ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國國家標準

GB/T40418—2021

電子特氣氟甲烷

Electronicspecialtygas—Fluoromethane

2021-08-20發(fā)布2022-03-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T40418—2021

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位浙江省化工研究院有限公司昊華氣體有限公司中船重工邯鄲派瑞特種氣體

:、、()

有限公司衢州氟硅技術研究院中化藍天氟材料有限公司福建久策氣體股份有限公司廣東華特氣體

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股份有限公司天津綠菱氣體有限公司江西華特電子化學品有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司

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上海申南特種氣體有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司大連大特氣體有限公司上海凡偉儀器

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設備有限公司聯(lián)雄投資上海有限公司沈陽中復科金壓力容器有限公司浙江東開半導體科技有限

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公司和立氣體上海有限公司昆明廣瑞達特種氣體有限責任公司西南化工研究設計院有限公司西

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南化工研究設計院有限公司武漢分公司西南化工研究設計院有限公司雙流分公司

、。

本文件主要起草人史婉君張建君方小青孫福楠付夢月侯玲玲鄭秋艷董云海譚慧

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褚人財顏光清何經余曹素英傅鑄紅陳艷珊馬建修程緊葉相平王新喜孫猛陳潔吳靚方華

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孫赟瓏何波黃小強黃輝宮兵王大為易達文李陽梁永強梁成科高靜吳克安白占旗徐嬌

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葉樹全賴曉峰方艾黎周鵬云張亮

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Ⅰ

GB/T40418—2021

電子特氣氟甲烷

1范圍

本文件規(guī)定了電子級氟甲烷的技術要求檢驗規(guī)則試驗方法標志包裝運輸及貯存的要求

、、、、、。

本文件適用于由工業(yè)氟甲烷提純制備的電子級氟甲烷

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標志

GB190

化學試劑標準滴定溶液的制備

GB/T601

化學試劑試驗方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

工業(yè)用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

所有部分鋼質無縫氣瓶

GB/T5099()

氣體分析微量水分的測定第部分電解法

GB/T5832.11:

分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法

GB/T6682

氣瓶顏色標志

GB/T7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB/T16804

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

大容積鋼質無縫氣瓶

GB/T33145

移動式壓力容器安全技術監(jiān)察規(guī)程

TSGR0005

氣瓶安全技術規(guī)程

TSG23

3術語和定義