機器人驅動及控制第5章微型機器人壓電電動機驅動及控制●學習目標了解微型壓電電動機的發展簡史了解微型壓電電動機的特點及應用掌握微型壓電電動機的驅動機理掌握行波型超聲電機機理和運行特性掌握行波型超聲電機驅動控制方法了解新構型壓電電機工作原理了解壓電電機在關節機器人中應用01020304050607

傳統電磁電機由于受工作原理和結構型式限制已無法滿足微型機器人所需驅動器具有的能耗低、易于微型化、位移和力輸出較大、動作響應快、線性控制性能好等技術要求。

利用壓電陶瓷逆壓電效應使彈性體產生振動的壓電電機因具有設計靈活、結構緊湊、低速大轉矩、低噪聲和不產生磁場、也不被外界磁場干擾等優點，已成為當前包括微型機器人在內的機電驅動和控制領域的研究熱點。5.1概述壓電電機不像傳統電磁電機利用電磁力而是利用壓電陶瓷的逆壓電效應和振動來獲得運動和力矩，將材料的微觀變形通過機械共振放大和摩擦耦合轉換成轉子（或動子）的旋轉（或直線）運動。壓電電動機定義2025/2/125.1概述5.1.1發展簡史

1942年，美國學者首次申請了專利，揭示了基本原理，進入了電機研究萌芽階段。

1972年，德國西門子和日本松下電器公司研制出具有應用前景的壓電超聲電動機。

1987年，日本佳能公司將環狀行波壓電超聲電機應用于相機自動調焦系統，標志著壓電超聲電動機正式走向實際應用階段。

1990年，清華大學申請了國內首項超聲電機的發明專利，從此進入了快速發展時期。

1995年，南京航空航天大學成功研制出首臺具有應用前景的環形壓電行波超聲電機。2025/2/12

5.1.2壓電電動機特點

優點

結構緊湊、設計靈活。結構簡單，易于微型化和多樣化。選用合適壓電陶瓷材料和摩擦材料，可在低溫、高溫和真空等極端條件下工作。

環境適應性強。沒有磁極和繞組，利用壓電陶瓷逆壓電效應、超聲振動和摩擦耦合來轉換動力；工作時不產生磁場，也不受外界磁場影響，抗電磁干擾性強。

定位精度高、響應速度快。依靠定子產生微米級振幅來驅動轉子旋轉，響應速度快，沒有游隙和回程間隙，系統可達到微米級的定位精度。

低速、大扭矩。不存在減速機構，可直接驅動，提高了傳動效率，降低了能耗和傳動誤差。單位體積上輸出扭矩較大，一般為傳統電磁電機的10倍左右。5.1概述2025/2/12

5.1.2壓電電動機特點

缺點

輸出功率較小。壓電電機及其控制系統輸出功率較小，難以制造出輸出功率1kW以上的壓電電機，目前，旋轉行波型壓電超聲電機輸出功率小于50W。

壽命較短。大多數的壓電電機通過定、轉子間的摩擦傳遞能量，摩擦界面磨損嚴重。此外，壓電陶瓷在高頻振動下會產生疲勞損壞，特別是在電機功率較大和溫度較高時疲勞損傷更為嚴重。

價格昂貴。壓電陶瓷作為一種智能材料，其工藝精度要求較高，且電機的集成控制電路成本較高，使得壓電電機及壓電系統在應用中的性價比還不高。只有在一些特殊的場合，性價比才得以呈現。5.1概述2025/2/12

5.1概述5.1.3壓電電動機分類轉子轉動機理行波型壓電電動機定子中產生的行走橢圓運動推動轉子，屬于連續驅動方式駐波型壓電電動機做固定橢圓運動的定子推動轉子，屬于間斷驅動方式結構和轉子運動形式旋轉型壓電電動機直線型壓電電動機轉子運動自由度單自由度壓電電動機多自由度壓電電動機彈性體和移動體接觸情況接觸式壓電電動機非接觸式壓電電動機2025/2/12

5.1概述5.1.4壓電電動機應用

航空航天領域。壓電電機自身不產生磁場，也不受磁場干擾，電磁兼容性好，勝任太空輻射、太陽磁暴和極端溫度變化等惡劣、極端的工作環境，結構易于微型化和多樣化，是空間探測器的理想動力驅動器。2025/2/12

5.1概述5.1.4壓電電動機應用

照相機調焦系統。日本佳能公司將超聲波電動機成功應用到EOS系列照相機鏡頭中。尼康公司和奧林巴斯公司也均將超聲波電動機應用到自己的產品中。具有調焦時間短、噪聲低、定位精度高、體積小和重量輕等優點。2025/2/12

5.1概述5.1.4壓電電動機應用

機器人關節驅動。隨著人工智能的發展，機器人手臂越來越向輕型化、柔性化、低剛度和定位精確化方向發展，以實現自如的活動。以往驅動裝置多采用電磁電機或液壓裝置驅動，配套件復雜，增加了手臂的體積和重量，不利于機器人向微型化方向發展。2025/2/12

5.1概述5.1.4壓電電動機應用

精密定位裝置和隨動系統。超聲波電機響應速度快，當位置傳感器檢測到目標位置信號的瞬間，切斷電源，電機立即停止工作，定位精確，開環控制即可實現較高的精密定位。超聲波電機用于精密定位裝置，啟、停響應速度快的特點很適合隨動系統。

掃描電子顯微鏡試料架的驅動。掃描電子顯微鏡試料架位置采用超聲波電動機直接驅動，省掉了復雜的傳動機構，減小了手動誤差，使定位更加精確。2025/2/125.1概述5.1.4壓電電動機應用

生物醫療領域。磁共振兼容設備基于靜態磁場工作，這些設備在靜態磁場中工作時不應產生電磁干擾。超聲波電機因具有不產生磁場、也不受外界磁場所干擾的特性，不會對成像過程造成干擾，在該領域已成功商業化。

汽車領域。德國奔馳將超聲電機用于驅動汽車車窗或調整座椅。日本豐田將超聲電機用于豪華轎車上操縱后視鏡和座椅頭靠。2025/2/125.2微型壓電電動機驅動機理

5.2.1壓電效應概述

壓電顧名思義就是當外力使材料發生形變時隨之發生的發電現象。

當晶體受到某固定方向外力作用時，內部產生電極化現象，同時在某兩個表面上產生符號相反的電荷；當外力撤去后，晶體又恢復到不帶電狀態；當外力作用方向改變時，電荷極性也隨之改變。這一現象稱為壓電效應或正壓電效應。

反之，若在晶體上施加電場，從而使該晶體產生電極化，同時也將產生應變和應力，當電場撤去時，這些變形或應力也隨之消失，這就是逆壓電效應。

壓電電動機就是利用逆壓電效應進行工作的。2025/2/125.2微型壓電電動機驅動機理

5.2.1壓電效應概述

自然界中大多數晶體具有壓電效應，但壓電效應十分微弱。通常把明顯呈現壓電效應的敏感功能材料叫作壓電材料。

壓電材料分為壓電晶體和壓電陶瓷兩大類，其中壓電陶瓷是制造壓電電機的重要材料。

箭頭方向為壓電陶瓷極化方向。當壓電材料上下表面施加正向電壓，即形成上正下負電場，則壓電材料在長度方向伸長，高度方向收縮；反之，若施加反向電壓，則會在長度方向收縮，高度方向伸長。

在壓電體表面施加交變電場時，壓電體就會激發出某種模態的彈性振動。外加電場交變頻率與壓電體機械諧振頻率相同時，壓電體就進入諧振狀態，稱為壓電振子。

當振動頻率高于20kHz時，就進入超聲振動狀態。2025/2/125.2微型壓電電動機驅動機理

5.2.2橢圓運動及作用

超聲振動是超聲波電動機工作的基本條件，起驅動源作用。但并不是任意超聲波振動都具有驅動作用，必須具備一定的形態，即振動位移的軌跡是一個橢圓時，才具有連續的定向驅動作用。

靜止狀態下定子與轉子表面有一微小間隙。定子產生超聲振動時，其上的接觸摩擦點A做周期性運動，軌跡為一橢圓。

A點運動到橢圓上半圓周時與轉子表面接觸，通過摩擦撥動轉子旋轉；

A點運動到橢圓下半圓周時與轉子表面脫離，并反向回程。

如果這種橢圓運動連續不斷地進行下去，則對轉子就具有連續定向的撥動，從而使轉子連續不斷地旋轉。2025/2/125.2微型壓電電動機驅動機理

5.2.2橢圓運動及作用

φ=nπ(n=0,±1,,±2)時，兩位移同相運動，合成軌跡為一直線。

φ≠nπ時，軌跡為一橢圓。且φ=nπ±π/2時，軌跡為規則橢圓。

相位差φ的取值決定了橢圓運動的旋轉方向，φ＞0時，橢圓運動為順時針方向；φ＜0時，橢圓運動為逆時針方向。

橢圓運動旋轉方向決定了定子對轉子的撥動方向，也就決定了超聲波電機的轉向。

若在空間有兩個相互垂直簡諧運動形成的振動位移ux和uy，振動角頻率為w，振幅為和，時間相位差為φ，則有消去時間整理得2025/2/125.3行波型超聲波電動機

5.3.1電動機結構

環形行波型超聲波電機由下端蓋、定子、轉子、上端蓋、軸承、碟簧和輸出軸組成。

核心是由壓電陶瓷和彈性體組成的定子和與定子接觸的接觸面粘有摩擦材料的轉子。

定子和轉子均為一薄圓環結構，整個電動機呈現扁圓環形結構。

定子上端面開有一圈梳狀齒槽，下端面通過粘接劑粘有環狀壓電陶瓷片，定、轉子之間依靠碟簧形變所產生的軸向壓力壓緊在一起。2025/2/125.3行波型超聲波電動機

5.3.1電動機結構

壓電陶瓷按下圖極化，即可產生兩個在時間和空間上都相差90°的駐波。

壓電陶瓷環極化為A、B兩個相區，為驅動的兩相電極；兩相區之間有λ/4的S區域未極化，利用正壓電效應實時產生反映定子振動狀態的反饋信號作為控制驅動電源的輸出頻率。

另有3λ/4區域作為A、B相區公共區。每隔λ/2沿厚度方向極化。相鄰兩個分區極化方向相反，分別以“+”“-”表示，電壓激勵下，一段收縮，另一段伸長，構成一個波長為λ的彈性波。2025/2/12

5.3行波型超聲波電動機5.3.2工作原理定子行波的產生

將極化方向相反的壓電陶瓷片粘貼于彈性體上，壓電陶瓷施加交變電壓時，產生交替伸縮形變，在一定電壓和頻率作用下，彈性體產生駐波，用方程表示為A、B區駐波在時間和空間上分別相差90°，方程為在彈性體中，兩列駐波疊加可得2025/2/12

5.3行波型超聲波電動機5.3.2工作原理定子表面質點運動軌跡

定子A區和B區施加對稱周期性激勵電壓，在定子圓環表面圓周上形成行波。行波的振幅比其波長小得多，彈性體彎曲角度φ很小，z方向位移近似為彈性體厚度h，h0=h/2。彈性體表面任一點P在彈性體未撓曲時的位置為P0，從P0到P在z方向的位移為從P0到P在x方向位移為2025/2/12

5.3行波型超聲波電動機5.3.2工作原理定子表面質點運動軌跡

彈性體表面任意一點P按橢圓軌跡運動，使表面質點對移動體產生驅動力，且運動方向與行波傳播方向相反。彈性體彎曲角度φ為整理得x方向的位移近似為

彈性體制成環形結構，受到壓電陶瓷激勵產生逆時針彎曲行波時，表面質點呈現順時針方向橢圓旋轉運動。

在摩擦力的驅動下，轉子壓緊在彈性體表面就會轉動起來。

為增大定、轉子接觸處的振動速度，定子表面開槽，提高超聲波電機的轉換效率，改善電機的性能。2025/2/12

5.3行波型超聲波電動機5.3.3轉子運動速度

調節激振頻率可以調節電動機轉速。保持兩相駐波等幅的前提下，忽略激勵電壓的非線性對壓電陶瓷應變的影響，改變駐波振幅，即調節壓電陶瓷的激勵電壓，可以做到線性調速，這是調壓調速的一大優點。彈性體表面質點沿x方向運動速度為沿x方向的運動速度在行波的波峰和波谷處最大。最大速度為“-”表示移動體運動方向與行波行進方向相反。若定、轉子之間沒有滑動，且轉子表面與定子振動波形相切，則轉子速度=橢圓最高點的運動速度。實際上，定子與轉子表面存在滑動，電機轉子的實際速度<假設行波移動速度v為常數，由行波特點上式可得f

為電動機的激勵頻率。2025/2/12

5.3行波型超聲波電動機5.3.4電動機運行特性

運行特性主要是指轉速、效率和輸出功率等與輸出轉矩之間的關系。這些特性與電機類型和控制方式有關。

機械特性與直流電機相似，但電機轉速隨轉矩的增大快速下降，并且明顯呈現出非線性的變化趨勢。

效率特性與直流電機明顯不同，最大效率出現在低速、大轉矩區域，故超聲波電動機適合低速運行。

效率較低，環形行波型超聲波電機效率一般不超過45%。2025/2/125.4行波型超聲波電動機驅動與控制5.4.1驅動控制方法

電壓幅值控制改變電壓幅值可以直接改變行波的振幅。但是電壓過低，壓電元件有可能不起振，電壓過高又會接近壓電元件的工作極限，實際應用中一般不采用調壓調速方案。

變頻控制調節諧振點附近的頻率可以調節電動機的轉速和轉矩，頻率控制對超聲波電機最為合適。由于電動機工作點在諧振點附近，故調頻具有響應快的特點。但是電動機工作時由于諧振頻率的漂移，控制系統要有自動跟蹤頻率變化的反饋回路。2025/2/125.4行波型超聲波電動機驅動與控制5.4.1驅動控制方法

相位差控制改變兩相電壓的相位差，可以改變定子表面質點的橢圓運動軌跡，從而改變電動機的轉速。但是這種控制方法低速啟動困難，驅動電源設計較復雜。

正反脈寬調幅控制調節電動機正反脈寬比例（占空比）即可實現速度控制。

在以上四種控制方式中，由于變頻控制響應快、易于實現低速起動，應用得最多。2025/2/12

5.4行波型超聲波電動機驅動與控制5.4.2驅動控制電路

超聲波電動機驅動控制電路主要由高頻信號發生電路、移相電路、功率放大電路和頻率自動跟蹤電路四部分組成。

驅動控制電路為超聲波電機提供一定幅值、相位差90°的高頻激勵電壓信號。

高頻信號發生電路是驅動電路的核心。用于產生超聲頻率的激勵信號。

超聲頻率信號可以由諧振電路、計算機控制的定時計數器和壓控振蕩電路等多種方法產生。

為保證超聲波電動機始終在最佳驅動頻率下工作，驅動電源中設置自動頻率跟蹤電路。2025/2/12

5.5其他構型壓電電動機5.5.1駐波型超聲波電動機

定子激勵單純駐波振動，質點做往復直線運動，通過轉換裝置或與其他運動組合，把往復直線運動轉換為橢圓運動，驅動轉子旋轉。

由蘭杰文振子（由兩塊金屬夾持兩片壓電陶瓷元件，并用螺栓緊固在一起）、振子前端的楔形振動片和轉子三部分組成。

振子端面沿長度方向振動，楔形結構振動片的前端面與轉子表面傾斜接觸，誘發振動片前端向上運動，形成橫向共振。

縱、橫向振動的合成使振動片前端質點的運動軌跡近似為橢圓，滿足超聲波電機運動的形成機理。

楔形超聲波電機以縱振動為驅動力，前端振動片在驅動力作用下橫向彎曲振動，從而撥動轉子旋轉。

楔形超聲波電動機2025/2/125.5其他構型壓電電動機5.5.1駐波型超聲波電動機

定子由兩個獨立的振子組成。縱振子控制定子與轉子之間的摩擦力，扭振子控制輸出轉矩。縱向振動和扭轉振動在定子彈性體合成為質點的橢圓運動。

一個振動周期，當定子做伸長縱向運動時，定子與轉子接觸，扭轉振子的運動通過摩擦力傳遞給轉子，以輸出轉矩。當定子做縮短縱向運動時，定子與轉子脫離，定子相反方向的扭轉運動不傳遞給轉子，保證轉子單方向旋轉。

兩種復合運動可以獨立控制，電機輸出轉矩大，工作穩定，可雙向旋轉。

縱扭復合型超聲波電動機2025/2/125.5其他構型壓電電動機5.5.2直線型超聲波電動機

利用兩個蘭杰文振子作為激振器和吸振器的結構型式。

激振器上外加激勵電壓產生逆壓電效應，使梁振動。此時吸振器受到梁的振動產生正壓電效應，所產生的能量消耗在與之相連的負載上。

當吸振器能很好地吸收激振器傳來的振動波時，有限長直梁就好像變成了半無限長直梁，形成單向行波。

與環形行波型超聲波電機工作原理相同，梁表面質點做橢圓運動，驅動移動體做直線運動。

激振器和吸收器調換位置，形成反向行波，實現反向運動。2025/2/125.5其他構型壓電電動機5.5.3多自由度超聲波電動機

在高性能機器人的柔性關節、人形機器人的髖關節和全方位仿生運動的球形關節等應用場合，要求輸出軸能全方位運動，即要求有多個自由度的電動機驅動。

兩自由度球形超聲波電動機

主要由一個球形轉子和兩個定子組成。

定子與行波型超聲波電機定子類似，但端面加工成內凹球面，以便與球形轉子保持良好接觸。

定子位于空間不同位置，每個定子可驅動球形轉子繞相應軸線旋轉，故電動機有兩個自由度。2025/2/125.5其他構型壓電電動機

三自由度超聲波電動機5.5.3多自由度超聲波電動機

電機定子為圓柱體，轉子為球體。

定子采用螺桿結構，把金屬彈性體和3組6片壓電陶瓷元件及電極片夾持在一起。

彎曲振子的壓電陶瓷元件分割為兩部分，相互反向極化。壓電陶瓷按極性相反順序兩兩疊合為一組。

為激發正交彎曲振動模態，兩彎曲振動陶瓷元件在空間相位差90°，即U、V兩組激發彎曲振動，W組激發縱向振動。

質點彎曲振動與縱向振動合成為橢圓運動，兩個彎曲振動合成行波，因此任意兩組壓電陶瓷通電都可以驅動球形轉子沿相應軸線轉動，電機的運動為兩兩正交的三自由度。2025/2/125.5其他構型壓電電動機5.5.4桿式壓電電動機

將壓電驅動、諧波傳動和活齒傳動集成于一體，利用活齒嚙合取代定、轉子之間的摩擦力來驅動轉子旋轉，減小摩擦和磨損，提高電動機的工作效率和使用壽命。

壓電陶瓷片組驅動型

由電機定子（提供動力）和活齒傳動系統兩部分組成。

定子包括上配重塊、下配重塊和壓電陶瓷片組。陶瓷片組通過定子上、下配重塊上的螺紋連接并壓緊。

活齒傳動系統主要由激波器（柔輪）、活齒架、活齒和中心輪組成。2025/2/125.5其他構型壓電電動機2025/2/12

壓電陶瓷片組由5片壓電陶瓷片、3片接電片和2片地極片組成。每片陶瓷片表面鍍銀，上表面分兩個區，一個正向極化，另一個反向極化，下表面不分區為全電極。

當極化方向與所加電壓的電場方向一致時，此分區產生伸長變形，反之將產生壓縮變形。

每片陶瓷片在交變電壓產生的交變電場作用下，若其頻率接近定子的一階彎曲共振頻率時，將使定子上配重塊產生彎曲共振。

取4片陶瓷片，將其分為U相和V相兩組。

壓電陶瓷片組驅動型5.5其他構型壓電電動機

當定子中的壓電陶瓷片組U相和V相同時施加同頻、同幅的正弦和余弦交變電壓（其頻率接近定子一階彎曲共振頻率）時，定子將產生左右和前后方向的彎曲共振模態，這兩個共振模態的合成使定子上端圓周面呈現出一階勻速旋轉彎曲共振模態。

反饋相利用壓電陶瓷片的正壓電效應產生的交變電壓，作為反饋電壓對電機定子彎曲狀態進行檢測和對電機速度進行控制，從而使電機轉速趨于穩定。2025/2/12

壓電陶瓷片組驅動型5.5其他構型壓電電動機

定子彎曲經與之配合的柔輪放大后，柔輪對活齒將產生徑向推力，迫使與中心輪嚙合的活齒在沿活齒架均布的徑向導槽移動的同時，也沿著中心輪工作齒廓滑滾。

活齒架的徑向導槽推動活齒架以等角速度轉動，帶動與之固連的輸出軸旋轉。

與中心輪非嚙合的活齒，在活齒架均布的徑向導槽反推作用下，順序地返回工作起始位置。

傳動系統完成了由定子彎曲運動到輸出軸轉動的轉換過程。2025/2/12

壓電陶瓷片組驅動型5.5其他構型壓電電動機

若用ns

表示柔輪旋轉速度，nR

表示活齒架旋轉速度，O表示活齒架旋轉中心，O’表示柔輪幾何中心，則壓電陶瓷片組驅動型桿式壓電電動機運動見右圖。

壓電陶瓷片組驅動型2025/2/12

5.5其他構型壓電電動機2025/2/12

由驅動部分和傳動部分構成。驅動部分包括壓電疊堆、彈性體、擺動體和調整彈簧，傳動部分包括波發生器、中心輪、活齒架和活齒。

壓電疊堆驅動型

壓電疊堆驅動型

由兩個互為90°布置于下殼體內側的壓電疊堆提供動力。

未工作時，各零件在調整彈簧彈力的作用下緊密接觸，擺動體朝彈性體一側偏移。

工作時，被施加正弦和余弦信號的壓電疊堆產生伸縮變形，作用于彈性體再傳遞給擺動體，實現前后和左右擺動，通過彈性體和擺動體兩級位移放大，與擺動體固連的波發生器圓周形成連續性行波。

波發生器推動活齒沿中心輪齒廓移動，活齒帶動活齒架和轉子發生轉動。5.5其他構型壓電電動機2025/2/125.5其他構型壓電電動機5.5.5旋轉尺蠖壓電電動機

驅動器根據驅動信號頻率可分為準靜態驅動器和超聲驅動器。

尺蠖壓電電動機屬于準靜態驅動器，驅動信號頻率較低。

該電機以壓電疊堆為驅動源，因定子的特殊結構，工作時驅動機構可產生角位移，具有鉗位裝置可調、結構簡單、能夠實現大行程與高精度、高分辨率很好兼容等優點。

基于尺蠖運動機理的壓電電機逐漸應用于高精密測量、微小機器人、精密加工裝配和納米科學儀器等領域。2025/2/125.5其他構型壓電電動機5.5.5旋轉尺蠖壓電電動機

旋轉尺蠖壓電電機主要由軸承、轉子、鉗位機構、壓電疊堆、底板、驅動機構、基座和底座組成。

2025/2/125.5其他構型壓電電動機5.5.5旋轉尺蠖壓電電動機

施加圖(a)時序信號，壓電疊堆1伸長，鉗位機構3頂住轉子。

施加圖(b)時序信號，壓電疊堆5伸長，由于驅動機構利用杠桿位移放大原理，驅動機構7發生彎曲。鉗位機構3帶動轉子9順時針轉過一定角度θ。

2025/2/125.5其他構型壓電電動機5.5.5旋轉尺蠖壓電電動機

施加圖(c)時序信號，壓電疊堆2伸長頂住轉子后撤消壓電疊堆1和5的電壓信號，鉗位機構3和驅動機構7恢復原狀。鉗位機構4帶動轉子轉過角度θ。2025/2/125.5其他構型壓電電動機5.5.5旋轉尺蠖壓電電動機

施加圖(d)時序信號，壓電疊堆6伸長，驅動機構8發生彎曲，鉗位機構4再帶動轉子轉過角度θ。

撤消壓電疊堆2和6電壓信號，鉗位機構4和驅動機構8恢復原狀。轉子轉過角度3θ，完成周期動作。

時序信號回到初始狀態，壓電疊堆1開始伸長，重復上述動作實現連續運動。2025/2/125.6壓電電動機在關節機器人中的應用5.6.1關節機器人結構

關節機器人各關節均采用超聲電機驅動。每一關節配備一臺中空型旋轉編碼器，與電機輸出軸固聯于一起，超聲電機帶動機械臂運動的同時帶動編碼器動作，實現位置測量。

各關節與超聲電機直接連接，可以提供低速大扭矩，沒有減速齒輪，不存在齒輪傳動的間隙調整機構，使整個機器人的結構緊湊輕巧。2025/2/125.6壓電電動機在關節機器人中的應用5.6.2關節機器人控制系統

控制系統是機器人的神經中樞，是實現各種控制算法和控制策略的實際載體。機器人的控制系統主要由計算機硬件系統、軟件系統、輸入/輸出設備及裝置、關節執行電機驅動器和傳感器系統等各子系統組成。2025/2/125.6壓電電動機在關節機器人中的應用5.6.2