空氣調節和空氣凈化的基礎知識（一）空氣調節的基本概念1、空氣調節及其分類

空氣調節就是使房間或封閉空間的溫度，相對濕度，潔凈度，和氣流速度等參數均達到給定要求的技術。也就是說，在人們的生活和工作以及生產和科研的某一個特定的空間內其環境空氣的溫度，濕度，潔凈度，和氣流速度等構成了該空間的空氣環境。采取必要的技術手段來創造和保持該空間內要求的空氣環境就是空氣調節的任務。在空氣調節系統中，空氣處理設備即空調器是實現空氣熱，濕交換和空氣過濾凈化的核心部分。一個房間或一個空間，在一般情況下除了有來自該房間內部的圍護結構，人員，照明燈具及設備產生的熱，濕，粒子，微生物或其他有害物的干擾外，同時還有來自房間外部的大氣，太陽輻射等的干擾。為了消除上述來自室內外的干擾，就必須采取必要的技術手段，用在空氣處理設備中經熱，濕和過濾處理過的空氣來轉移，置換，稀釋和沖淡來自方方面面對房間空氣的干擾，來保證房間內一定要求的空氣環境。空氣調節的原例圖見圖一和圖二。圖一

空氣調節原理圖圖二

凈化空調原理圖空氣調節按使用對象的不同又可劃分為舒適性空氣調節和工藝性空氣調節。

舒適性空氣調節就是為了滿足人們的舒適要求而設置的空氣調節。

工藝性空氣調節就是為了滿足生產工藝對環境空氣參數的要求而設置的空氣調節。環境空氣的溫濕度等參數均由生產工藝來決定。不同的生產工藝對環境空氣參數的要求也不相同。2、濕空氣焓濕圖及其應用①濕空氣的焓濕濕空氣就是我們生活和工作的環境空氣，就是生產和科學研究的環境空氣。其主要成份是干空氣和水蒸汽。所謂干空氣就是不含水蒸汽的空氣，其中有78%的氮氣，21%的氧氣和不足1%的氬氣，氖氣等惰性氣體和少量的二氧化碳。在濕空氣中雖然水蒸汽的含量非常少，但是它的作用卻非常大。從某種意義上說調節濕空氣中水蒸汽的含量就是空氣調節的重要任務之一。濕空氣的焓濕圖是用來表示濕空氣的溫度、相對濕度、含濕量和焓值等空氣狀態參數及其相互關系的線算圖。是在一定的大氣壓力的條件下，以焓值為縱坐標含濕量為橫坐標，其夾角為1350的線算圖。圖中有等溫度線、等相對濕度線、等含濕量線和等焓值線。利用焓濕圖可以表示空氣調節處理過程中所發生的混合、加熱、冷卻、加濕、去濕等所有空氣處理過程，并且利用焓濕圖可以計算出空氣處理過程中所需要的冷量、加熱量、加濕量等各種用量。焓濕圖見圖三。圖三濕空氣的焓濕圖②焓濕圖中的名詞定義：a.干球溫度：就是用干球溫度計測出的空氣溫度。b.濕球溫度：就是用濕球溫度計測出的空氣溫度。也就是說將溫度計的水銀球用浸水的紗布包裹起來，所測得的穩定的空氣溫度。從理論來說，濕球溫度就是室內放置一盆水，水吸收空氣中的熱量后部分水蒸發成水蒸汽釋放到空氣中，增加空氣的潛熱，而空氣失去了熱量，溫度降低失去了空氣的顯熱。當這一熱濕交換達到平衡以后，空氣所得的潛熱（水蒸汽）和所失的顯熱（溫度降低）達到平衡后，其空氣的總熱量（焓值）不變時，此時的水面空氣的溫度就是空氣的濕球溫度<即增加的潛熱等于失去的顯熱時>。濕球溫度也就是相對濕度100%時的飽和溫度。c.相對濕度：空氣中實際的水蒸汽的分壓力與同溫度下飽和狀態空氣的水蒸汽的分壓力之比。飽和水蒸汽的分壓力為100%。d.飽和水蒸汽的分壓力：空氣中的水蒸汽不斷增加達到飽和時，空氣中的水蒸汽就會凝結成水由空氣中分離出來，此時的溫度為飽和溫度，其相對濕度達到100%。e.露點溫度：是在一定大氣壓力的條件下，某含濕量下的未飽和空氣因溫度不斷地降低，相對濕度不斷增加，達到飽和狀態空氣中的水蒸汽凝結成水珠，從空氣中分離出來時的溫度叫露點溫度。也就是空氣中的水蒸汽分壓力隨空氣溫度降低不斷升高，達到飽和狀態（100%）時的溫度叫露點溫度。f.含濕量：即環境空氣中1公斤干空氣所含有水蒸汽的質量（g）。g.熱濕比線：空調房間內的全熱負荷與全濕負荷之比。在電子工業產熱量大、產濕量小的潔凈廠房一般的熱濕比8000~10000大卡/kg趨近正無窮大。對于醫院的潔凈手術部的潔凈手術室的熱濕比大約在1800~2400大卡/kg。因為人多，人的產濕量大，但熱負荷較小。②焓濕圖的應用在焓濕圖上可以劃出空氣調節系統中各種空氣處理的過程線，并且可以在線算圖上查出各種空氣處理過程的空氣參數和各種所需用量。a.等濕加熱：空氣含濕量不變條件下的加熱。環境空氣的干球溫度升高，相對濕度降低。如：空氣處理中用熱水和蒸汽為熱源的熱交換器加熱、電加熱器的加熱。為正的無窮大過程圖線。見圖四。b.等濕降溫：空氣含濕量不變條件下的降溫。環境空氣的干球溫度降低，相對濕度增加但并未到露點，沒有水凝結出來。如：空氣處理中的干表冷。即送入表冷器中的冷凍水的初溫高于空氣露點。此時為負無窮大的過程線。見圖五。圖四

等濕加熱過程

圖五

等濕降溫過程c.等焓加濕：空氣的焓值不變條件下的加濕。即空氣和水直接并充分地進行熱交換的過程。水吸收空氣中的熱量后部分水被蒸發成水蒸汽進入空氣，空氣失去熱量溫度下降。最終達到空氣失去的熱量等于空氣中增加的水蒸汽的含熱量。其空氣的總熱量（焓值）不變。過程線是135o線，=0，過程線見圖六。空氣處理過程中淋水室（淋循環水）濕膜加濕、高壓噴霧加濕、超聲波加濕等加濕的過程線。d.生溫去濕：空氣的溫度不斷升高含濕量不斷降低的過程。固體化學去濕的過程就是生溫去濕的過程。即：固體吸濕劑吸收空氣中的水分發生化學反應放熱使空氣溫度升高，絕對含濕量降低，相對濕度也降低。過程線近似等焓線。常見的分子篩、氯化鋰、硅膠等固體吸濕就是生溫去濕過程。過程線見圖七。圖六

等焓加濕過程

圖七

升溫去濕過程e.等溫加濕：空氣干球溫度不變條件下的加濕。向空氣中噴入水蒸汽的過程就是等溫加濕過程。空氣的溫度維持不變，直接將水蒸汽噴入空氣變成空氣中的水蒸汽。空氣處理中常用的噴蒸汽、噴干蒸汽電極式、電熱式的加濕器。過程線見圖八。f.降溫去濕（降溫干燥）：空氣的溫度降低同時含濕量也減低的空氣處理過程。向空氣中噴淋低于空氣露點的冷凍水，或將低于空氣露點的冷凍水（冷媒）通入表面冷卻器，與空氣接觸后，使空氣溫度降低而且還使空氣中的水蒸汽遇冷凝結成水滴從空氣中分離出來，使空氣的溫度降低,絕對含濕量減少。這是空氣處理中最常用的降溫去濕的方法，也是冷凍去濕的方法。過程線見圖九。向空氣中噴淋液體吸濕劑的處理過程也是降溫去濕減焓過程，但工程中很少應用。圖八

等溫加濕過程

圖九

降溫去濕過程g.升溫加濕：向空氣中噴熱水的處理過程，是升溫加濕的過程。在工程中很少應用。過程線見圖十。h.空氣的混合過程：兩種不同狀態的空氣混合時，其空氣的混合狀態點在兩種空氣狀態點的連線上。線段長度之比則為兩空氣質量之比。其過程線見圖十一。圖十

升溫加濕過程

圖十一

混合過程焓濕圖上幾種典型的空氣處理過程見圖十二。濕空氣狀態的各種參數，如：干球溫度，濕球溫度，露點溫度，相對濕度，含濕量和焓值等之間都是相互關連的，只要知道其中的兩，三個參數在焓濕圖上就可以確定濕空氣的狀態點。見圖十三。圖十二

典型的空氣處理過程

圖十三

空氣狀態點參數的確定④焓濕圖的應用舉例一個潔凈室的室內參數為N，送風參數為S，熱濕比為，送風溫差為。全新風系統。夏季室外計算參數為Ws，冬季室外計算參數為Wd。現需將室外空氣處理到送風參數點S后，用風管送到潔凈室內就能滿足潔凈室的溫、濕度要求。可以采取下面多種方法，對空氣進行熱，濕處理都能達到同一個目的。見圖十四。圖十四

焓濕圖上的空氣處理過程如：夏季空調空氣處理過程可以有如下途徑來實現：a.

WS→L→S

用表冷器或淋水室將室外空氣降溫去濕減焓處理后再等濕再熱。b.

WS→a→S

用固體化學去濕將室外空氣生溫去濕再干冷降溫。c.

WS→S

用噴淋液體吸濕劑做降溫、去濕、減焓處理。又如：冬季空調空氣處理過程可以有如下途徑來實現：a.

Wd→b→L→S

先用加熱器對室外空氣預熱再等溫加濕（噴蒸汽）然后用加熱器再熱。b.

Wd→c→L→S

先用加熱器對室外空氣預熱再等焓加濕（濕膜等）然后用加熱器再熱。c.

Wd→d→S

先用加熱器對室外空氣加熱再等溫加濕（噴蒸汽）。d.

Wd→L→S

先用噴熱水對室外空氣升溫加濕然后再熱。e.Wd→e→L1

e3、空氣調節的氣流組織空氣調節氣流組織設計的任務就是要合理地組織室內空氣的氣流流動，使工作區的溫度，濕度，氣流速度和潔凈度能很好地滿足生產和科學研究以及人們舒適感的要求。氣流組織不合理不僅直接影響空調房間的空調參數和空調效果，而且還要空調系統的能耗。空調系統送風口射出空氣射流是影響室內氣流組織的主要因素，而空調回風口，從流體力學角度是空氣的匯流，起回風速度衰減很快，與其距離的平方成反比。因此回風口的位置對室內氣流組織的影響比較小。空氣調節系統的氣流組織形式主要有：上送下回，上送下側回，上送上回，側上送側下回等形式。見圖十五。圖十五

空氣調節的氣流組織（二）空氣凈化的基礎知識1．潔凈室及其四大技術要素根據生產和科研的要求對室內空氣環境的潔凈度、溫度、相對濕度以及壓力、噪聲、振動、靜電等參數都進行控制的房間叫潔凈室或潔凈廠房。潔凈室的四大技術要素就是：粗效，中效和高效三級過濾，足夠的凈化送風量，室內正壓的建立和維持，以及終端高效或超高效過濾器的設置。2．潔凈室的應用和分類當今潔凈室已廣泛地應用在電子、航天、機械、化工、制藥、食品、醫療、生物工程……各行各業。而且，隨著國民經濟和科研事業的飛速發展，潔凈室的應用將越來越廣泛，越來越重要，潔凈室可按氣流流型和使用用途以及控制的主要對象來分類。⑴、潔凈室按氣流流型來劃分①單向流（層流）潔凈室，其中又分垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。圖十六

單向流氣流流型②非單向流（亂流）潔凈室圖十七

非單向流氣流流型③混合流潔凈室圖十八

混合流氣流流型④矢流（對角流）潔凈室圖十九

矢流氣流流型⑤各種氣流的特點、創造的潔凈度、應用范圍和投資運行費。▲單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理，把灰塵從一端向另一端擠壓出去，用潔凈氣流置換污染氣流。包括有垂直單向流和水平單向流。

垂直單向流是氣流以一定的速度（0.25m/s~0.5m/s）從頂棚流向地坪的氣流流型。這種氣流能創造100級、10級、1級或更高潔凈級別。但其初投資很高、運行費很高，工程中盡量將其面積壓縮到最小，用到必須用的部位。水平單向流是氣流以一定的速度（0.3m/s~0.5m/s）從一面墻流向對面的墻的氣流流型。該氣流可創造100級的凈化級別。其初投資和運行費低于垂直單向流流型。▲非單向流氣流的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過濾器送風口頂部送風；回風的型式有下部回風、側下部回風和頂部回風等。依不同送風換氣次數，實現不同的凈化級別，其初投資和運行費用也不同。▲混合流氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構成的氣流流型。這種氣流的特點是將垂直單向流面積壓縮到最小，用大面積非單向流替代大面積單向流以利節省初投資和運行費。▲舉例給出不同氣流流型的送風量、耗冷量、初投資和運行耗電的具體指標見表一，此指標是以電子工業潔凈廠房為代表，具體數據有參考價值，但不能隨便套用。表一

不同潔凈級別潔凈廠房的送風量、冷量投資耗電的指標氣流流型潔凈級別（級）送風量（m/s）（次/h）耗冷指標（W/m2）投資指標（元/m2）耗電指標（W/m2）單向流垂直10100>0.25m/s1300~150010000~130001.25~1.35水平100>0.3m/s800~10005000~60000.9~1.0非單向流100050~60次/h

600~7002800~30000.25~0.331000025~30次/h500~6002000~22000.22~0.2610000015~20次/h350~4001400~16000.13~0.16注：表中的送風量、單向流以斷面風速表示，非單向流以換氣次數表示。表中冷量指標一般指電子工業潔凈廠房。表中的初投資包括潔凈廠房的圍護、冷凍供應系統、空調凈化系統，不含土建結構和自動控制的投資。表中的耗電量系指制冷系統和空調送風系統耗電，不含電加熱和電加濕的耗電量。⑵、按使用的用途或控制的主要對象劃分①工業用潔凈室：以控制灰塵為主要對象。用于電子、航天、機械、化工、化學制藥……。②生物潔凈室：以控制細菌（微生物）為主要對象。用于生物制藥、醫療、食品、生物工程、動物飼養、生物安全等……。3．潔凈室與一般空調的差別見表二表二

潔凈室與一般空調的差別比較項目一般空調凈化空調原理送風和室內空氣充分混合以達到室內溫濕度均勻亂流為稀釋原理，層流為活塞原理，送出的潔凈室空氣先達工作區，罩籠潔凈工作區目的為了控制溫度、濕度、風速和空氣成份的目的除了一般空調的目的之外，更重要的是控制粒子的濃度手段粗、中效過濾加熱濕交換除空調手段外還要加高效、超高效過濾器，對微生物還要有滅菌措施送風量（次/h）一般降溫空調8~10次/h一般恒溫空調10~15次/h單向流400~600次/h非單向流15~60次/h初投資（元/m2）一般降溫500元/m2一般恒溫800元~1000元/m2單向流5000~15000元/m2非單向流1500~3000元/m2運行耗電（Kw/m2）一般降溫0.04~0.06Kw/m2一般恒溫0.08~0.10Kw/m2單向流0.9~1.35Kw/m2非單向流0.13~0.33Kw/m2冷量指標（W/m2）一般降溫150~200W/m2一般恒溫200~250W/m2單向流800~1500W/m2非單向流350~700W/m24．工業潔凈室與生物潔凈室的差別見表三表三

工業潔凈室與生物潔凈室的差別表比較項目工業潔凈室生物潔凈室研究對象（主要）灰塵、粒子只有一次污染。微生物、病菌等活的粒子不斷生長繁殖，會誘發二次污染（代謝物、糞便）。控制方法凈化措施主要是采取過濾方法。粗、中、高三級過濾，粗、中、高、超高四級過濾和化學過濾器等。主要是采取：鏟除微生物生長的條件，控制微生物的孳生、繁殖和切斷微生物的傳播途徑。過濾和滅菌等。控制目標控制有害粒徑粒子濃度。控制微生物的產生、繁殖和傳播，同時控制其代謝物。對生產工藝的危害關鍵部位只要一顆灰塵就能造成產品的極大危害。有害的微生物達到一定的濃度以后才能夠成危害。對潔凈室建筑材料的要求所有材料（墻、頂、地等）不產塵、不積塵、耐磨擦所有材料應耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖條件。對人和物進入的控制人進入要換鞋、更衣、吹淋。物進入要清洗、擦拭。人和物要分流，潔污要分流。人進入要換鞋、更衣、淋浴、滅菌；物進入要擦拭、清洗、滅菌；空氣送入要過濾、滅菌，人物分流，潔污分流。檢測灰塵粒子可用粒子計數器檢測瞬時粒子濃度并顯示和打印。微生物檢測不能測瞬時值，須經48小時培養才能讀出菌落數量。5．潔凈度的等級標準ISO-14644ISO-14644是國際標準，現在美國、歐洲、日本、俄羅斯和我國都采用此標準，美國原來應用的是美國聯邦標準209A、B、C、D、E，現在美國也不用了。原來我們熟悉的100級、1000級、10000級和100000級都是源自美國聯邦標準FS209B，現在它們分別被國際標準ISO-14644標準中的5級、6級、7級和8級所替代。ISO-14644的潔凈度等級標準列表四如下。表四

潔凈室及潔凈空氣中懸浮粒子的潔凈度等級ISO-14644空氣潔凈度等級（N）≥表中粒徑的最大濃度限值（個/m3）0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm1102////210024104//31000237102358/4100002370102035283/51000002370010200352083229610000002370001020003520083202937///3520008320029308///3520000832000293009///352000008320000293000注：①每點應至少采樣3次。②本標準不適用于表征懸浮粒子的物理、化學、放射及生命性。③根據工藝要求可確定1~2粒徑。④根據要求粒徑D的粒子最大允許濃度由下式確定（粒徑0.1μm~5μm）

（個/m3）

式中N為潔凈度等級在1~9級中間可以0.1為最小單位遞增量插入。國標潔凈等級標準ISO-14644與各國潔凈度等級標準的比較見表五。表五

國際標準ISO-14644與各國標準的比較表國際標準ISO-14644中國標準GB50073美國標準FS209E俄國標準TOCT50766日本標準TIS9920德國標準///P0//11/P11122/P22233M1.5P33344M2.5P44455M3.5P55566M4.5P66677M5.5P77788M6.5P88899/P9/9二．潔凈室的建造特點（一）建造投資費用高

高級別潔凈室的建造費用很高，一般來說，100級垂直單向流的潔凈室，其室內裝修（墻、頂、地、門、窗等）和空調凈化系統（包括制冷空調設備和管道配件、凈化設備和配件等）的初投資大約為10000元人民幣/m2；如果加上純水制備設備和系統管道，純氣發生和系統管道，廢水治理設備和管道，消防系統，供配電和自控系統，真空清掃系統等等，其單位面積的建造投資費用要高達25000~30000元人民幣/m2。就拿已投產的上海華虹NEC超大規模集成電路芯片生產線潔凈室舉例來說，華虹NEC為月投片30000片8"硅片集成電路前工序生產線，有潔凈室面積約12000m2，其中10000m2是在中心部位，另2000m2在邊跨上。在中心部位的10000m2潔凈室中有4000m2的1級、10級和100級的垂直單向流潔凈室，另外6000m2分別為1000級和10000級的非單向流潔凈室，總送風量約6,400,000m3/h。于1998年底建成投產。該項目總投資約100億人民幣，其中動力設備和土建投資為20億人民幣，占總投資的五分之一。單核心部分的10000m2的潔凈室的建造費用就高達6000萬美元（約5億人民幣）（日本三機株式會社施工），折合每平方米建造費用約50000元人民幣/m2。（二）運行管理費用大因為高級別潔凈室凈化風量大，新風量也大，溫濕度要求嚴格，所以空氣熱濕處理和空氣輸配的能量消耗大，耗電多，運行費用貴。還拿上述華虹NEC為例，其核心部分10000m2潔凈室總的送風量為6,400,000m3/h，輸送凈化空氣的風機耗電量為3840Kw/h，全年電費為1659萬元（每度電按0.6元/設計），空氣熱濕處理的耗電量約10000Kw/h，全年電費為6000萬人民幣。全年空調凈化系統本身的運行費用就高達7659萬元人民幣。折合每年單位面積的運行費用為7659元/m2年。（三）靈活適應性強因為，科學技術的發展很快，高科技的產品不斷出現，尤其是電子工業的發展更是日新月異，像集成電路的發展2~3年就更新一代，TFT-LCD的發展速度更快1~2年就上一個臺階。這就要求為其服務的高級別的潔凈室必須能適應其發展速度，有極好的靈活性和適應性。因為建造一個潔凈廠房是百年大計，不是一、二年就會拆掉重建。因此，在設計和建造潔凈廠房時，就要考慮到工藝的發展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應性。從一個潔凈廠房的靈活適應角度，可將其分為三個層次，第一是不可變的部分。無論怎樣改都不能改變的部分。如基礎、梁、柱等結構部分；第二是可變但不容易變的部分。如潔凈室的圍護、裝修等；第三是可變而且容易改變的部分。如動力、空氣、水、氣體溶劑的供給部分和廢氣、廢水、廢料等排放部分。（四）安全、可靠性好從前面（一）、（二）兩條特點可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出何等的代價。但是為了生產出高可靠、高質量的高科技產品也必須具備這樣的生產環境。因為，建造潔凈室的目的是為使用，是為了得到高成品率合格產品。為了達此目的，設計和建造潔凈室必須把安全可靠放在第一位。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風速、壓力等所有參數必須滿足生產工藝的要求，保證安全、可靠、不出事故。這一點絕不能馬虎，更不能打折扣，要萬無一失，只有這樣才能有效益，才能達到建造潔凈室的目的。三．潔凈室的竣工驗收調試，性能測試和潔凈室的綜合評價竣工驗收的調試工作要分以下四個步驟進行。①調試前的準備工作。②單機試車。③聯動調試。④潔凈室的性能測試和綜合評價。（一）調試前的準備工作1、調試的組織準備：成立以建設單位（業主）為組長的有設計單位、施工單位、監理單位人員參加的調試小組。調試小組領導調試的全面工作，調試小組協調各方面的關系，調試小組為調試工作提供各種軟硬條件。2、編制調試大綱在調試小組領導和組織下，編制調試大綱。調試大綱是調試工作的指導性文件。調試大綱的內容包括：組織分工、人員安排、物資調動；調試項目、調試方法、調試儀表；調試程序、調試進度、調試計劃安排等。調試大綱的編制使調試人員思想明確、認識統一、步調一致、行動整齊，使調試工作順利進行。3、施工現場質量的會檢。在調試小組的領導組織下，有建設單位、設計單位、施工單位、監理單位的有關領導和技術人員參加，對施工現場、施工質量進行全面會檢。從冷凍站、換熱站、鍋爐房、變配電站、空調機房到供冷、供熱、供電系統、空調凈化系統和自動控制系統。從設備（冷凍機、鍋爐、水泵、冷卻塔、空調器等）、配件（閥門、風口、消聲器等）、管道和管線到保溫、設備基礎、管道支吊架等的工程施工質量進行全面會檢。看是否按圖施工、查與設計圖不符之處，找施工質量不合格項目并查其原因。并對施工、加工、安裝等質量問題逐一填寫“缺陷明細表”，提出整改意見，限期（正式調試之前）整改完畢。4、空調設備、空調系統的清掃：①調試之前對潔凈室進行全面、徹底的清掃是十分必要的。對潔凈室的地面、墻面、吊頂、門窗進行認真、全面、徹底的大掃除（最好請專業的清潔公司）；對空調設備、空調管道（送風管、回風管、新風管），空調配件（清聲器、閥門、風口等）進行檢查、檢漏和擦試。達到潔凈要求為止。②安裝粗效、中效過濾器進行第一次空吹。在徹底清掃的基礎上，安裝空調器內的粗效和中效過濾器。對整個凈化空調系統進行空吹，空吹時間為24~36小時，使整個系統得到初步的凈化。③安裝高效過濾器。系統空吹后可以安裝高效過濾器。高效過濾器在安裝之前，要求對其逐一進行檢漏，對有泄漏者進行堵漏。檢漏在臨時檢漏臺上進行，塵源利用大氣塵。被檢合格的高效過濾器方能進行安裝，安裝完畢后對高效過濾器的安裝密封再進行檢漏（利用塵埃粒子計數器掃描），達到安裝合格。④高效過濾器安裝檢漏合格后再對凈化空調系統進行第二次空吹。空吹時間24小時，然后方可進行入調試程序。5、測試儀器、儀表、工具的準備①調試前要對調試中所用的儀器儀表進行調試和標定（超過使用時間還需重新進行標定）。所用的儀表包括測量風速、風量、溫度、相對濕度、壓差、噪聲、振動、轉數、時間、大氣壓力和潔凈度的儀器儀表等。②調試所用的器材、工具的準備。如：電工工具、管工工具、扳金工工具、鉗工工具以及爬高上下的梯子等。并且請施工單位配合電工、管工、扳金工和鉗工。③調試和測試工作所用的圖紙和記錄表格的準備。（二）單機試車單機試車是對工程中的所有的設備、配件等單體進行試車。單機試車的目的是對這些設備、配件的安裝質量和產品出廠質量的檢查和考核。單機試車的主要內容有：水、電先行。即首先對供水供電的設備和系統進行檢查和考核。如水泵、變壓器、配電箱、開關等。要保證供水、供電的正常、可靠。進而，對供冷設備（冷凍機、冷卻塔、冷凍水泵、冷卻水等）、供熱設備（鍋爐、換熱器、熱水泵等）、空調設備（表面冷卻器、加熱器、加濕器、過濾器、風機等）、自動控制設備、儀表、閥門以及各系統的配件進行單體考核。看是否能滿足設計要求和正常運行。尤其對轉動設備如風機、水泵要試轉看是否運轉平穩，有無雜音和碰撞和反轉現象；用電設備接線是否正確；冷凍機和鍋爐是否能達到設計要求；空調器中表冷器的降溫去濕能力、加濕器的加濕能力等等進行單體檢查、考核。如果出現故障和發現問題，應立即排除。對于大型設備如冷凍機、鍋爐、空調器等（尤其是進口設備）在單機試車時最好有生產廠家的調試人員現場指導或由生產廠家負責試車，待運轉正常后再移交給使用單位。單機試車為聯動調試做好各個單體設備的準備工作。（三）聯動調試聯動調試一般情況下分為兩個階段進行，即風量分配階段和聯動調試階段。1、風量分配：風量分配即將各個潔凈室的送風量、回風量、新風量、排風量全部按設計要求調整到設計風量。因為一個潔凈廠房可能有多個空調送風系統和排風系統，或一個空調送風系統要負擔多個潔凈室的送風。因此，風量分配調試工作是一項工作量大、時間長、耐心細致的工作。風量分配調試工作也是整個調試工作的重點工作。常用的風量分配調試方法采用標準風口法。標準風口法：一個潔凈室可能有幾個、幾十個空調送風口、回風口。因為它們之間都是相通的，當調整某一個風口送風的風量時其他送風口的風量也會跟其變化。因此，采用標準風口法。所謂標準風口法，就是在風量分配之前，將所有閥門都開到最大的情況下，在所有的送風口這中找到最不利的送風口（送風量最小的送風口），將此風口作為標準風口。在標準風口上設一監測儀表，隨時測試標準風口的風量變化。然后調整其它所有風口風量。因為調整任何一個風口風量時，都會影響已調整過的風口的風量的變化；因此，在調整任何一個風口風量時，都要以標準風口當時風量為參照風量，使所有被調風口的風量均隨標準風口的風量變化而同步變化。當一個凈化空調系統負責多個潔凈室空調時，調試要以潔凈室為單位由末端向總干管方向進行，對各潔凈室首先調整其送風量的相對關系量，然后，再用系統的總閥門來將每個送風口，每個潔凈室的送風量都調整為真實的設計送風量。2、聯動調試聯動調試在風量調整和單機試車后進行。聯動調試就將凈化空調系統和為凈化空調系統服務的所有系統即：供冷系統（冷凍機、冷卻塔、水泵以及供冷系統上所有的配件）、供熱系統（鍋爐、水泵以及供熱系統上所有配件）、供電系統（配電箱、變頻器……）和自動控制系統全部投入運行，考核各系統的綜合性能和聯動性能。必要時，在潔凈室內人為的設置一定量的負荷，考核溫、濕度探頭、中間儀表和執行機構的聯動是否敏感、協調；考核溫、濕度探頭是否準確，精度是否合格。（四）潔凈室的性能測試和綜合評價在風量調整和聯動調試的基礎上，潔凈室空調凈化系統以及為其服務的所有系統，均處于正常運行狀態。接著進行潔凈室的性能測試和綜合評價。1、潔凈室的性能測試：潔凈室性能測試內容包括：潔凈度測試、風量測試、正壓測試、風速測試（單向流潔凈室）溫度、相對濕度測試、噪聲測試等。①潔凈度測試：采樣點布置在工作面上（0.8~1.0m），采樣點數量N=A1/2（A是潔凈室面積‘m2’）。塵埃粒子計數器的采樣量要大于1升/分；每個采樣點連續有效采樣三次。取其平均值做該點的測量值。全部測點的測量值的平均值作為潔凈室的潔凈度。②風量或風速測試：單向流潔室測量斷面風速、非單向流潔凈室測其風量。斷面風速的測量：距吊頂上送風高效過濾器（HEPA）300mm處布置測點，測點間距為600mm，用熱球風速儀測其各點風速。風量測試：在送風管或送風口上測送風風量。方法是用比托管和微壓差計，測風管內各點的動壓，測點間距為100mm。再計算送風量。③正壓測試：在關門的狀態下，測潔凈室的正壓。采用補償式微壓計測量。2、潔凈室的綜合評價。在對潔凈室性能測試的基礎上，根據對潔凈室潔凈度、溫、濕度、正壓、風量、噪聲等測試結果，對潔凈室的建設和性能進行竣工驗收的綜合評價。四．潔凈室的性能測試(一)潔凈室性能測試的目的潔凈室性能測試的目的主要有兩項：其一是為了潔凈室的竣工驗收，其二是為了檢查潔凈室的運行是否正常。1、凈室竣工驗收的性能測試根據（潔凈室施工及驗收規范）和（潔凈廠房設計規范）的要求，潔凈室東莞旭和凈化竣工驗收分兩步進行，第一步是竣工調試和性能測試，第二步是潔凈室性能的綜合評價。潔凈室性能的綜合評價是潔凈室工程竣工驗收的重要環節，而潔凈室性能測試又是潔凈室性能綜合評價的基礎。潔凈室性能測試所需要測試的項目以下：①通風機的風量和轉數；②風量及其平衡；③室內靜壓及其調整；④自控系統的聯動；⑤高效過濾器的檢漏；⑥室內的潔凈度；等六項。其中主要三項是，潔凈度，風量和室內靜壓。2、潔凈室運行狀態下的定期性能測試根據（潔凈廠房設計規范）的要求，因生產的復雜性和維護管理工作的主，客觀原因造成潔凈室性能的下降，必須對潔凈室進行定期的性能測試，檢測的頻數見下表。

表十四

潔凈室性能測試的內容和頻數潔凈度等級項目1~34、5、678、9溫度循環監測每班二次濕度循環監測每班二次壓差值循環監測每周一次每月一次潔凈度循環監測每周一次每3個月一次每6個月一次風量循環監測不得超過12個月（二）潔凈室性能測試的內容表十五

潔凈室檢測內容序號測試項目JGJ71-90規定GB50073-2001規定低于100級100級1000級及以下1室內送風量，系統總風量，室內排風量，檢測檢測2靜壓差檢測檢測3風速和風量檢測不測檢測4斷面風速不均勻度檢測必要時測不測未規定5潔凈度級別檢測檢測6浮游菌和沉降菌必要時測選測7室內溫度和室內相對濕度檢測選測8溫濕度波動范圍和區域溫差必要時測未規定9室內噪聲級檢測選測10室內倍頻程聲壓級必要時測選測11室內照度及其均勻度檢測選測12室內微振必要時測必要時測13表面導靜電性必要時測必要時測14室內氣流流型不測必要時測選測15流線平行度檢測必要時測不測必要時測16自凈時間不測必要時測必要時測選測17過濾器安裝檢漏未規定選測18污染泄漏未規定選測（三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表（三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表1、風壓測試儀器：主要用于測定潔凈室之間和潔凈與非潔凈區之間微壓差，也可利用壓差法測量風速，計算風量。①液體壓力計：液體壓力計具有使用方便、價格低廉、精確度較高、制造安裝方便等優點，但有測量范圍受限制、玻璃管易碎等缺點。常用的工作液體有：酒精、水、水銀等，在潔凈室測量中主要是酒精和水。液體壓力計主要有：U型管壓力計、斜管壓力計、補償式壓力計。②彈簧壓力計：彈簧壓力計是根據彈簧元件在所測壓力作用下發生變形，其變形量與所測壓力成函數關系這一原理制成的，其優點是構造簡單、便于攜帶、安裝方便、價格低廉。常用的彈簧壓力計主要有：彈簧管壓力計、膜片管壓力計和膜核壓力計。③電學壓力計：電學壓力計是利用壓電原理或高壓下電阻變化等電學方法來測定壓力的壓力計，適用于測量變化極快、數值很高或近乎絕對真空時的壓力。2、風速和風量測試儀器：①風速測量儀的作用原理有：機械式、散熱率式和動力測壓式等。a．機械式風速儀：如翼形風速儀，它是利用流動氣體的原動壓推動機械裝置來顯示其流速的儀表。b．散熱率式風速儀：是根據流體中受熱物體的散熱率與流體流速成正比關系制成，測定傳感器的散熱率，即能測到流體的流速。常用的散熱率式風速儀有：熱線風速儀和熱球風速儀等。②風量測量儀：在潔凈室中總風量的測試常用風管法，各房間送回風量多用風口法進行測量，其原理為平均風速乘以斷面面積。③潔凈度測試儀：a．塵埃粒子的檢測儀表：目前潔凈室潔凈度的檢測主要用光散射塵埃粒子計數器，它又分為白只光塵埃粒子計數器和激光塵埃粒子計數器。它的原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現象，將采樣空氣中的微粒的光脈沖信號轉換為相應的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數，利用微粒的光散射強度與微粒粒徑的平方成正比的關系來測量微粒粒徑的大小。b．生物粒子的檢測儀表：目前生物粒子的檢測方法主要有采用培養基法和濾膜法，所用的儀器分浮游菌采樣器和沉降菌采樣器。浮游菌采樣器主要有：固體撞擊式采樣器、離心式空氣微生物采樣器、氣旋式微生物采樣器、液體沖擊式微生物采樣器、過濾式微生物采樣器和大容量靜電沉降采樣器等。沉降菌采樣器主要有：高壓消毒鍋、恒溫培養箱和培養皿等。④溫度測試儀：通稱溫度計，按其作用原理可分為膨脹式溫度計、壓力式溫度計、熱電偶溫度計和電阻溫度計。a．膨脹式溫度計：分固體膨脹式溫度計和液體膨脹式溫度計。b．壓力式溫度計：可分為充氣壓力計式溫度計和充蒸汽壓力計式溫度計。c．熱電偶溫度計：是根據熱電效應原理制成的，當兩種不同金屬節點溫度不同時就會有電動勢，如已知一點溫度，測出電動勢就可推算另一點的溫度。d．電阻溫度計：基于某種金屬及其合金或半導體的電阻會隨溫度變化而變化，精確地測定電阻就會測出溫度。電阻溫度計的優點有：精確度靈敏度高、反應快；測溫范圍寬；不需冷節點補償；可用于遠距離溫度測量。⑤濕度測試儀：濕度測試儀按其原理可分為干濕球溫度計、毛發溫度計、電溫度計等。⑥噪聲測試儀：噪聲測試儀它的原理是用電容式傳聲器將聲能變為電能，再經放大器、檢波器等一系列處理，最后給出聲壓值。⑦照度測試儀：常用的便攜式照度計它的原理是用一種光敏元件做探頭，當有光照時就會產生光電流，光線越強光電流越大，測量電流時就可測出照度。（四）潔凈室性能測試的方法1．風量和風速的測量①．測試前的準備工作：測試前首先檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門的開啟位置是否正確并且固定可靠。②單向流潔凈室風量的測定：垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室的風量是采用斷面平均風速和斷面面積的乘積來計算的，斷面的選取和斷面上的測點布置見下表。表十六

施工驗收規范JGJ71和設計規范GB50073的比較內

容施工驗收規范JGJ71設計規范GB50073垂直單向流垂直單向流垂直單向流水平單向流測定斷面的選取距地面0.8m距送風面0.5m距高效過濾器0.3m測點的布置間距不大于2m均勻布置間距不大于0.6m均勻布置最少測點數10點，算數平均5點，算數平均測定儀器熱球風速儀未作具體規定評定標準應大于設計風速,且不超過20％1~4級0.3~0.5不均勻的均方根差不大于0.255級（100級）0.2~0.5③非單向流潔凈室風量的測定：非單向流潔凈室風量的測定可采用風管法和風口法a.風管法測風量：風管法測風量中風管測定斷面應選擇氣流比較均勻穩定地方，且與局部阻力的距離，測定斷面在局部阻力前時不小于3倍風管管徑長度，測定斷面在局部阻力后時不小于5倍風管長邊長度。對于矩形風管將測定斷面分成若干個相等的小截面，盡可能接近方形，邊長應不大于200mm。測定點在小截面的中心。整個測定斷面的測點數不少于3個。對于圓形風管將測定斷面分成若干個面積相等的同心圓環，每個圓環上設4個測點，4個測點應在相互垂直的兩條直徑上。圖三十六矩形風管的測點布置

圖三十七

圓形風管的測點布置b.風口法測風量：在施工驗收規范JGJ71中規定了兩種方法：其一是對于有過濾器的風口，可根據風口形式選用與風口斷面相同的輔助風管，其長度為兩倍風口的邊長，連接于被測風口外部，在輔助風管的出口面上，最少布置6個測點，用熱球風速儀測個點風速，再用斷面平均風速乘以風口凈面積來計算風量。其二是對于有同類擴散板的風口，可根據擴散板的風量阻力曲線和實測擴散板阻力來查出風口的風量。④風量測定結果的判定：a.實測風量應大于設計風量，但不應超出20％。b.實測新風量與設計新風量之差不應超出10％。c.實測個風口風量與設計風量之差不應超出15％。2．潔凈度的測定：①．在施工驗收規范JGJ71中規定如下：a.最低采樣點數見下表，每個測點最少采樣機3次。表十七

最低采樣點數表面積（m2）潔

凈

度100級和高于100級1000級10000級100000級小于102~322210432220862240161342100403210320080632064001601264013100040031610032200080063320063b.測定潔凈度的最小采樣量按下表：表十八

最小采樣量表(L)潔凈度級別（級）粒

徑（mm）0.10.20.30.55.011785198566102.838.519.856.61002.832.835.6610002.8385100002.838.51000002.832.83c.對于單向流潔凈室采樣口應朝著氣流方向。對于非單向流潔凈室采樣口宜朝上。采樣速度盡可能接近室內氣流速度。即（等速采樣）。測點的布置原則：每層不少于5個測點，多于5點時可分層布置。測點布置在距地0.8m高的對

角線上。②潔凈度測定結果的判定：a.

如實測狀態（空態，靜態，動態）與事先約定的狀態相同，以其潔凈度級別上限作為評定標準。b.如實測狀態為空態或靜態，則動態時的粒子數肯定會高，有時可用空態粒子數的5~10倍來估算動態時的塵埃粒子數。3．微生物粒子的測定：①．采樣點的布置和要求：a.浮游菌測定時，其采樣點位置可以與懸浮粒子測定點的布置相同。測點距離地面0.8~1.5m,送風口測點位置距送風面30cm左右。根據需要可在關鍵部位增加測點。測點布置要均勻。見下表：表十九

浮游菌測定最少采樣點數表面積（m2）潔

凈

度100級10000級100000級驗證監測驗證監測驗證監測小于102~31212－10~2042212－20~4083212－40~100164412－100~20040103－200~40080206－4001604013－b.沉降菌測定時，其采樣點位置可以與懸浮粒子測定點的布置相同。測點距離地面0.8~1.5m。根據需要可在關鍵部位增加測點。測點布置要均勻。對于沉降菌法不僅僅滿足于最少采樣總數,還需滿足最少采樣培養皿總數。見下表：表二十

沉降菌測定最少采樣點數表面積（m2）潔

凈

度100級10000級100000級小于102~32210~2042220~4082240~1001642100~20040103200~40080206400~100016040131000~2000400100322000以上80020063表二十一

沉降菌測定最少培養皿數表潔凈度等級（級）90培養皿數（以沉降0.5h計）高于1004410014100051000021000002浮游菌測定法最小采樣量應按不同潔凈度等級來確定。見下表表二十二

浮游菌測定法最小采樣量表潔凈度等級（級）采樣量/L?次日常監測環境驗證10060010001000040050010000050100②微生物粒子測定方法：a.浮游菌的測定法首先，要對測定儀器，培養皿，采樣器等進行消毒滅菌，采樣口和采樣管在使用前必須用高溫滅菌。第二，采樣者應穿與潔凈室等級相應的潔凈服，放入或調換培養皿前，雙手要用消毒劑消毒。第三，儀器消毒后放入培養皿前，先開動真空泵抽氣，使儀器中的殘存消毒劑蒸發，時間不小于5min。第四，關閉真空泵，放入培養皿，蓋好蓋子后調節采樣器。第五，置采樣口于采樣點，依次開啟采樣器，真空泵，轉動定時器并根據采樣量選定采樣時間。第六，采樣結束后，將培養皿置于30~50oC恒溫培養箱中，時間不小于48小時。第七，用肉眼計數，然后用5~10倍的放大鏡檢查，是否有遺漏。

.b.沉降菌的測定法首先，要對測定儀器，培養皿等進行嚴格的消毒滅菌，在37oC恒溫培養箱中，進行不小于48小時的培養和觀察，確認無菌后方可使用。第二，一般采用90mm的沉降平皿，注入20mL培養基，放在測點處，開蓋暴露30min,將培養皿蓋蓋上倒置，然后在30~35oC恒溫培養箱中，進行不小于48小時的培養并用肉眼計菌落數，并記錄生成的菌落數，然后用5~10倍的放大鏡檢查，是否有遺漏。4．靜壓差的測定：①．靜壓差的測定要求：首先，靜壓差的測定是潔凈區內所有的門全關閉狀態下進行的。第二，應從潔凈度高到潔凈度低的房間順序進行，一直到直通室外的房間。第三，測管口設置在室內不受氣流干擾的地方。第四，所測數據應精確到1.0Pa。②靜壓差的測定步驟：首先，是將潔凈區內所有的門全處于關閉狀態下。第二，用微壓差計測量潔凈室之間，潔凈室和走廊之間，走廊與外界之間的壓差。第三，記錄在案③靜壓差測定用的儀器：靜壓差測定一般采用的儀器為YJB-150型補償式微壓計，傾斜式壓力計，精密指針式壓力計或靈敏度小于1.0Pa的其它壓力計。④合格標準：首先，不同級別的潔凈室（區）與非潔凈室潔凈室（區）之間的靜壓差應不小于5Pa。第二，潔凈室（區）與室外的靜壓差應不小于10Pa。第三，對于潔凈度等級嚴于5級的單相流潔凈室在開門時，門內0.6m處室內工作面的含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。5．溫度和相對濕度的測定：①溫濕度的測定要求首先，溫濕度測定前，凈化空調系統應連續運行48h以上。第二，應根據溫濕度的精度范圍，選擇有足夠精度的測定儀表，并經過校驗標定合格。②溫濕度的測定方法：第一，溫濕度的測點應距離地面0.8m，距離外墻0.5m。第二，應根據溫濕度的精度范圍的要求，測定宜連續運行8~48h，每次讀數間隔不大于30min。第三，對于沒有恒溫要求的房間，其溫度只測房間中心一個點即可。第四，對于有恒濕要求的房間或區域，測點應放在送，回風口處或具有代表性的點。③合格標準：有90%以上的測點其溫度的偏差值在室溫要求的范圍內，為符合設計要求，反之為不合格。6．照度的測定：①照度的測定要求室內照度的測定必須在室溫穩定，光源光輸出穩定后再進行測定。②照度的測定方法：第一，照度的測點應距離地面0.85m，按間距1~2m布點，測點距離墻1m。第二，記錄實測值并計算總的平均照度。第三，照度測定一般是不含局部照明以外的一般照明。③合格標準：應符合設計要求，根據（潔凈廠房設計規范）的要求，潔凈室內一般照明的均勻度不應小于0.7。7．噪聲的測定：①噪聲的測定方法：當房間的面積不大于50m2時，僅測定房間中心一個點。當房間的面積較大時，每增加50m2增加一個測點。測點距離地面1.0m。當有條件時，宜測房間靜態工況的噪聲和本底噪聲。②合格標準：應符合設計要求，根據（潔凈廠房設計規范）的要求，潔凈室空態情況下非單向流潔凈室的噪聲不應大于60dB(A)。單向流和混合流潔凈室的噪聲不應大于65dB(A)。8．自凈時間的測定：①自凈時間的測定方法：以大氣塵為基準測定時，潔凈房間必須停止運行一段時間，待空氣中含塵濃度接近大氣含塵濃度時，然后開機，直到含塵濃度達到最低穩定值為止，其所需要的時間為自凈時間。以人工塵（香煙，巴蘭香等）為基準測定時，在潔凈室中央距離地面1.8m的高度發煙1~2min即停止，再穩定1~2min，然后開機，直到含塵濃度達到最低穩定值為止，其所需要的時間為自凈時間。9．安裝后過濾器的檢漏：①檢漏要求：被檢過濾器應檢測過風量并在設計風量的80%~120%條件下運行。被檢過濾器上游的粒子濃度被檢過濾應滿足下列要求：對受控粒徑≥0.5μm的濃度，應不小于3.5x104pc/L對受控粒徑≥0.5μm的濃度，應不小于3.5x104pc/L②檢漏方法：用粒子計數器對安裝的接縫和主斷面進行掃描檢漏。檢漏點應距離被檢表面20~30mm。掃描的速度5~20mm/s，掃描檢漏的部位為過濾器整個斷面，封頭膠，安裝框架等處。掃描檢漏用的粒子計數器的最小采樣量應大于1L/min。③合格標準：被檢過濾器下游的粒子濃度換算成穿透率，高效過濾器不應大于出廠合格穿透率的兩倍。五，潔凈室運行管理的一些問題：（一）過濾器的基本知識及其維護管理1，過濾器的基本知識過濾器是潔凈室的主要凈化設備，是空氣凈化的主要手段。因此，對于從事潔凈室設計、建造和維護管理人員了解和掌握過濾器的基本知識是十分重要的。a、過濾器的分類按過濾器的性能（效率、阻力、容塵量）來劃分，通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六類過濾器。我國國家標準《空氣過濾器》GB/T14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規定如下：表二十三

過濾器的效率和阻力（GB/T14295-93）

性能指標性能類別額定風量下的大氣塵限徑計數效率（E%）額定風量下的初阻力（Pa）粗效≥5.0μm80>E>20≤50中效≥1.0μm70>E>20≤80高中效≥1.0μm90>E>70≤100亞高效≥0.5μm99.9>E>95≤150國家標準《高效空氣過濾器》GB13554-92中規定將高效過濾器按性能劃分為A、B、C、D四類。D類又通稱為超高效過濾器（或稱為0.1μm高效過濾器或超低透過率過濾器）。表二十四

過濾器的效率和阻力（GB13554-92）

性能指標性能類別效

率（E%）額定風量下的初阻力（Pa）A額定風量下的鈉焰效率≥99.9≤190B額定風量和20%額定風量下的鈉焰效率≥99.99≤220C額定風量和20%額定風量下的鈉焰效率≥99.999≤250D額定風量和20%額定風量下的≥0.1μm粒子效率≥99.999≤280國外將超高效過濾器（ULPA）的過濾效率指標規定為對于≥0.12μm粒子的過濾效率E≥99.9995%。關于我國和歐美對過濾器的分類比較如下：表二十五

過濾器的分類表我國標準GB/T14295一般通風用潔凈室用粗

效中效高中效亞高效高

效超高效美國ASHRAE標準C1C2C3C4L5L6L7L8M9M10M11M12M13M14H15H16UH17UH18UH19UH20歐洲新標準G1G2G3G4F5F6F7F8F9H10H11H12H13H14U15U16U17歐洲老標準EU1EU2EU3EU4EU5EU6EU7EU8EU9EU10EU11EU12EU13EU14效率E（%）65

80

90

60

80

90

85

95

99.5

99.95

99.995

99.9995

99.99995計重法比色法MPPS法（DOP法）b、過濾器的過濾機理過濾機理主要有攔截（過篩）、慣性碰撞、布朗擴散和靜電等。①攔截：即過篩。大于篩孔的粒子攔截下來被過濾掉，小于篩孔漏過去。

一般對大粒子有作用，效率很低，是粗效過濾器的過濾機理。②慣性碰撞：粒子尤其較大粒子隨氣流流動，作無規則運動。由于粒子的慣性或某種場力作用偏離氣流方向，不隨氣流運動，而與障礙物碰撞、粘住而被過濾掉。粒子越大，慣性越大，效率越高。一般是粗效和中效過濾器的過濾機理。③布朗擴散：氣流中的微小粒子做無規則的布朗運動，與障礙物撞擊被鉤留粘住，而被過濾掉。粒子越小，布朗運動越強，與障礙物撞擊機會越多，效率越高。這也被稱作擴散機理。這是亞高效、高效和超高效過濾器的過濾機理。且纖維直徑越接近粒子徑效果越好。c、過濾器的性能過濾器性能一般包括過濾效率E；初阻力Hc；容塵量g。①過濾效率E=被過濾器過濾掉的（捕集的）粒子量/未過濾前空氣中粒子總量×100%一般而言：≤0.1μm粒子主要作布朗擴散運動，粒徑越小，效率越高。>0.5μm粒子主要作慣性碰撞運動，粒徑越大，效率越高。0.1>d>0.5μm之間的粒子其過濾效率有一個最低點，即最大穿透率的粒徑。②初阻力Hc：氣流繞纖維運動產生微小阻力，無數微小阻力之和即濾料對空氣的阻力。過濾器的阻力與氣流速度有關，速度越大，阻力越大。

過濾器的阻力分為初阻力（Hc）和終阻力（Hz）。

初阻力（Hc）是過濾器器開始使用時額定風量下的阻力。

終阻力（Hz）是過濾器更換時的阻力。一般Hz=2×Hc。③容塵量g：過濾器到達終阻力時在濾料上所容納的灰塵重量。d、濾速濾速是指空氣垂直于濾料方向穿過濾料的速度。不是過濾器迎面風速。濾速越大粒子慣性力越大，對粗、中效過濾器而言效率越高，但濾速越大，過濾器對空氣的阻力也越大。所以一般粗效過濾器濾速為1~2m/s，中效過濾器的濾速0.2~1m/s。濾速越大，不利于微小粒子的布朗運動，因此對高效、超高效過濾器的濾速一般控制在0.02m/s左右。e、過濾器濾料和結構形式粗效過濾器的濾料一般為：玻璃纖維、化纖、無紡布等其結構型式多為板式、折疊式和袋式。中效過濾器的濾料一般為玻璃纖維、化纖、無紡布等其結構型式多為袋式、楔形折疊式。高效過濾器的濾料主要是超細玻璃纖維濾紙。結構型式均為折疊式。有有隔板和無隔板之分。f、過濾器的使用和更換①過濾器的使用粗效、中效、高中效、亞高效、高效、超高效6種過濾器各有各的用途，必須正確使用，如果使用不當，不但不會起作用而且還會產生不良甚至相反的效果。因此，設計、建造和維護管理潔凈室的人員要特別注意。粗效過濾器是作為預過濾器使用，一般是設置在空調箱內，其作用是過濾大顆粒的粒子，以保護其后的空調設備（如表冷器和加熱器等）和中效以及更高級過濾器。一般粗效過濾器不能作為終端過濾器。中效過濾器一般設在空調箱的正壓段，其作用是保護亞高效、高效過濾器等終端過濾器。它除去的是≥1.0μm的中小粒子。一般情況下，中效過濾器是中間過濾器，不能做預過濾器用，也不能做終端過濾器。高效和超高效過濾器都做為凈化系統的終端過濾器。一般放置在潔凈室的吊頂上。高效過濾器（HEPA）是潔凈室的必須的終端過濾器。而超高效過濾器是0.1μm，10級、1級或更高級別潔凈室必須的終端過濾器。②過濾器的更換過濾器經過一段時間的運行，當過濾器的阻力達到其終阻力Hz時，一般情況下就要更換了，否則其性能就會下降，達不到應起的作用，甚至會影響系統的正常運行。對粗、中效過濾器而言，有一次性使用后廢棄的也有可清洗后繼續使用的，不過清洗后的粗、中效過濾器的阻力遠比其初阻力大，效率也有所提高。然而亞高效、高效和超高效過濾器都是一次性的，使用后就廢棄的。(二)、潔凈室的發塵源和潔凈室的清埽：1、潔凈室的發塵源對于潔凈室的塵源，除了來自室外大氣的塵粒和進入潔凈室的人和物攜帶的灰塵之外，潔凈室內的發塵源主要來自于潔凈室內操作人員，潔凈室的圍護和潔凈室內生產工藝設備和生產過程的產塵。①潔凈室內作業人員的產塵。作業人員的產塵與所穿的潔凈工作服的材料、型式、著裝情況和作業人員本身的動作有關。因此，潔凈室內的作業人員必須穿規定的工作服而且動作也要受到一定的限制。通常情況下，一般電子裝配工藝穿全身型潔凈工作服輕微動作時，人員的產塵量為3.5~5.0×105個/人?分（≥0.5μm）。是潔凈室內的最主要的發塵源。②潔凈室圍護和室內表面的產塵。隨著潔凈室裝修材料的發展，耐磨、抗靜電、少產塵的材料出現，潔凈室內建筑產塵量越來越小。一般認為潔凈室單位建筑面積產塵為3~5.0×104/m2?分（≥0.5μm）。可見10平方米建筑產塵只相當一個作業人員的產塵量。③生產設備和生產過程的產塵：這一產塵量與設備和生產過程本身有直接關系。不同設備、不同生產工藝的產塵量差別極大。在日本的資料介紹，一臺電動機的產塵量大約為4.5~45×104個/臺?分（≥0.5μm）。2、潔凈室的清掃①人工擦拭法：即人用潔凈室專用擦布和純水對潔凈室的地、墻、頂以及家具和設備表面進行擦拭。這種清掃方法較為徹底。②分散式真空吸塵法：一般此方法只適用于低級別（1000級、10000級、100,000級）亂流潔凈室。方法簡單、靈活、方便，每天下班后均可采用此方法清掃。但由于移動式真空吸塵器內的圓筒形高效過濾器的效率比較低（≥99.5%，≥0.5μm），因此不適用在高級別的潔凈室。一般情況500m2潔凈室可設兩臺吸塵器，每增加500m2增加一臺，最多不超過10臺。③集中式真空吸塵法：集中式真空吸塵是一個由吸塵口、管網、集中吸塵泵、除塵器組成的系統。吸塵泵和除塵器設在專門的機房內，因噪聲極大，機房不但要遠離廠房和辦公區，而且還要適當地作隔聲消聲處理。吸塵泵應有備用不應少于2臺。系統的管道宜用無縫鋼管焊接聯接暗裝敷設。其彎頭曲率半徑為4~6d煨彎不得折皺，三通夾角要小于45o，不應有四通（可由2個三通組合），水平管道的坡度為3‰，坡向立管和吸塵點，拐彎處宜設清掃口。系統末端為吸塵口，平時有蓋密封，使用時開蓋插入吸塵軟管進行吸塵。一般吸塵軟管作用半徑為8米，每個系統同時工作的吸塵口為4~5個，每個吸塵口的風量為150m3/時。集中式真空吸塵不會影響室內的潔凈度，因此，集中式真空吸塵方法多用在級別較高（100級、10級、1級），面積較大的潔凈室中。潔凈室的清掃制度在一般情況下，每班（每天）小清掃一次；每周中清掃一次，每月大清掃一次。并且要設專人負責管理、監督和檢查。還要有一定的培訓制度。（三）潔凈室的空氣品質：影響潔凈室內的空氣品質的因素很多。如：潔凈室內的新鮮空氣量的大小；室內含氧量的多少；室內的負離子數量；室內裝修安裝等材料和生產過程產生的低濃度分子級的化學污染物的情況以及生產過程中散發的酸、堿、有機等廢氣都會影響潔凈室內的空氣品質。1、潔凈室內的新鮮空氣量《潔凈廠房設計規范》50073-2001中規定“保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。”根據平衡方程式：人們工作正常呼吸排出的CO2量M=0.03m3/人?h

新鮮空氣中CO2的含量

C0=0.0003m3/m3空氣

潔凈室內空氣允許的CO2含量

C=0.001m3/m3空氣。故：潔凈室內人們正常工作所需的新鮮空氣量L新=M/C-C0

L新=M/C-C0=0.03/0.001-0.0003=42.86m3/人?h因此，新鮮空氣量按規范要求是可行的。新鮮空氣量太小不利于潔凈室內作業人員的健康，若新鮮空氣量太大，運行能耗太大，運行費用太高不經濟。但最小不低于40m3/人?h。2、潔凈室空氣的含氧量大氣中氧氣的含量大約占21%，氮氣大約占79%，其他氣體的含量占總量的比例微忽其微。而潔凈室是一個密封的空間，往往在潔凈室內作業的人員會感覺不舒服、悶氣、頭痛等等，是不是潔凈室內空氣中的氧氣含量少了呢？為了這一問題，在1983年編制《潔凈廠房設計規范》GBJ73-84時，專門請了北京有關衛生部門的專家對北京878廠潔凈室內的氧氣含量進行了測試，其結果：潔凈室內的氧氣含量占20%左右，基本正常，但潔凈室空氣中含有一些其他化學污染物和氣味，使人感覺不舒服。3、潔凈室空氣中的負離子量①一般空氣中的離子分為小離子、中離子和大離子三類。小離子是由3~12個帶有基本電荷的分子組成的復合物（如：等）；中離子是大約由100~1000個分子組成的復合體，一般寄存在微粒子上；大離子是由106個分子聚合在一起的凝聚核。表二十六

空氣中的負離子含量表（個/cm3）離

子半徑（mm）基本電荷壽

命公園和田野中的數量（個/cm3）小離子6×10-5±130~300秒（1~10）×103中離子（1-5）×10-4±1分~時（1~10）×103大離子>10-2≤±10天~周（1~100）×103在99年8月份的《精品購物指南》雜志“空氣中的負離子”一文中將空氣中的負離子稱為“空氣中的維生素”。該文給出了不同地方空氣中的負離子含量。表二十七

各空間空氣中的負離子含量表（個/cm3）空

間森林瀑布區高山海邊區郊野田園區都市公園區街道綠化區城市住宅區空調房間區潔凈室內負離子含量100,000~500,00050,000~100,0005,000~

50,0001,000~

2,000100~20040~500~20負離子的作用具有自然的免疫力有殺菌作用減少疾病能增強免疫力、抗菌力維持基本需要可誘發重量狀態邊緣可誘發生理障礙，頭痛失眠可誘發空調病②空氣中負離子對人體的作用其實負離子是空氣中帶有負電荷的分子，負氧離子是帶負電荷的氧分子。是空氣電離產生的。在自然界中雨過天晴、森林、瀑布、海邊的空氣中負離子含量多。廣東省肇慶有一個旅游景點“鼎湖山”就以負離子而聞名，其負離子在空氣中的含量高達200,000~300,000個/cm3。實踐證明空氣中的負離子對人體有一定的生理作用，其表現在：可降低血壓、抑制哮喘、鎮靜神經、消除疲勞，能增強人體的免疫力和抗菌能力，使人精神爽，工作效率高。實驗證明：空氣中的負離子與呼吸器官接觸時，產生電荷遷移，對器官施加刺激，而且離子越輕其活動能力越強，對器官施加的刺激就越明顯。這種生物刺激的結果會使人體血液中的自由氧的含量提高，促使人體呼出CO2和吸入O2的量增多，這就意味著對人體有一定的好處。在潔凈室中的空氣是經過粗、中、高效過濾器過濾的空氣，所以潔凈室空氣中的負離子含量幾乎為零。也是在潔凈室內人們感覺不舒服的一個原因。③負離子發生器我國在80~90年代間有很多廠家研究和生產負氧離子發生器，但由于技術原因電離空氣的電壓不穩定等因素，產生負氧離子（）的同時也產生大量的臭氧（），因為臭氧對人體有害，損傷人的眼角膜和鼻粘膜等，后來很少生產了。但這一產品在保證質量的前題下還是非常需要的。不僅在潔凈室內而且在日常生活中也是需要的。4、潔凈室空氣中的其他化學成份潔凈室尤其電子工業用的潔凈室由于室內裝修材料以及生產用的原材料（各種氣體、溶劑等）和生產過程排放的廢氣（含酸、含堿、含有機等化學污染物）等都會向潔凈室空氣中散發大量的化學物質，不僅影響潔凈室內的空氣品質，也會污染室外大氣。因此，在設計、建造和使用潔凈室時要重視和處理好工藝設備的局部排風和廢氣的治理。不僅工藝設備本身要加強密封，而且，還要加強通風，提高排風效果，作好氣流組織，使潔凈室內的空氣品質得以改善。（四）潔凈工作服及其管理：潔凈工作服也稱作無塵服（無菌服）是潔凈室內工作人員的專業服裝。潔凈工作服對其衣料的要求很嚴格，服裝的型式也根據潔凈室潔凈度的不同而不同。1，潔凈工作服的衣料潔凈工作服的衣料多為長纖維防靜電的尼龍或聚脂材料。潔凈工作服對衣料的要求（摘自“空氣潔凈”99年第一期）表二十八

潔凈工作服的材料特性要

素要

求有利于潔凈度不產塵、纖維剝離疲勞斷絲時也不產塵，有過濾性能不透塵防靜電好在低溫、低濕條件下制電性能好，不產生靜電，灰塵難以附著生物學特性好經滅菌處理后有持久的延續性，耐滅菌性能好化學性能有耐久性宜縫制，耐反復洗滌，易清洗，易著色。耐腐蝕性強穿著舒適性好柔性好、透氣性好、手感好，有吸濕性、伸縮性、保溫性不透明性好潔凈服穿著時看不見內部的衣服2，潔凈工作服的型式：a、連體型（全身）：帽子、上衣、褲子、鞋套等集中連成一體，還配有手套、口罩、眼罩等，一般多用在高級別潔凈度的潔凈室內。b、分體型：帽子、上衣、褲子、鞋套四件分開型。多用于潔凈度較低的潔凈室。c、大褂型：有帽子、大褂、拖鞋，沒有褲子。用于低潔凈度潔凈室和準潔凈室。3，潔凈工作服的洗滌關于潔凈工作服的清洗管理等我國尚無標準和規范，目前各個使用潔凈工作服的單位對其管理也極不規范。有的工廠有自己的洗衣房（潔凈洗衣房），用去離子水或純水和中性洗滌劑清洗后在潔凈環境下晾干。全廠統一管理，統一清洗，但成本很高。這是最好的情況。也有的工廠有自己的洗衣房（一般房間），用普通自來水和一般洗滌劑，在一般條件下晾干。這種情況也較多。最差的是將潔凈工作服交給職工拿回家去洗。普通洗衣機、普通自來水、一般洗衣粉、晾在室外。洗完后看上去很白、很“干凈”，但由于洗滌不規范，洗后的潔凈工作服的產塵比洗滌前還多，這也不能稱作潔凈工作服了。4，介紹國外的潔凈工作服東莞旭和凈化的清洗管理情況日本有一個公司叫“CIC（CLEANINCLEANROOM）株式會社”是一家專門清洗潔凈工作服的公司，其經營范圍遍跡日本四個島，90%以上潔凈工作服均交給“CIC”清洗。我們去參觀時見到，潔凈工作服洗滌間是一個100級層流潔凈室，洗滌時先用干洗，洗滌劑是經0.2μm濾膜過濾的全氯乙烯（或三氯乙烯），主要是去油跡，干洗后再用純水和專用中性洗滌劑進行水洗，然后用經高效過濾器過濾的熱風吹干。洗后的衣服在專用的（帶抽風的）工作臺上熨平、折疊、裝袋。為了滅菌，塑料袋內充環氧乙烷，滅菌后的環氧乙烷會自己釋放掉。若有破損處事先還進行縫補……。最后這些裝在密封塑料袋中的潔凈工作服又按規定裝在密封的塑料箱中外運，這些工作都在100級潔凈室內進行。密封的塑料箱按省、市、縣、區、廠、班、組進行編號，以免搞錯。在使用工作服的工廠每個使用者都有三套工作服，其中一套穿在身上，一套交去清洗，一套備用。潔凈工作服的全部清洗過程包括：取待洗的臟衣服，送洗后的干凈衣服等全部由“CIC”負責，不讓用戶操心，而且管理得井井有條，非常規范。“CIC”還有一個實驗室，實驗室有很完善的測試手段，定期對洗滌的每一批潔凈工作服進行抽樣測試，以保證潔凈工作服的洗滌質量。從洗滌質量、管理規范和清洗成本等方面，這種管理和洗滌方法遠比分散到各個使用廠自己清洗要好得多。因此，建議：最好在我國的長江三角洲、珠江三角洲、北京、天津環渤海等三個經濟發達、高科技企業集中的地區分別設立類似“CIC”這樣的“潔凈服清洗和管理公司”不僅會有很好的效益，而且對潔凈工作服的使用單位、對社會、對環保都有好處。（五），潔凈區廁所的設置：1，在我國“潔凈廠房設計規范”GB50073-2001中規定“潔凈區內不宜設廁所，人員凈化用室內的廁所應設前室”；在人員凈化程序圖中，將廁所設在門廳內換鞋區之前，其目的是避免廁所對潔凈區帶來污染。這一設置位置會給潔凈室內作業人員上廁所帶來很大的麻煩，要上廁所由潔凈室出來要經過更衣