1、潔凈室各項指標的檢測方法、程序法則、判定標準潔凈室的檢測主要分為：一、風量和風速的檢測二、靜壓差的檢測三、潔凈度的測定四、微生物粒子的檢測五、安裝高效空氣過濾器后的檢漏六、污染泄露測試七、氣流流型試驗八、自凈時間測定九、溫度及相對濕度檢測十、照度檢測十一、噪聲檢測十二、防靜電地面導電性能測定一、風量和風速的檢測風量和風速的檢測必須首先進行， 凈化空調的各項效果必須是在設計風量和 風速的條件下獲得。用熱力風速儀測量風速 用風量罩直 接測量風量1. 測前準備工作風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙（如過濾器有無被堵、檔） ，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，并且必

2、須實際測量被測風口、風管尺寸。2. 單向流潔凈室的風量測量垂直單向流及水平單向流潔凈室，目前均采用截面平均風速與截面面積的成績計算風量，關于截面的取法和測點的布置如下表單向流潔凈室風量測定的有關規定JGJ71-90GB50073-2001垂直單向流水平單向流垂直單向流水平單向流測定截面選取距地面距送風面取離咼效過濾器垂直于氣流平面測點布置間距冬2m均勻布置不大于均勻布置最少測點數10點（算術平均值）5點（算術平均值）儀器熱球風速儀未具體規定評定標準應大于設計風速，且不超過20%1-4級不均勻的均方根差不大于5級（百級）3. 非單向流（亂流）潔凈室的風量測定：非單向流（亂流）潔凈室的風量可以用風

3、管法和風口法兩種方法測量, 于截面取法和測點布置見下表測定方法使用場合測疋截面位置及測點數的規疋非風管對于風測定截面的對于矩形風管，將測定截面分成單法口上風位置原則上若干個相等的小截面，盡可能接向側較長選擇在氣流近正方形，邊長最好不大于流的支管比較均勻穩200mm其截面積不大于，測點在潔段，且已定的地方；與各個小截面中心處，但整個截面凈經可以局部阻力部測點數不宜小于3個，測點布置室鉆孔時，件的距離，見下圖（矩形風管測點位置示意的可采用。在局部阻力圖）風常用于部件前不少對于圓形風管截面，應按等面積量總管及于3倍風管圓環法劃分測定截面確定測點測分支管管徑長度；在數；即根據管徑大小將圓管分為疋風量量

4、局部阻力部若干個面積相等的同心圓環，每測件后不少于5個圓環上有四個測點，四個測點倍管徑或長必須在相互垂直的兩個直徑上邊長度。圓環中心設一個測點，測點的布置見下圖（圓形風管測點位置示意圖）多用于對于安有過濾器的風口，根據風口形式可選用輔咼效過助用管，既用硬質板材做成與風口內截面相冋，濾器末長度等于2倍風口邊上的直管段，連接于過濾器風口法端風口風口外部，在輔助風管出口平面上， 按最少測點法風量及數不少于不少于6點均勻布置測點，用熱球風速房間換儀測定各點風速，以風口截面平均風速乘以風口氣次數靜截面積測定風量的測定。 因此時 往往難 于選擇 足夠的 穩定管 段。對于安有冋類擴散板的風口， 可以根據擴散

5、板的 風量阻力曲線（出廠風量阻力曲線或現場實測風 量阻力曲線）和實際擴散板阻力（孔板內靜壓與 是被靜壓之差），查出風量。測定時用微壓計和 細畢托管，活用細橡膠管代替畢托管，但都必須 使用測孔平面與氣流方向平行。測量注意事項：在測量風速時宜采用支架固定測夾； 不得不用手持風速儀 時，手臂要盡量伸直使測頭遠離身體（側方或下游）以減少人身干擾。評定：a.系統的實測風量應大于各自的設計風量，但不應超過 20%b .總實測新風量和設計新風量之差，不應超過設計新風量的士 10% c .室內各風口的風量與各自設計風量之差均不應超過設計風量的士 15%矩形風管測點位置示意圖圓形風管測點位置示意圓形劃分數按下表

6、規定:圓形風管分環表風管直徑/mmv 200200-400400-700> 700圓環個數345> 6靜壓差檢測此項檢測的目的是為了測定潔凈室的靜壓差，它可以是正壓或者負壓,以防止潔凈室內外氣流間的相互影響1檢測要求（1）靜壓差的檢測要求要在潔凈室內所有的門窗全部關閉的情況下進行（2）在潔凈平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行， 一直檢測到直通 室外的房間（3）測管口設在室內沒有氣流影響的任何位置均可， 測管口面與氣流流線 平行（4）所測量記錄的數據應精確到2 檢測步驟：（1）先關閉所有的門窗（2）用微壓計測量各潔凈室之間、潔凈室與走廊之間、走廊與外界之間的 壓差。（3）記錄所有

7、數據3 合格標準 按照潔凈室的設計和工藝的要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。（1）不同等級的潔凈室或潔凈區與非潔凈區（室）之間的靜壓差，應不小 于 5Pa。（2）潔凈室（區）與室外的靜壓差應不小于 10Pa（3）對于空氣潔凈度等級高于 5 級（ 100級）的單向流潔凈室在開門時， 門內處的室內工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度極限值。（4）若達不到上述要求，則需重新調整新風量、排風量，直至合格為止三、潔凈度測定潔凈室施工及驗收規范（JGJ71-90）中規定如下：1. 檢測規則（1）測定潔凈度的最低限度采樣點睡按下表規定確定。每點采樣次數不低于3次，各點采樣次數可以不同最低限度采樣點數

8、面積潔凈度100級及高于100級1000 級10000級100000級v 102 - 322210432220862240161342100403210320080632064001601264013100040031610032200080063320063注：表中的面積含義是：對于單向流潔凈室，是指送風面面積，對于亂流潔凈室，是指房間面積。最低限度采樣量（L）級別粒徑（口 m1117851985661010010008510000100000（2）測定潔凈度的最小采樣量按下表規定確定（3）對于單向流潔凈室，采樣口應對著氣流方向；對于亂流潔凈室，采樣 口宜向上。采樣速度均應盡可能接近室內氣流

9、速度。也即參考“等速采 樣”（4） 潔凈室測點的布置原則是：多于 5點時可分層布置，但每層不少于 5 點；5點或5點以下時，可布置在離地面高平面的對角線上（如下圖）， 或該平面上的兩個過濾器之間的地點，也可以在人為需要布點的其他地方。五點測點布置圖2. 數據整理室內潔凈度按公式計算室平均含塵濃度 N和各測點平均含塵濃度的標準 誤差3. 評定標準如測定的狀態（空態、靜態、動態）與事先約定的狀態相同， 則以其級別上限作為評定標準。如測定時為空態或靜態，則動態時粒子數一定會高。所以，如用靜態檢測 代替動態檢測則粒子數會偏小，有時可以用靜態粒子數的3-5倍來估計動態情況。當然這也僅是經驗參考值4 注意

10、事項 測定時進入潔凈室的人員要穿潔凈服（有風淋室要經過風淋） ，在室內盡 量處于下風處，最多進入兩人。粒子計數器一般均有一個開機后預熱穩定的過程 （時間因機型而異） 注意按儀表說明書操作。一般粒子計數器均有“粒子校準”這一旋鈕，在使用前必須校準， 使用一段時間（例如連續使用） 后均需進行檢查。 嚴禁故意將靈敏度調低 的不正當做法 每個測點測完后需要移機（或移動采樣口）時，要有一個穩定過程，一般 為 1-5 分鐘，也可以將移機后前幾次打印結果棄去。有研究結果表明打印機本身的動作有一定的產塵量，故在測量高級 別潔凈室時， 要考慮到打印機紙張發塵的影響。 建議選取可存儲數據的儀 器，實驗結束后再把結

11、果打印出來； 或將連線延長， 將打印機置于被測潔 凈室外。在粒子計數器中反應得粒徑， 知識“光散射等效粒徑”， 因為計數器時用 潔凈大氣塵密度的聚苯乙烯小球 （標準粒子） 來標定的。 所以在實例中凡 是與某種直徑標準粒子的光散射特性相同的灰塵就被記錄為該粒徑的粒 數，而不能真正代表該灰塵的真實外形和理化性能， 而這個方面， 還得在 采樣后靠顯微鏡（電子顯微鏡）和微量（痕量）理化分析來解決。目前的粒子計數器都存在一個“上限濃度”的問題，由于儀器本身 構造的原因，如抽氣流速過大， 會有可能兩個或多個粒子同事進入散射光區域，此時會合并基礎一個粒徑偏大的粒子，從而造成測量的重疊誤差如實測環境含塵量超過

12、上限濃度，則應采用稀釋器稀釋后再測。四、微生物粒子檢測 本實驗室不涉及微生物粒子檢測，此處不做詳述五、安裝高效過濾器的檢漏高效過濾器本體在進入現場前，生產廠家應按規定對其進行性能試驗（其檢測方法如DOP式驗、NaCI試驗、油霧試驗等），并提供合格證（含 性能檢測結果）。對于 5 級（100級）以上潔凈室用高效過濾器、 超高效過濾器在現場應再 次進行高效過濾器本體及其正確安裝狀態進行泄露試驗。對于 6 級及以 下的生物潔凈室也用此方法啊檢漏。而在大規模集成電路生產的超凈技 術中（卩m 1級），由于新風量往往是循環風量的百分之幾，經過稀釋上 風側也變成 6 級（ 1000級）的程度，因此，在這種情

13、況下，就必須重新 考慮采用DOP僉漏試驗。DOP僉漏儀級配套的DOP發生器如下圖DOP僉漏儀檢漏儀配套DOP發生器1僉測要求一般采用離子計數器法進行僉測，被僉高效過濾器必須已僉測過風 量，并在設計風速的 80%-120%之間運行。實測時很多設計風量不到過濾 器額定風量的 80%，由于過濾器在低風速下泄露比例會加大， 數據偏安全， 有時不必再加大風量。對于被僉高效過濾器上風側的微粒濃度符合如下 要求。對于受控粒徑m的濃度，必須L;對受控粒徑m的濃度，必須 107pc/L2檢測方法采用掃描法對高效過濾器安裝接縫和主斷面進行檢測，檢測點應距離 被測表面2030mm測頭以520mm/s的速度移動，對被

14、測過濾器整個 斷面、封膠頭和安裝框架處進行掃描，如下圖。粒子計數器的最小采 樣量大于 1L/min 。3評定標準由受檢過濾器下風側測得泄露的濃度換算成穿透率，高效過濾器不應大于出廠合格穿透率的兩倍，對于 D級超高效過濾器不應大于出廠合 格穿透率的 3 倍六、污染泄露測試此項測試時為考慮與軌跡接軌而規定的。它要求，有空洞想通不同 潔凈度等級的相鄰潔凈室，其洞口處應有合理的流向，且其風速應該大 于 s。七、氣流流行試驗1測點位置對于單向流潔凈室，在每個所測截面上測點間距為 im垂直單向 流要取四個截面：潔凈室縱剖面，橫剖面及距地、兩個水平面。水平 單向流要求 5個截面：潔凈室縱剖面、工作區水平面、

15、房間中心線距 離送、回風墻的 3 個橫剖面。對非單向流需要取三個測點截面：具有 代表性的送、回風口中心的縱、橫剖面和工作區高度的水平面2測定方法用發煙器或懸掛細絲線的方法逐點觀察和記錄氣流流向； 用量角器測定氣流流向的偏離角度。在每個截面的測點布置圖上標出氣流流 向。3 判定標準工作區氣流流向偏離規定方向的角度最好不大于 14 度，應給出 氣流流型圖，并給出分析結果八、自凈時間的測定1 以大氣塵為基礎測量時，潔凈室必須停止運行一段時間（條件允 許可開門開窗）。待空氣中含塵濃度與大氣接近時， 然后開機， 定時讀 數。直到濃度達到最低穩定值為止，這一段時間即為自凈時間。2 以人工塵（例如芭蘭香和香

16、煙）為基準則在潔凈室中央以上的高 度發煙 12 分鐘即停止，再穩定一分鐘，然后開機重復上條方法檢測。3 合格標準 實測自凈時間如不大于由初始濃度、穩定下限濃度、實際換氣次數、 計算得出的理論計算濃度的倍即為合格。九、溫度及相對濕度檢測1 檢測要求（1）測定前，凈化空調系統應連續運行 24h 以上。（2）根據溫度和相對濕度的波動范圍要求， 應選擇足夠精度的測試儀表， 并經過校驗標定合格2 檢測方法（1） 測點距地面， 距外墻應大于， 也可以根據恒溫區的大小， 分別布置在離地面不同高度的幾個平面上(2) 根據溫濕度波動范圍要求，檢測應連續進行 848h,每次讀數間隔 不大于30分鐘(3) 對于沒有

17、恒溫要求的房間，溫度僅測房間中心一個點即可。(4) 對有濕度波動要求的區域，測點應放在送、回風口處或有代表性的地點。其測點數按下表確定波動范圍測定儀器測點位置溫度t v±C用小量程溫度自動記錄 儀或C刻度的水銀溫度 計測點間距為2m每個 房間測點不應少于20 個，測點的距離大于， 單向流潔凈室大于相對濕度(厶RH<± 5%用氯化鋰溫濕度計 t = ±°C W± 2 °C用C厚刻度的水銀溫度計面積冬50m3時，測一點；大于50m3時，每增加20m350m3增加啊35個點。 RH=± %c± 10%用C的通風干濕

18、球溫度計 t >2C用C的水銀溫度計潔凈室面積小于50m3時，測一點：當大于50m3沒增加20m3至50m3立方米，增加1個測點 RH> 10%用通風干濕度溫度計3.合格標準室溫波動范圍按各測點的各次溫度中，偏差控制溫度的最大值整理成 累計統計曲線，若 90%以上測點偏差值在室溫控制范圍內，為符合設 計要求，反之為不合格。相對濕度波動可按溫度波動范圍的規定進行。 十、 照度檢測1 檢測要求室內照度測定必須在室溫已趨穩定，光源輸出趨于穩定后進行(對熒 光燈必須有 100h)。2 檢測方法(1)測點平面離地面，按間距12m布點，測點距墻面1m其要求基本與潔凈度的測定位置要求相同( 2) 記錄，在簡圖上設測量位置， 記錄實測照度值并計算總的