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文檔簡介

1、缺點：伺服控制和速度規劃分開實現，無法用速度規劃的信息做前饋控制，伺服響應較慢，單軸跟隨誤差大各軸伺服控制分開實現，無法自動實現各軸伺服響應的匹配，得到高精度的軌跡控制。無法補償反向摩擦力無法主動消除軌跡誤差無法進行耦合控制，實現高同步的龍門控制減小單軸跟隨誤差對減小輪廓誤差有作用，但是也有很多限制。例如上圖中，同時減小XY的跟隨誤差后，其輪廓誤差并沒有明顯減少，反倒有可能增大。平且一味的減少單軸跟隨誤差還有可能導致系統太靈敏而不穩定。變增益交叉耦合控制：以減小軌跡誤差為目標的控制算法直線電機優點（無鐵芯無刷直線電機）高精度：（無傳動誤差，高分辨率光柵尺，全閉環控制）定位精度（4um）、重復定

2、位精度（1um）高速度：高達5m/s （300m/min）高加速度：可達5G高剛性（動態響應快），直線電機系統的單軸跟蹤誤差比傳統旋轉電機可以小10倍以上無反向間隙無磨損，壽命長直線電機及驅動器相關品牌中國大陸：大族、華嶺、維納、同日等中國臺灣：Hiwin等美國：Parker、Copley、GlenTek等以色列：Elmo、Megafabs德國：西門子、路斯特（LST）等日本：安川、松下等新加坡：PBA直線電機選型（引用華嶺機電資料）直線電機選型還要注意溫升（冷卻）工作電流行程霍爾元器件（沒有霍爾，上電需要驅動器尋找磁場相序）調試時與旋轉電機注意：調試時與旋轉電機注意：電機類型選：直線電機輸入直線電機最大速度沒有霍爾的直線電機，sv on時會來回動一下，以搜尋磁場相序把直線電機模型參數輸入驅動器（例如：電機電感、電阻、最大平均電流、負載質量等）先優化驅動器電流環（一般帶寬可達到2000-3000HZ）然后優化驅動器速度環最后調整FSCUT4000的PID參數，使

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