1、傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術1.變換原理變換原理: 將被測量的變化轉化為電容量變化將被測量的變化轉化為電容量變化兩平行極板組成的電容器兩平行極板組成的電容器, ,它的電容量為它的電容量為: :+S 當被測量當被測量、S或或發生變化時，都會引起電容的變化。發生變化時，都會引起電容的變化。如果保持其中的兩個參數不變，而僅改變另一個參數，如果保持其中的兩個參數不變，而僅改變另一個參數，就可把該參數的變化變換為單一電容量的變化。就可把該參數的變化變換為單一電容量的變化。 SSCr0 傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術2 分類分類 電容式

2、傳感器電容式傳感器 c) c) 介質變化型介質變化型AC0a) a) 極距變化型極距變化型; ;+b)b)面積變化型面積變化型: :角位移型角位移型, ,平面線位移型平面線位移型, ,柱面線位移型柱面線位移型. .+傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術 SSCr0 傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術 0000CCSC00 SC 302003020000)()()()(1( CC00 CC電容微位移計傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術2000 SCCK %100/)/(0020 L傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術)()(250300021 CCCC002 CC%100/)/(20030 L002 CCK

3、 傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術220RSC)1 (2)(02CRC000CK傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術 abSC 0)1()(0axCxabCx baCdxdCK0靈敏度靈敏度傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術)/ln(212rrlC llCrrlrrllrrlC 0121212)/ln(2)/ln()(2)/ln(2 傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術)/ln()(2)/ln(221221rRhhrRhC )/ln(2112rRhC 12112112121.)/ln()(2)/ln(2)/ln(2)/ln()(2KhArRhrRhrRhrRhhCCC傳感

4、器與檢測技術傳感器與檢測技術1100110011001010 ddSdSdSdSdSCCCCC 傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術（1 1初態時：電橋調整到初態時：電橋調整到平衡狀態，此時平衡狀態，此時C1C3=C2CXC1C3=C2CX，Uo=0Uo=0。 傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術UCCCCUZZZZUUZZZUUUC21212112212202)(1)(1222111CCjZCCjZ00UUCCU00傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術21CC 0C00UCCC01CCC02UCCU00傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術SCUUSCCCZZUUOxxO000

5、0傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術 21 210RioRRRRRiNiXNUUUUUUUUUUUCCUwiixoUSCUCCU12112100傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術HBPHAPUTTTUUTTTU212211fHHUUUCRTln111fHHUUUCRTln222傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術221122112121CRCRCRCRUTTTTUUUUHHBPAPOHOUCCCCU2121HUCCUO021RRRCCC01CCC02傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術HHHoUUUCCCCU21122121傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術HHHoUSSUSSSSUCCCCU21212121傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術傳感器