標準解讀

《GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片結晶質量測試方法》是一項國家標準，主要針對以GaN為代表的Ⅲ族氮化物材料的外延片結晶質量進行評估。該標準詳細規定了用于評價這些材料結晶性能的各種測試方法及其具體操作流程，旨在為行業內提供統一、準確的質量檢測依據。

標準中涉及的主要測試方法包括但不限于X射線衍射（XRD）、掃描電子顯微鏡（SEM）觀察、原子力顯微鏡（AFM）表面形貌分析等。其中，XRD技術被廣泛應用于測定樣品的晶體結構參數，如晶格常數、位錯密度等；SEM則可以直觀地顯示材料表面及斷面微觀結構特征；而AFM則能夠實現對樣品表面納米級粗糙度的精確測量。

此外，《GB/T 30653-2014》還特別強調了實驗條件控制的重要性，比如溫度、濕度等因素對外延生長過程的影響，并給出了相應的推薦值或范圍。同時，對于每種測試方法的具體實施步驟、數據處理方式以及結果表示形式都做了明確規定，確保不同實驗室之間可以獲得可比性強且重復性好的測試結果。


如需獲取更多詳盡信息，請直接參考下方經官方授權發布的權威標準文檔。

....

查看全部

  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2014-12-31 頒布
  • 2015-09-01 實施
?正版授權
GB/T 30653-2014Ⅲ族氮化物外延片結晶質量測試方法_第1頁
GB/T 30653-2014Ⅲ族氮化物外延片結晶質量測試方法_第2頁
GB/T 30653-2014Ⅲ族氮化物外延片結晶質量測試方法_第3頁
免費預覽已結束，剩余9頁可下載查看

下載本文檔

GB/T 30653-2014Ⅲ族氮化物外延片結晶質量測試方法-免費下載試讀頁

文檔簡介

ICS7704020

H21..

中華人民共和國國家標準

GB/T30653—2014

Ⅲ族氮化物外延片結晶質量測試方法

TestmethodforcrystalqualityofⅢ-nitrideepitaxiallayers

2014-12-31發布2015-09-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T30653—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位中國科學院半導體研究所

:。

本標準主要起草人孫寶娟趙麗霞王軍喜曾一平李晉閩

:、、、、。

Ⅰ

GB/T30653—2014

Ⅲ族氮化物外延片結晶質量測試方法

1范圍

本標準規定了利用高分辨射線衍射儀測試族氮化物外延片結晶質量的方法

XⅢ。

本標準適用于在氧化物襯底等或半導體襯底等上外延生長的

(Al2O3、ZnO)(GaN、Si、GaAs、SiC)

氮化物單層或多層異質外延片結晶質量的測試其他異質外延片結晶質量的測試也可

(Ga、In、Al)N。

參考本標準

。

2術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

21

.

對稱衍射symmetricdiffraction

入射束和反射束相對于樣品晶面法線處于對稱位置入射角與反射角相等時發生的衍射

,。

22

.

非對稱衍射asymmetricdiffraction

若衍射晶面與樣品表面有個夾角χ入射束和反射束相對于樣品晶面法線處于非對稱位置入射角

,,

與反射角不相等時發生的衍射

。

23

.

斜對稱衍射skewdiffraction

入射束和反射束相對于樣品表面法線處于對稱位置而衍射晶面相對于樣品表面有個傾斜角χ此

,,

時發生的衍射為斜對稱衍射

。

24

.

螺型位錯screwdislocation

一個晶體的某一部分相對于其余部分發生滑移原子平面沿著一根軸線盤旋上升每繞軸線一周

,,,

原子面上升一個晶面間距在中央軸線處即為一螺型位錯

。。

25

.

刃型位錯edgedislocation

晶體在切應力的作用下一部分相對于另一部分沿一定的晶面滑移面和晶向滑移方向產生位

,()()

移從而形成多余半原子面也就形成了刃型位錯

,,。

26

.

搖擺曲線rockingcurve

把探測器固定在樣品hkl晶面的θ位置探測器前不加狹縫試樣在衍射位置附近以θ角度搖

()2B,,Δ

擺衍射強度會隨著角度而發生變化記錄得到的衍射強度與ω的關系曲線

,,。

3符號

下列符號適用于本文件

溫馨提示

  • 1. 本站所提供的標準文本僅供個人學習、研究之用，未經授權，嚴禁復制、發行、匯編、翻譯或網絡傳播等，侵權必究。
  • 2. 本站所提供的標準均為PDF格式電子版文本（可閱讀打印），因數字商品的特殊性，一經售出，不提供退換貨服務。
  • 3. 標準文檔要求電子版與印刷版保持一致，所以下載的文檔中可能包含空白頁，非文檔質量問題。

評論

0/150

提交評論