標準解讀
《GB/T 31227-2014 原子力顯微鏡測量濺射薄膜表面粗糙度的方法》是一項國家標準，專門針對使用原子力顯微鏡（AFM）技術來測定濺射薄膜材料表面粗糙度的過程提供了詳細的指導。該標準適用于各種通過物理氣相沉積方法制備的濺射薄膜樣品，旨在為科研人員及工業界提供一個統一且準確的測試平臺。
根據標準內容，首先明確了適用范圍，即本標準所涵蓋的具體領域和對象；接著對術語進行了定義，包括但不限于“表面粗糙度”、“原子力顯微鏡”等關鍵概念，確保了行業內對于這些專業詞匯有一致的理解基礎。此外，還詳細介紹了實驗所需儀器設備的基本要求，比如AFM的工作模式選擇、探針規格等，并給出了具體的操作步驟說明，從樣品準備到數據采集再到結果分析都有明確指示。
在樣品制備方面，強調了需要保證待測表面清潔無污染，并且推薦了一定條件下進行預處理以提高測量準確性。關于數據處理部分，則是基于國際通用算法對獲取的數據進行分析，計算出平均粗糙度值Ra以及其他相關參數。同時，也提到了如何評估測量不確定度以及重復性與再現性的控制方法。
整個過程強調了標準化操作的重要性，通過規范化的流程設置來減少人為因素造成的誤差，從而能夠更客觀地反映濺射薄膜的真實表面特性。
如需獲取更多詳盡信息，請直接參考下方經官方授權發布的權威標準文檔。
....
查看全部
- 現行
- 正在執行有效
- 2014-09-30 頒布
- 2015-04-15 實施
文檔簡介
ICS1704020
J04..
中華人民共和國國家標準
GB/T31227—2014
原子力顯微鏡測量
濺射薄膜表面粗糙度的方法
Testmethodforthesurfaceroughnessbyatomicforcemicroscope
forsputteredthinfilms
2014-09-30發布2015-04-15實施
中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布
中國國家標準化管理委員會
GB/T31227—2014
前言
本標準按照給出的規則起草
GB/T1.1—2009。
本標準由中國科學院提出
。
本標準由全國納米技術標準化技術委員會歸口
(SAC/TC279)。
本標準起草單位上海交通大學納米技術及應用國家工程研究中心
:、。
本標準起草人李慧琴梁齊路慶華何丹農張冰
:、、、、。
Ⅰ
GB/T31227—2014
引言
濺射技術因其能夠使材料均勻致密并且大面積地按照合適的比例鍍在基體表面上而得到廣泛運
,
用形成的薄膜表面粗糙程度對其光電性能具有很大影響由于其粗糙度一般處于納米尺度但目前
,、。,
已有的國家標準和國際標準都是大于微米尺度的測量方法標準不適用這種材料表面粗糙度的測量
,。
原子力顯微鏡利用一尖銳探針接觸到樣品表面得到表面的高度信息達到了縱向上優于橫向
,,0.1nm,
上優于的分辨率用原子力顯微鏡來測量濺射薄膜的表面粗糙度平均標準偏差可以達到
1nm。,1nm,
因而適合這種薄膜表面粗糙度的測量
。
Ⅱ
GB/T31227—2014
原子力顯微鏡測量
濺射薄膜表面粗糙度的方法
1范圍
本標準規定了使用原子力顯微鏡測量表面粗糙度的方法
(AFM)。
本標準適用于測量濺射成膜方法生成的平均粗糙度Ra小于的薄膜
、100nm。
其他非濺射薄膜的表面粗糙度的測量可以參考此方法
。
2規范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
利用晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法
GB/T27760—2011Si(111)。
3術語和定義符號和縮略語
、
31術語和定義
.
界定的以及下列術語和定義適用于本文件
GB/T27760—2011。
311
..
原子力顯微鏡atomicforcemicroscope
利用晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法
Si(111)。
312
..
濺射薄膜sputteredthinfilms
利用濺射工藝在某種基體上形成的均勻的膜
。
313
..
探針污染tipcontaminated
探針針尖的表面吸附上了其他物質造成了針尖的污染
,。
32符號和縮略語
.
下列符號和縮略語適用于本文件見表
(1)。
表1符號和縮略語
縮寫和符號說明單位
原子力顯微鏡
AFM(AtomicForceMicroscope)
云母片用于的方向的原子級分辨的校正
Mica,AFMx-y
Ra平均粗糙度
溫馨提示
- 1. 本站所提供的標準文本僅供個人學習、研究之用，未經授權，嚴禁復制、發行、匯編、翻譯或網絡傳播等，侵權必究。
- 2. 本站所提供的標準均為PDF格式電子版文本（可閱讀打?。?，因數字商品的特殊性，一經售出，不提供退換貨服務。
- 3. 標準文檔要求電子版與印刷版保持一致，所以下載的文檔中可能包含空白頁，非文檔質量問題。
評論
0/150
提交評論