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文檔簡介

東旭鉑金通道組

MEC系統操作說明通道的MEC系統主要是為通道外體和坩堝之間提供一個穩定可控的環境，目的是通過調節通道環境氛圍，減少通道氣泡的產生。設備組成：該系統主要由氮氣氧氣氣源、緩沖水箱、混合氣體配比柜、高精度混合氣體計量柜、高精度定量給水柜、混合氣體輸送管道、輸水毛細管道、氣體擴散管等組成。主要提供水和氮氣、氧氣，并將其按照設定的比例輸送至通道本體內部特定的位置。如下圖所示：

一、系統概況

該系統對水、氣的控制提供了本地和遠程兩套控制系統，可以對任何一個支路中供水量和供氣量進行單獨調控，供水供氣系統均可由三樓電腦遠程控制和四樓控制盤本地控制。系統開機順序先是打開三樓電腦，然后四樓將開關打開。關機順序則是先將三樓電腦關掉，然后四樓將開關關掉。順序不可打亂，否則系統將無法正常運行。無論本地控制盤還是遠程計算機控制，開機后都是一個通道整體圖。點擊翻頁鍵可以切換控制界面，進入該部分的單獨控制界面。F1和F8分別是進入（上翻）和退出（下翻）鍵，其他控制鍵無效。通過現場的觸控屏或者控制室遠程電腦可以通過單個回路界面，控制單個水泵的供水和氣體計量的供氣量。如下圖所示

純水控制系統由15路支路組成，加1路備用。純水由主要由定量水泵通過擠壓提供動力使水從微細管流出，流量通過調節轉速來控制，轉速以開度表示。如圖

二、純水控制系統

安裝或更換安裝或更換安裝或更換安裝或更換安裝或更換氣體控制系統由26路支路組成，分別供應到從提升段到供料段的混合氣體流量。另加備用一路。氮氣氧氣配比主要通過高精度混合氣體配比柜控制，柜面板上有各種壓力表和指示燈以及調節旋鈕，壓力表指示出了進口和出口以及控制壓力，指示燈指示出了該柜子的工作狀態，在線氧含量監測儀實時指示出口混合氣體中氧氣含量，氧含量的調整通過控制旋鈕手動調整。供氣系統由配比柜調節氣體比例，如圖

三、氣體控制系統

配比柜和氧氣氮氣罐相連。通過減壓閥將氧氣罐和氮氣罐壓力穩定在6公斤，過高或者過低配比柜都會報警。配比柜箱平時開一備一，操作上需要先打開Power開關預熱到750℃，達到設定溫度后打開電源開關。通過調整氧氣調節閥和Flow旋鈕調節混合氣的比例。下圖為在線氧含量監測儀實時指示的出口混合氣比例的顯示界面上圖為配比柜的控制界面。我公司設定的氧氣比例在1±0.1%

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